本实用新型专利技术公开的属于半导体工艺设备技术领域，具体为一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置，包括底架组件、联动传递构件与晶圆片载体构件，所述底架组件安装于联动传递构件顶部，所述晶圆片载体构件安装于底架组件顶部，本实用新型专利技术通过将无杆气缸、双杆气缸与回转气缸连接，使得本实用新型专利技术同时具备了水平移动、垂直移动以及旋转功能，进行翻转时，通过齿轮带动齿轮旋转，齿轮通过与齿纹啮合连接带动弯板三进行旋转，通过弯板三通过横梁带动弯板一与弯板二整体旋转，使连接于横梁底部的晶圆支撑座进行角度调整，晶圆支撑座底部开设有底槽，所述底槽外壁设有计数器组件，具有晶圆片在不同相对位置时进行计数与偏转角度的效果。的效果。的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置
[0001]本技术涉及半导体工艺设备
，具体涉及一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置。
技术介绍
[0002]在半导体工艺设备中常需要在设备中建构一晶圆载体传递的机构以传送到指定的工艺区段，而在晶圆载体装载晶圆后进入工艺设备的装载区后需要对晶圆的片数进行计数的动作。通常进行晶圆片数计数的动作使用晶圆计数传感器。
[0003]现有技术存在以下不足：现有的而传感器使用的种类有多种类使用类型，多直接固定装载在工艺设备的固定端面上或是骨架的梁上，采取原地进行对晶圆片数计数，无法满足在加工过程中计数、晶圆片在不同相对位置与偏转角度。
[0004]因此，专利技术一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置很有必要。
技术实现思路
[0005]为此，本技术提供一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置，通过将无杆气缸、双杆气缸与回转气缸连接，使得本技术同时具备了水平移动、垂直移动以及旋转功能，通过底架组件与晶圆片载体构件配合对晶圆片进行角度调节，以解决晶圆片在不同相对位置时进行计数与偏转角度的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置，包括底架组件、联动传递构件与晶圆片载体构件，所述底架组件安装于联动传递构件顶部，所述晶圆片载体构件安装于底架组件顶部，所述底架组件包括底框；
[0007]所述晶圆片载体构件包括横梁，所述横梁设有两组，两组所述横梁对称设置，两组所述横梁两端分别安装有弯板一与弯板二，所述弯板二一侧设有弯板三，所述弯板三两端分别与两组所述横梁固定连接，所述弯板三外壁设置有齿纹，所述晶圆片载体构件包括晶圆支撑座，所述晶圆支撑座内壁安装有晶圆片，所述晶圆支撑座安装在两组所述横梁之间且不与弯板一、弯板二和弯板三接触，所述晶圆支撑座底部开设有底槽，所述底槽外壁设有计数器组件，所述计数器组件设有两组，两组所述计数器组件对称设置且与晶圆支撑座底部连接。
[0008]优选的，两组所述横梁顶部固定安装有定位台，所述晶圆支撑座顶部两侧开固定安装有边板，所述边板底部开设有凹槽，两组所述边板与两组所述横梁连接且定位台插接在凹槽内壁。
[0009]优选的，所述晶圆支撑座内壁开设有晶圆腔，所述晶圆腔内壁两侧均匀开设有晶圆槽，所述晶圆槽、晶圆腔与底槽相互连接，所述晶圆片均匀插接在晶圆槽内壁且底部安装于底槽外壁。
[0010]优选的，所述底框顶部右侧固定安装有右支撑竖板，所述右支撑竖板设有两组，所
述右支撑竖板顶部左侧安装有转轮一，所述转轮一与右支撑竖板活动连接，底框顶部左侧固定安装有左支撑竖板，所述左支撑竖板设有两组，所述左支撑竖板右侧安装有转轮二，所述转轮二与左支撑竖板活动连接，所述弯板二底部与两组所述转轮二顶部连接，所述弯板一底部与两组所述转轮一顶部连接。
[0011]优选的，所述底框顶部左侧中心位置固定安装有承拉板一，所述承拉板一顶部右侧安装转轮三，所述转轮三与承拉板一活动连接，所述转轮三底部与弯板二顶部连接。
