本申请涉及一种立式石英炉管及其加工工艺，属于炉管设备的技术领域，一种立式石英炉管包括管体，所述管体一端密封并固定连接有与管体连通的偶管，管体远离所述偶管的一端安装有真空泵，所述真空泵靠近管体的一端安装有第三法兰，所述真空泵和所述管体通过第三法兰可拆卸连接，且管体靠近真空泵的一端设有用于安装晶舟的移动机构，所述移动机构包括设置在管体端部并向远离管体的方向延伸的壳体，所述壳体靠近管体的一端与管体侧壁抵接，且所述壳体外侧设有连接管体的固定组件，所述壳体远离管体的一端设有驱动晶舟向靠近所述管体内部的方向移动的安装组件。本申请具有便于快速将晶舟安装在炉管中，提高安装效率的效果。提高安装效率的效果。提高安装效率的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种立式石英炉管及其加工工艺
[0001]本申请涉及炉管设备的
，尤其是涉及一种立式石英炉管及其加工工艺。
技术介绍
[0002]在半导体热处理工艺中，立式炉由于其占地面积小，处理效率高等优点得到广泛的应用。立式炉中通常采用立式晶舟作为承载工具，用于晶圆或芯片的传送及加工。炉管和晶舟通常采用石英或碳化硅材料制得，适用于不同温区的热处理工艺。
[0003]公开号为CN114709134A的中国专利公开了一种采用立式炉管的半导体热处理方法及立式炉管，采用立式炉管的半导体热处理方法包括：在立式炉管的晶舟内放置晶圆和挡片，挡片位于所述晶圆的上方和下方；在晶舟下方的进气盘承载支架内交错放置进气盘，立式炉管包括：晶舟，晶舟内放置晶圆和挡片，挡片位于晶圆的上方和下方；进气盘承载支架，设置在晶舟的下方，进气盘承载支架内具有交错放置的进气盘，改善了半导体产品膜厚度不均匀的技术问题，提高产品良率。
[0004]相关技术中将晶舟安装在炉管中时，需将晶舟竖直方向上的轴线与炉管竖直方向上的轴线完全对准后将晶舟推入炉管中，由此易造成将晶舟推入炉管的过程中耗费大量时间的情况，影响工作效率。
技术实现思路
[0005]为了便于快速将晶舟安装在炉管中，提高安装效率，本申请提供一种立式石英炉管及其加工工艺。
[0006]第一方面，本申请提供一种立式石英炉管，采用如下的技术方案：一种立式石英炉管，包括管体，所述管体一端密封并固定连接有与所述管体连通的偶管，所述管体远离所述偶管的一端安装有真空泵，所述真空泵靠近所述管体的一端安装有第三法兰，所述真空泵和所述管体通过第三法兰可拆卸连接，且所述管体靠近所述真空泵的一端设有用于安装晶舟的移动机构，所述移动机构包括设置在所述管体端部并向远离所述管体的方向延伸的壳体，所述壳体靠近所述管体的一端与所述管体侧壁抵接，且所述壳体外侧设有连接所述管体的固定组件，所述壳体远离所述管体的一端设有驱动晶舟向靠近所述管体内部的方向移动的安装组件。
[0007]通过采用上述技术方案，使用立式石英炉管时，将真空泵从管体上取下，并将壳体通过固定组件安装在管体远离密封的一端，此时通过安装组件将晶舟安装在管体中，并通过安装组件将壳体从管体上取下，通过第三法兰将真空泵安装在管体上，此时晶舟与真空泵上的第三法兰上侧壁抵接，通过真空泵将管体内部抽真空，此时将气体从偶管处通入并使得气体沿管体长度方向向靠近管体未密封的一端移动，从而便于对晶舟上的晶圆表层镀膜，此时安装组件使得晶舟沿管体的转动轴线快速进入管体中，减少安装晶舟时需将晶舟与管体的转动轴线对准的可能，提高安装效率。
[0008]可选的，所述安装组件包括设置在所述壳体两侧且相对设置的滑轨，两个所述滑
轨相互靠近的一侧均设有同一垂直于所述滑轨长度方向的托盘，晶舟放置在所述托盘上，所述托盘两侧均固定连接有插接在所述滑轨中并与所述滑轨滑动连接的滑动块，且所述壳体上设有驱动所述滑动块向靠近所述管体内部移动的驱动件。
