本发明专利技术涉及清洗设备技术领域，具体公开了一种电极加工用预清洗设备及清洗工艺，包括清洗箱；清洗箱上设有容纳处理液的第一腔体；第一腔体内侧壁上固接有淋喷管；淋喷管外侧壁上固接有喷头；清洗箱顶部设置有顶板；顶板底面设置有电推杆；电推杆安装在清洗箱顶面上，电推杆输出端与顶板底面连接；顶板侧壁上连接有连接板；连接板端部固接有可伸入第一腔体内的垫板；垫板底面设置有夹持组件；清洗箱外侧壁上设置有可将第一腔体内的处理液输送至淋喷管内的输液机构；通过浸洗和淋喷冲洗相结合的方式对掩膜版表面的膜层进行去除，降低脱落的杂质再次附着在掩膜版表面上造成二次污染的可能性。可能性。可能性。
【技术实现步骤摘要】
一种电极加工用预清洗设备及清洗工艺
[0001]本专利技术涉及清洗设备
，尤其是涉及一种电极加工用预清洗设备及清洗工艺。
技术介绍
[0002]在电极的生产过程中需要通过真空蒸镀设备将蒸镀材料蒸发并沉积在目标基板上，在蒸镀设备的长期使用过程中，蒸镀材料会在精细金属掩膜版上沉积，当掩膜版上溅射的膜层达到一定厚度时会影响正常生产，因此，需要通过清洗设备定期对掩膜版进行清洗，从而去除掩膜版表面的膜层。
[0003]现有技术中的清洗设备大多采用加工掩膜版浸泡到清洗槽中清洗，通过清洗槽中放置大处理液对掩膜版上的膜层进行溶解，促使沉积在掩膜版上的膜层会脱落形成杂质，但是此种清洁方式易于使得脱落悬浮在处理液中的杂质再次沉积在掩膜版表面，从而造成掩膜版的二次污染。
技术实现思路
[0004]本申请提供一种电极加工用预清洗设备，具有通过浸洗和淋喷冲洗相结合的方式对掩膜版表面的膜层进行去除，降低脱落的杂质再次附着在掩膜版表面上造成二次污染的可能性。
[0005]本申请提供的一种电极加工用预清洗设备及清洗工艺，采用如下的技术方案：一种电极加工用预清洗设备，包括清洗箱；所述清洗箱上设有容纳处理液的第一腔体；所述第一腔体靠近顶面的内侧壁上固接有淋喷管；所述淋喷管外侧壁上固接有与淋喷管内部连通的喷头；所述清洗箱顶部设置有顶板；所述顶板底面设置有电推杆；所述电推杆安装在清洗箱顶面上，电推杆输出端与顶板底面连接；所述顶板侧壁上连接有连接板；所述连接板远离顶板的端部固接有可伸入第一腔体内的垫板；所述垫板底面设置有可对掩膜版进行固定的夹持组件；所述清洗箱外侧壁上设置有可将第一腔体内的处理液输送至淋喷管内的输液机构。
[0006]通过采用上述技术方案，将待清洁的掩膜版放置在垫板底部，通过夹持组件对掩膜版进行夹持，并通过电推杆带动顶板和连接板下移，使得掩膜版浸没在第一腔体内的处理液中，通过处理液促使掩膜版表面沉积的膜层脱落，当掩膜版逐渐从处理液中移出时，通过输液机构将第一腔体内的处理液输送至淋喷管中，并通过喷头将处理液喷出对掩膜版进行淋喷处理，使得清洗脱落的污垢不易再次附着在掩膜版上造成二次污染，优化了清洗效果。
[0007]优选的，所述第一腔体内侧壁上固接有挡板；所述挡板上设置有开口；所述开口内侧壁上固接有过滤网；所述输液机构包括泵体；所述泵体安装在清洗箱外侧壁上，泵体输入端固接有进液管，泵体输出端固接有出液管；所述进液管远离泵体的端部贯穿清洗箱侧壁和挡板后伸至挡板底部；所述出液管远离泵体的端部与淋喷管内部连通。
[0008]通过采用上述技术方案，启动泵体将第一腔体内的处理液由进液管和出液管输送至淋喷管中，以便对浸洗后的掩膜版进行淋喷清洗，挡板上设置的过滤网用于对从掩膜版上脱落的污垢进行过滤，使得污垢不易由进液管进入淋喷管后再次喷淋至掩膜版表面，降低对掩膜版造成二次污染的可能性。
[0009]优选的，所述夹持组件包括夹持块；所述夹持块固接在垫板底面，夹持块底面设有插槽；所述插槽内侧壁设有螺纹通孔；所述螺纹通孔内侧壁上螺纹连接有紧固螺钉。
