塔式升降机制造技术

本记载的塔式升降机包括：主框架；第一滑架模组和第二滑架模组，在所述主框架的内部彼此连接且分别位于左侧以及右侧，并以彼此对应的重量形成，并且向上下方向移动；以及驱动模组，设置于所述主框架，并使所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组向上下方向移动。以及所述第二滑架模组向上下方向移动。以及所述第二滑架模组向上下方向移动。

【技术实现步骤摘要】
塔式升降机


[0001]本专利技术涉及一种塔式升降机，更详细地，涉及一种能够用于输送对象物的塔式升降机。

技术介绍

[0002]一般来说，半导体或者显示器制造工厂的制造线构成为多层，在各层中可以配置用于执行蒸镀、曝光、蚀刻、离子注入、清洗等工艺的设备，对用作半导体基板的半导体晶圆或者用作显示器基板的玻璃基板重复执行一系列的单元工艺，从而可以制造半导体装置或者显示器装置。
[0003]另一方面，所述各层之间的材料输送即半导体晶圆或者玻璃基板之类的材料的输送可以利用经过所述各层向垂直方向设置的塔式升降机来实现。
[0004]以往的塔式升降机可以包括用于输送材料的滑架模组、设置有用于将滑架模组向垂直方向引导的导轨的主框架以及用于利用同步带之类的驱动带使滑架模组向垂直方向移动的驱动模组。一般来说，以往的塔式升降机为了配合大重量的滑架模组的装载平衡，在滑架模组的相反侧设置重量体。
[0005]在这样的重量体中未设置有制动模组之类的安全装置，因此当发生带的破断时，可能立刻跌落。
[0006](专利文献1)韩国公开专利第2019
‑
0128438号