[0009]通过采用上述技术方案，将晶舟安装在管体内的过程中，将晶舟放置在托盘上侧，此时托盘对晶舟进行支撑，驱动件驱动滑动块带动托盘向靠近管体的方向移动，此时晶舟随托盘移动直至进入管体中，此时滑轨对滑动块进行限位，从而使得晶舟始终不与管体侧壁接触，便于快速将晶舟安装在炉管中，提高安装效率。
[0010]可选的，所述滑动块相互远离的一端穿过所述滑轨并与所述滑轨滑动连接，所述驱动件包括转动连接在所述滑动块穿过所述滑轨的一端的动滑轮，所述壳体外侧壁靠近所述管体一端的两侧均转动连接有定滑轮，所述壳体外侧设有与所述定滑轮相对应的钢绳，所述钢绳均绕过所述定滑轮并穿过对应的所述动滑轮并与所述动滑轮固定连接，所述钢绳靠近所述定滑轮一端均安装有卷扬机，所述壳体靠近所述管体的一端设有推动晶舟进入所述管体中的推动件。
[0011]通过采用上述技术方案，驱动滑动块带动晶舟向靠近管体的方向移动时，通过卷扬机不断将钢绳两端收紧，此时动滑轮在钢绳的驱动下带动滑动块沿滑轨的长度方向向靠近管体的方向移动，此时滑轨对晶舟进行限位，减少晶舟移动的过程中因两侧的受力不均而掉落的可能，当滑动块带动晶舟移动至晶舟上端插入管体中时，推动件继续驱动托盘带动晶舟移动，直至晶舟完全进入管体中，从而便于快速将晶舟安装在炉管中，提高安装效率。
[0012]可选的，所述推动件包括与所述定滑轮对应设置并与所述定滑轮固定连接的齿轮，所述托盘两侧均固定连接有与所述齿轮相适应的齿条，所述滑动块靠近所述齿条的一端均固定连接有抵接杆，所述齿条插接在所述抵接杆上并与所述抵接杆滑动连接。
[0013]通过采用上述技术方案，钢绳驱动动滑轮带动晶舟移动至齿条上端与对应的齿轮抵接并啮合时，通过卷扬机继续将钢绳两端收紧，此时定滑轮带动齿轮转动，从而驱动齿条带动晶舟继续向靠近管体内部的方向移动，直至晶舟完全进入管体中，从而便于快速将晶舟安装在炉管中，提高安装效率。
[0014]可选的，所述管体靠近所述壳体的一端设有用于固定晶舟的固定件，所述固定件包括垂直于所述管体长度方向的固定环，所述固定环为弹性材质，所述固定环内径与所述晶舟直径相等，且所述固定环上设有与所述管体侧壁连接的连接件。
[0015]通过采用上述技术方案，钢绳驱动齿轮驱动齿条转动时，晶舟上端插入固定环中并继续向靠近管体内部的方向移动，直至固定环与齿条抵接并在齿条的推动下随晶舟完全进入管体中，此时连接件将固定环与管体内侧壁连接，从而将晶舟固定在管体中，进一步达到便于快速将晶舟安装在炉管中，提高安装效率的效果。
[0016]可选的，所述固定组件包括固定连接在所述壳体靠近所述管体一端的固定架，所述固定架两端分别位于所述管体两侧并朝向所述管体设置，所述固定架两端均滑动连接有朝向所述管体的卡接杆，所诉固定架上设有驱动所述卡接杆向相互靠近的方向移动并将所述管体抵紧的移动件。
[0017]通过采用上述技术方案，将壳体通过安装组件安装在管体上的过程中，将壳体向靠近管体的方向移动，直至壳体上端与管体下端侧壁接触，此时卡接杆位于管体两侧，通过
移动件驱动卡接杆向相互靠近的方向移动，直至卡接杆相互靠近的一端均与管体侧壁抵紧，从而将壳体安装在管体上，便于将晶舟安装在管体中，当晶舟安装完成后，通过移动件驱动卡接杆相互远离并将壳体取下，从而便于真空泵对管体内部进行抽真空处理，从而在不影响管体正常使用的情况下提高安装效率。
[0018]可选的，所述移动件包括分别铰接在所述固定架相互远离的一侧的第一铰接杆，所述第一铰接杆远离铰接端的一端均向相互靠近的方向倾斜并铰接有第二铰接杆，所述第二铰接杆另一端均与所述卡接杆靠近所述管体一端的侧壁铰接，所述第一铰接杆和所述第二铰接杆的连接处均铰接有同一推动杆，所述固定架远离所述推动杆的一侧安装有气缸，所述气缸的伸缩杆穿过所述固定架并与所述推动杆固定连接。