[0010]通过采用上述技术方案，将待清洗的掩膜版插设进夹持块底部的插槽中，转动紧固螺钉使得紧固螺钉对掩膜版进行固定，从而实现夹持块对掩膜版的夹持固定，安装方式简单便捷，便于实现掩膜版在夹持块上的安装与拆卸。
[0011]优选的，所述清洗箱上设置有第二腔体；所述顶板外侧壁上设有滑槽，顶板一端安装有第一电机；所述第一电机输出端固接有伸入滑槽内的丝杆；所述丝杆外部套设有与滑槽内侧壁滑动配合的滑块；所述滑块与丝杆螺纹传动配合；所述连接板远离垫板的端部与滑块固接。
[0012]通过采用上述技术方案，向第二腔体中通入清水，当掩膜版经过处理液清洗后，通过电推杆带动顶板和掩膜版上移至清洗箱顶部，启动第一电机带动丝杆转动，使得滑块通过连接板带动掩膜版移动至第二腔体顶部，再通过电推杆带动掩膜版下移至第二腔体中，使得清水对掩膜版表面残留的处理液进行清洗，进而使得掩膜版保持洁净。
[0013]优选的，所述清洗箱底面安装有第二电机；所述第二电机输出端固接有伸入第二腔体内的第一转轴；所述第一转轴外侧壁上固接有搅拌板。
[0014]通过采用上述技术方案，在将掩膜版浸没在第二腔体内的清水中后启动第二电机，第二电机带动第一转轴和搅拌板进行转动，搅拌板转动过程中带动清水进行运动，从而提高清水对掩膜版的清洗效果，降低处理液残留在掩膜版上的可能性。
[0015]优选的，所述第一腔体底端内侧壁上设有通孔；所述通孔内侧壁上滑动连接有滑板；所述滑板顶端伸至第一腔体内，滑板伸至第一腔体内的端部固接有可撞击挡板底面的撞击块；所述清洗箱底面固接有位于通孔底部的凹形壳；所述滑板远离撞击块的端部伸至凹形壳内部；所述凹形壳内设置可挤压滑板上移的挤压机构；所述滑板侧壁上固接有直板；所述直板顶面通过第一弹簧与清洗箱底面连接。
[0016]通过采用上述技术方案，当挤压机构挤压滑板上滑并压缩第一弹簧时，滑板顶部的撞击块对挡板底面进行撞击，促使挡板和过滤网发生震动，过滤网发生震动时促使过滤网上粘附的污垢沿着过滤网表面进行滑动，降低污垢堵塞过滤网的可能性；当挤压机构未对滑板进行挤压时，直板在第一弹簧的弹力作用下带动滑板下移至初始位置，便于实现挤压机构对滑板进行往复的挤压，进而便于实现撞击块对挡板进行往复的撞击。
[0017]优选的，所述挤压机构包括推块；所述推块滑动连接在凹形壳内侧壁上，推块靠近滑板的端面通过第二弹簧与凹形壳内侧壁连接，推块靠近滑板的端面侧壁设有圆角；所述滑板伸至凹形壳内的端部设有可与圆角接触配合的斜面；所述推块远离第二弹簧的端部伸至凹形壳外，推块伸至凹形壳外的端面设有弧面；所述清洗箱底面转动连接有第二转轴；所述第二转轴外侧壁上固接可挤压推块的凸轮；所述凸轮与弧面配合；所述第一转轴位于清洗箱底部的外侧壁上固接有第一带轮；所述第一带轮外部套设有皮带；所述第二转轴外侧壁上固接有第二带轮；所述皮带远离第一带轮的端部套设在第二带轮外部，皮带使第一带
轮和第二带轮联动。
[0018]通过采用上述技术方案，第一转轴在转动过程中，通过第一带轮、第二带轮和第二带轮的配合工作使得第一转轴带动第二转轴转动，第二转轴在转动过程中凸轮与推块侧壁上的弧面接触，通过凸轮与弧面的配合工作使得凸轮挤压推块向着压缩第二弹簧的方向滑动，在圆角与斜面的配合工作下，推块挤压滑板进行上滑，促使撞击块对挡板进行撞击；当凸轮与推块失去接触时，推块在第二弹簧的弹力作用下回滑至初始位置，便于凸轮再次对推块进行挤压，从而便于实现撞击块对挡板进行往复撞击。
[0019]优选的，所述通孔内侧壁上固接有与滑板外侧壁紧贴的密封圈。
