一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法技术

本发明专利技术提供一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，属于材料测试技术领域，本发明专利技术X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，包括：将X射线源和探测器相对弯晶的入射角和衍射角调节至一准直角度；通过探测器记录X射线源发射的X射线经过弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑；将第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，以完成弯晶在准直角度下的准直。本发明专利技术X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，在线调节过程中可实时观察聚焦光斑的变化，来精准的调节弯晶的姿态，从而发现和纠正弯晶应用于X射线吸收谱仪时的潜在问题，以有效保证X射线吸收谱仪的测试精度。试精度。试精度。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法


[0001]本专利技术涉及材料测试
，具体涉及一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法。

技术介绍

[0002]X射线吸收谱是一种广泛使用的材料表征手段，用于对材料中元素检测以及原子电子态、配位原子种类及配位原子距离的表征，在能源与环境、新材料、催化等领域具有重要的应用。
[0003]在X射线吸收光谱仪中，使用弯晶元件来将X射线源产生的复色光X射线单色聚焦到样品上，以完成样品在对应能点X射线下的测试。其中，X射线在入射光学元件时与平面光不同，并非由晶体表面衍射而是经由晶体的晶面衍射的。因此，X射线吸收光谱仪中，采用弯晶元件的晶面与表面设计有一定的斜切角，这虽能使得入射的X射线能够被弯晶衍射聚焦，但是由于弯晶衍射面为曲面难以准直调节，经其衍射的衍射光出射时的角度仍然存在一定的偏差，需要在测试前对弯晶进行准直。
[0004]由于弯晶的离线调节方式无法披露弯晶应用于测试系统时的潜在问题，并且难以满足测试系统的使用要求及位置精度。因此，需要设计一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，从而解决上述问题。