[0019]通过采用上述技术方案，驱动卡接杆相互靠近时，气缸驱动推动杆向靠近卡接杆的一侧移动，此时推动杆两端驱动第一铰接杆和本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种立式石英炉管，其特征在于：包括管体（2），所述管体（2）一端密封并固定连接有与所述管体（2）连通的偶管（25），所述管体（2）远离所述偶管（25）的一端安装有真空泵，所述真空泵靠近所述管体（2）的一端安装有第三法兰，所述真空泵和所述管体（2）通过第三法兰可拆卸连接，且所述管体（2）靠近所述真空泵的一端设有用于安装晶舟（1）的移动机构，所述移动机构包括设置在所述管体（2）端部并向远离所述管体（2）的方向延伸的壳体（3），所述壳体（3）靠近所述管体（2）的一端与所述管体（2）侧壁抵接，且所述壳体（3）外侧设有连接所述管体（2）的固定组件（4），所述壳体（3）远离所述管体（2）的一端设有驱动晶舟（1）向靠近所述管体（2）内部的方向移动的安装组件（5）。2.根据权利要求1所述的一种立式石英炉管，其特征在于：所述安装组件（5）包括设置在所述壳体（3）两侧且相对设置的滑轨（51），两个所述滑轨（51）相互靠近的一侧均设有同一垂直于所述滑轨（51）长度方向的托盘（52），晶舟（1）放置在所述托盘（52）上，所述托盘（52）两侧均固定连接有插接在所述滑轨（51）中并与所述滑轨（51）滑动连接的滑动块（53），且所述壳体（3）上设有驱动所述滑动块（53）向靠近所述管体（2）内部移动的驱动件（54）。3.根据权利要求2所述的一种立式石英炉管，其特征在于：所述滑动块（53）相互远离的一端穿过所述滑轨（51）并与所述滑轨（51）滑动连接，所述驱动件（54）包括转动连接在所述滑动块（53）穿过所述滑轨（51）的一端的动滑轮（541），所述壳体（3）外侧壁靠近所述管体（2）一端的两侧均转动连接有定滑轮（542），所述壳体（3）外侧设有与所述定滑轮（542）相对应的钢绳（543），所述钢绳（543）均绕过所述定滑轮（542）并穿过对应的所述动滑轮（541）并与所述动滑轮（541）固定连接，所述钢绳（543）靠近所述定滑轮（542）一端均安装有卷扬机，所述壳体（3）靠近所述管体（2）的一端设有推动晶舟（1）进入所述管体（2）中的推动件（56）。4.根据权利要求3所述的一种立式石英炉管，其特征在于：所述推动件（56）包括与所述定滑轮（542）对应设置并与所述定滑轮（542）固定连接的齿轮（562），所述托盘（52）两侧均固定连接有与所述齿轮（562）相适应的齿条（561），所述滑动块（53）靠近所述齿条（561）的一端均固定连接有抵接杆（563），所述齿条（561）插接在所述抵接杆（563）上并与所述抵接杆（563）滑动连接。5.根据权利要求4所述的一种立式石英炉管，其特征在于：所述管体（2）靠近所述壳体（3）的一端设有用于固定晶舟（1）的固定件（57），所述固定件（57）包括垂直于所述管体（2）长度方向的固定环（571），所述固定环（571）为弹性材质，所述固定环（571）内径与所述晶舟（1）直径相等，且所述固定环（...
【专利技术属性】
技术研发人员：张忠恕，陈强，张娟，周洁，冯继瑶，于洋，于立臣，关雷，张连兴，赵晓亮，李翔星，卢亮，
申请(专利权)人：北京凯德石英股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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