[0020]通过采用上述技术方案，密封圈的设置使得通孔处具有良好的密封效果，使得滑板在上下滑动的过程中，处理液不易通过滑板与通孔内侧壁之间的间隙流出，降低处理液发生泄漏的可能性。
[0021]优选的，所述清洗箱外侧壁上设置有超声波发生装置。
[0022]通过采本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：包括清洗箱(1)；所述清洗箱(1)上设有容纳处理液的第一腔体(11)；所述第一腔体(11)靠近顶面的内侧壁上固接有淋喷管(2)；所述淋喷管(2)外侧壁上固接有与淋喷管(2)内部连通的喷头(21)；所述清洗箱(1)顶部设置有顶板(3)；所述顶板(3)底面设置有电推杆(31)；所述电推杆(31)安装在清洗箱(1)顶面上，电推杆(31)输出端与顶板(3)底面连接；所述顶板(3)侧壁上连接有连接板(4)；所述连接板(4)远离顶板(3)的端部固接有可伸入第一腔体(11)内的垫板(41)；所述垫板(41)底面设置有可对掩膜版进行固定的夹持组件(5)；所述清洗箱(1)外侧壁上设置有可将第一腔体(11)内的处理液输送至淋喷管(2)内的输液机构(6)。2.根据权利要求1所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述第一腔体(11)内侧壁上固接有挡板(12)；所述挡板(12)上设置有开口(121)；所述开口(121)内侧壁上固接有过滤网(13)；所述输液机构(6)包括泵体(61)；所述泵体(61)安装在清洗箱(1)外侧壁上，泵体(61)输入端固接有进液管(62)，泵体(61)输出端固接有出液管(63)；所述进液管(62)远离泵体(61)的端部贯穿清洗箱(1)侧壁和挡板(12)后伸至挡板(12)底部；所述出液管(63)远离泵体(61)的端部与淋喷管(2)内部连通。3.根据权利要求1所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述夹持组件(5)包括夹持块(51)；所述夹持块(51)固接在垫板(41)底面，夹持块(51)底面设有插槽(511)；所述插槽(511)内侧壁设有螺纹通孔(512)；所述螺纹通孔(512)内侧壁上螺纹连接有紧固螺钉(52)。4.根据权利要求2所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)上设置有第二腔体(14)；所述顶板(3)外侧壁上设有滑槽(32)，顶板(3)一端安装有第一电机(33)；所述第一电机(33)输出端固接有伸入滑槽(32)内的丝杆(34)；所述丝杆(34)外部套设有与滑槽(32)内侧壁滑动配合的滑块(35)；所述滑块(35)与丝杆(34)螺纹传动配合；所述连接板(4)远离垫板(41)的端部与滑块(35)固接。5.根据权利要求4所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)底面安装有第二电机(15)；所述第二电机(15)输出端固接有伸入第二腔体(14)内的第一转轴(151)；所述第一转轴(151)外侧壁上固接有搅拌板(152)。6.根据权利要求5所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨斌，王贝，姜勇鹤，章荣彬，
申请(专利权)人：苏州高芯众科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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