技术实现思路

[0005]鉴于以上现有技术的缺点，本专利技术提供了一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，能够在X射线吸收谱仪上通过在线调节的方式对应用于X射线吸收谱仪的弯晶进行准直，从而解决现有技术中弯晶的离线调节方式无法披露弯晶应用于测试系统时的潜在问题，难以使弯晶调节满足测试系统的精度要求的技术问题。
[0006]为实现上述目的及其它相关目的，本专利技术提供一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，该在线准直方法应用于X射线吸收谱仪，所述X射线吸收谱仪包括X射线源、弯晶和探测器，所述X射线源发出的X射线经所述弯晶衍射后聚焦至所述探测器处；所述在线准直方法包括：
[0007]将所述X射线源和探测器相对所述弯晶的入射角和衍射角调节至一准直角度；
[0008]通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑；
[0009]将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，以完成弯晶在所述准直角度下的准直。
[0010]在本专利技术一示例中，所述通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑，包括：
[0011]在所述X射线的衍射光路上不设置光阑，并通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后聚焦的第一光斑；在所述X射线的衍射光路上设置光阑，并通
过所述探测器记录所述X射线衍射光通过所述光阑后聚焦的第二光斑。
[0012]在本专利技术一示例中，所述将所述第二光斑与第一光斑进行比对，包括比对所述第二光斑和第一光斑的光斑尺寸和/或光强。
[0013]在本专利技术一示例中，所述将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，包括：
[0014]当所述第二光斑的光斑尺寸和/或光强小于所述第一光斑时，在所述衍射光路上设置所述光阑的情况下，通过调节所述弯晶的位置和/或俯仰度来将所述第二光斑的光斑尺寸和/或光强调节至最大，以使得所述第二光斑调节至与所述第一光斑相匹配。
[0015]在本专利技术一示例中，将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，以完成弯晶在所述准直角度下的准直，还包括：
[0016]当所述第二光斑的光斑尺寸和/或光强最大时，将所述光阑从所述衍射光路上取下，比对所述第二光斑与取下所述光阑后所述探测器记录的第一光斑是否重合；若所述第二光斑与第一光斑相重合，则完成所述弯晶在所述准直角度下的准直。
[0017]在本专利技术一示例中，所述在线准直方法还包括：
[0018]当在一准直角度完成所述弯晶对X射线的准直聚焦后，将所述X射线源和探测器相对所述弯晶的入射角和衍射角调节至另一准直角度；通过比对所述X射线衍射光在另一准直角度下的第一光斑和第二光斑是否重合，来验证所述弯晶在其他准直角度下是否准直。
[0019]在本专利技术一示例中，所述光阑的通光孔径大于等于所述X射线衍射光在所述光阑设置位置处形成的光斑尺寸。
[0020]在本专利技术一示例中，所述光阑为狭缝。
[0021]在本专利技术一示例中，所述准直角度为所述X射线相对所述弯晶的布拉格角度。
[0022]在本专利技术一示例中，沿所述弯晶的罗兰圆调节所述X射线源和探测器相对所述弯晶的入射角和衍射角。
[0023]本专利技术X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，通过探测器在准直方向上记录弯晶衍射X射线在未通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑，进而以第一光斑为参照通过调节弯晶在X射线吸收谱仪中的位置和/或俯仰度来使得第二光斑与第一光斑相重合，从而完成在X射线吸收谱仪中对弯晶在该准直方向上的准直调节。该X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，可于X射线吸收谱仪中对弯晶衍射聚焦X射线的光路进行在线的准直调节，在线调节过程中可实时观察聚焦光斑的变化，来精准的调节弯晶的姿态，从而发现和纠正弯晶应用于X射线吸收谱仪时的潜在问题，以有效保证X射线吸收谱仪的测试精度。所以，本专利技术有效克服了现有技术中的一些实际问题从而有很高的利用价值和使用意义。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本专利技术一示例中X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法的流程示意图；
[0026]图2为本专利技术一示例中步骤S3的流程示意图；
[0027]图3为本专利技术一示例中步骤S4的流程示意图；
[0028]图4为本专利技术一示例中X射线吸收谱仪的结构示意图；
[0029]图5为本专利技术一示例中X射线吸收谱仪在线准直弯晶的结构简图。
[0030]元件标号说明
[0031]100、X射线源；200、弯晶；300、探测器；400、第一连接臂；500、第二连接臂；510、光阑；600、导轨。
具体实施方式
[0032]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其它优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。还应当理解，本专利技术实施例中使用的术语是为了描述特定的具体实施方案，而不是为了限制本专利技术的保护范围。下列实施例中未注明具体条件的试验方法，通常按照常规条件，或者本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述在线准直方法应用于X射线吸收谱仪，所述X射线吸收谱仪包括X射线源、弯晶和探测器，所述X射线源发出的X射线经所述弯晶衍射后聚焦至所述探测器处；所述在线准直方法包括：将所述X射线源和探测器相对所述弯晶的入射角和衍射角调节至一准直角度；通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑；将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，以完成弯晶在所述准直角度下的准直。2.根据权利要求1所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后不通过光阑时聚焦的第一光斑以及通过光阑时聚焦的第二光斑，包括：在所述X射线的衍射光路上不设置光阑，并通过所述探测器记录所述X射线源发射的X射线经过所述弯晶衍射后聚焦的第一光斑；在所述X射线的衍射光路上设置光阑，并通过所述探测器记录所述X射线衍射光通过所述光阑后聚焦的第二光斑。3.根据权利要求1所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述将所述第二光斑与第一光斑进行比对，包括比对所述第二光斑和第一光斑的光斑尺寸和/或光强。4.根据权利要求3所述X射线吸收谱仪的弯晶在线准直方法，其特征在于，所述将所述第二光斑与第一光斑进行比对，通过调节弯晶的位置和/或俯仰度使得第二光斑与第一光斑相匹配，包括：当所述第二光斑的光斑尺寸和/或光强小于所述第一光斑时，在所述衍射光路上设置所述光阑的情况下，通过调节所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱宁，方田，徐凯，武朝辉，申锦，
申请(专利权)人：安徽创谱仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：