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于提供一种能够提升每小时运送效率的塔式升降机。
[0008]根据本专利技术的一方面的塔式升降机包括：主框架；第一滑架模组和第二滑架模组，在所述主框架的内部彼此连接且分别位于左侧以及右侧，并以彼此对应的重量形成，并且向上下方向移动；以及驱动模组，设置于所述主框架，并使所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组向上下方向移动。
[0009]另一方面，可以是，所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组是彼此相同的结构。
[0010]另一方面，可以是，所述主框架包括：上主体和下主体，设置成在上下方向上彼此隔开；以及第一导向轴和第二导向轴，设置成在左右方向上彼此隔开，并在上下方向上平行地设置，并且一端结合于所述上主体且另一端结合于所述下主体。
[0011]另一方面，可以是，所述塔式升降机还包括：坠落防止模组，设置于所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自，并防止所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组的坠落。
[0012]另一方面，可以是，所述坠落防止模组结合于所述第一滑架模组，并与所述第一导向轴相邻设置。
[0013]另一方面，可以是，所述坠落防止模组结合于所述第二滑架模组，并与所述第二导向轴相邻设置。
[0014]另一方面，可以是，所述塔式升降机还包括：坠落感测传感器，设置于所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自，并感测所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自的坠落。
[0015]另一方面，可以是，所述驱动模组包括：同步带，与所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组结合；以及旋转马达，设置于所述主框架并使所述同步带旋转。
[0016]另一方面，可以是，所述塔式升降机还包括：张力调节模组，配置于所述主框架的下方，并调节所述同步带的张力。
[0017]另一方面，可以是，所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自包括：升降板，设置成能够沿着所述主框架移动，并通过所述驱动模组升降；一个以上的支承板，结合于所述升降板；以及滑架机械手，设置于所述支承板，并操纵对象物。
[0018]根据本专利技术的另一方面的塔式升降机包括：主框架，包括彼此隔开的第一导向轴和第二导向轴；第一滑架模组，沿着所述第一导向轴向上下方向移动；第二滑架模组，沿着所述第二导向轴向上下方向移动，并以与所述第一滑架模组对应的重量形成，并且向与所述第一滑架模组的移动方向相反的相反方向移动；以及驱动模组，包括：同步带，形成为闭合曲线状，并与所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组结合；以及旋转马达，设置于所述主框架，并使所述同步带旋转。
[0019]另一方面，可以是，所述塔式升降机还包括：坠落防止模组，设置于所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自，并防止所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自的坠落。
[0020]另一方面，可以是，所述坠落防止模组结合于所述第一滑架模组，并与所述第一导向轴相邻设置。
[0021]另一方面，可以是，所述坠落防止模组结合于所述第二滑架模组，并与所述第二导向轴相邻设置。
[0022]另一方面，可以是，所述塔式升降机还包括：坠落感测传感器，设置于所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自，并感测所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自的坠落。
[0023]另一方面，可以是，所述塔式升降机还包括：张力调节模组，配置于所述主框架的下方，并调节所述同步带的张力。
[0024]另一方面，可以是，所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组是彼此相同的结构。
[0025]另一方面，可以是，所述第一滑架模组包括：升降板，设置成固定结合于同步带，并围绕所述第一导向轴；一个以上的支承板，结合于所述升降板；以及滑架机械手，设置于所述支承板，并操纵对象物。
[0026]另一方面，可以是，所述第二滑架模组包括：升降板，设置成固定结合于同步带，并围绕所述第二导向轴；一个以上的支承板，结合于所述升降板；以及滑架机械手，设置于所述支承板，并操纵对象物。
[0027]另一方面，可以是，所述主框架包括：上主体，与所述第一导向轴和所述第二导向轴各自的上端结合；以及下主体，设置成相对于所述上主体向下方隔开，并与所述第一导向轴和所述第二导向轴各自的下端结合。
[0028]根据本专利技术的一实施例的塔式升降机包括第一滑架模组和第二滑架模组，从而能
够容易地设定同步带的装载平衡。由此，塔式升降机能够通过第一滑架模组和第二滑架模组各自来输送对象物，因此每小时输送量与以往的塔式升降机相比能够增加。
[0029]另外，根据本专利技术的一实施例的塔式升降机使用彼此不分离空间且在一个主框架内设置的第一滑架模组和第二滑架模组，并将配件共享使用，由此能够减小整体尺寸，从而提升空间利用率。
[0030]另外，当同步带破断时，根据本专利技术的一实施例的塔式升降机通过坠落感测传感器和坠落防止模组来防止第一滑架模组和第二滑架模组坠落，从而能够预先防止塔式升降机的破损。
附图说明
[0031]图1是示出根据本专利技术的一实施例的塔式升降机的图。
[0032]图2是示出第一滑架模组和第二滑架模组位于彼此不同高度的状态的图。
[0033](附图标记说明)
[0034]100：塔式升降机
[0035]110A：第一滑架模组
[0036]110B：第二滑架模组
[0037]111：升降板
[0038]112：支承板
[0039]113：滑架机械手
[0040]120：主框架
[0041]121：第一导向轴
[0042]122：第二导向轴
[0043]123：上主体
[0044]124：下主体
[0045]130：驱动模组
[0046]131：同步带...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种塔式升降机，包括：主框架；第一滑架模组和第二滑架模组，在所述主框架的内部彼此连接且分别位于左侧以及右侧，并以彼此对应的重量形成，并且向上下方向移动；以及驱动模组，设置于所述主框架，并使所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组向上下方向移动。2.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组是彼此相同的结构。3.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述主框架包括：上主体和下主体，设置成在上下方向上彼此隔开；以及第一导向轴和第二导向轴，设置成在左右方向上彼此隔开，并在上下方向上平行地设置，并且一端结合于所述上主体且另一端结合于所述下主体。4.根据权利要求3所述的塔式升降机，其中，所述塔式升降机还包括：坠落防止模组，设置于所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自，并防止所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自的坠落。5.根据权利要求4所述的塔式升降机，其中，所述坠落防止模组结合于所述第一滑架模组，并与所述第一导向轴相邻设置。6.根据权利要求4所述的塔式升降机，其中，所述坠落防止模组结合于所述第二滑架模组，并与所述第二导向轴相邻设置。7.根据权利要求4所述的塔式升降机，其中，所述塔式升降机还包括：坠落感测传感器，设置于所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自，并感测所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自的坠落。8.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述驱动模组包括：同步带，与所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组结合；以及旋转马达，设置于所述主框架并使所述同步带旋转。9.根据权利要求8所述的塔式升降机，其中，所述塔式升降机还包括：张力调节模组，配置于所述主框架的下方，并调节所述同步带的张力。10.根据权利要求1所述的塔式升降机，其中，所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组各自包括：升降板，设置成能够沿着所述主框架移动，并通过所述驱动模组升降；一个以上的支承板，结合于所述升降板；以及滑架机械手，设置于所述支承板，并操纵对象物。11.一种塔式升降机，包括：主框架，包括彼此隔开的第一导向轴和第二导向轴；
第一滑架模组，沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：边熙宰，金相吴，李娜贤，李明振，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：