[0012]优选的，所述底框右侧中心位置固定安装有承拉板二，所述承拉板二顶部左侧安装有转轮四，所述转轮四与承拉板二活动连接，所述转轮四底部与弯板三顶部连接，所述承拉板二右侧设有承拉板三，所述承拉板三底部与底框顶部固定连接，所述承拉板三顶部左侧安装有转轮五，所述转轮五与承拉板三活动连接，所述转轮五底部与弯板一顶部连接，所述承拉板三右侧固定安装有马达，所述承拉板二左侧活动安装有齿轮，所述马达左侧输出轴依次穿过承拉板三、承拉板二与齿轮固定连接，所述齿轮与齿纹啮合连接。
[0013]优选的，所述计数器组件包括支撑条，所述支撑条一侧与底槽外壁固定连接，所述支撑条两侧固定安装有限位条，两组所述限位条之间设有转板，所述转板一侧固定安装有晶圆计数传感器，所述晶圆计数传感器输出端安装在底槽内壁与晶圆片连接，所述限位条底部开设有通孔，所述转板两侧固定安装有螺杆，所述螺杆插接在通孔内壁与限位条滑动连接，所述限位条两侧设有螺帽，两组所述螺帽与螺杆螺纹连接。
[0014]优选的，所述联动传递构件包括无杆气缸，所述无杆气缸顶部输出轴固定安装有支撑板，所述支撑板顶部固定安装有双杆气缸，所述双杆气缸顶部输出轴固定安装有回转气缸，所述回转气缸顶部输出轴固定安装有限位板，所述底框内壁开设有限位槽，所述限位板插接在限位槽内壁与底框固定连接。
[0015]本技术的有益效果是：
[0016]1.通过将无杆气缸、双杆气缸与回转气缸连接，使得本技术同时具备了水平移动、垂直移动以及旋转功能，进行翻转时，通过齿轮带动齿轮旋转，齿轮通过与齿纹啮合连接带动弯板三进行旋转，通过弯板三通过横梁带动弯板一与弯板二整体旋转，使连接于横梁底部的晶圆支撑座进行角度调整，晶圆支撑座底部开设有底槽，所述底槽外壁设有计数器组件，具有晶圆片在不同相对位置时进行计数与偏转角度的效果；
[0017]2.通过晶圆片插接在晶圆槽内壁，晶圆片底部延伸至底槽底部，通过调节两组螺帽的间距使螺杆与限位条松动，使转板带动晶圆计数传感器进行旋转并调整晶圆计数传感器的角度，后拧紧螺帽使晶圆计数传感器的角度固定，对准并插接在晶圆片底部，具有方便调节两个晶圆计数传感器的间距与角度，以适应不同尺寸的晶圆片的效果。
附图说明
[0018]图1为本实用立面结构示意图；
[0019]图2为本实用晶圆片载体构件立面结构示意图；
[0020]图3为本实用计数器组件安装结构示意图；
[0021]图4为本实用晶圆计数传感器安装结构示意图；
[0022]图5为本实用弯板三安装结构示意图；
[0023]图6为本实用晶圆支撑座结构示意图；
[0024]图7为本实用底架组件结构示意图；
[0025]图8为本实用弯板二连接结构示意图；
[0026]图9为本实用计数器组件结构示意图；
[0027]图10为本实用支撑条结构示意图。
[0028]图中：底架组件100、底框110、限位槽111、右支撑竖板120、转轮一130、左支撑竖板140、转轮二141、承拉板一150、转轮三151、承拉板二160、转轮四161、承拉板三170、转轮五171、马达180、齿轮190、联动传递构件200、无杆气缸210、支撑板211、双杆气缸220、回转气缸230、限位板240、晶圆片载体构件300、晶圆支撑座310、边板311、凹槽312、晶圆腔313、底槽314、晶圆槽315、横梁320、定位台321、弯板一330、弯板二340、弯板三350、齿纹351、计数器组件360、支撑条361、限位条362、转板363、晶圆计数传感器364、通孔365、螺杆366、螺帽367、晶圆片370。
具体实施方式
[0029]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置，包括底架组件(100)、联动传递构件(200)与晶圆片载体构件(300)，其特征在于：所述底架组件(100)安装于联动传递构件(200)顶部，所述晶圆片载体构件(300)安装于底架组件(100)顶部，所述底架组件(100)包括底框(110)；所述晶圆片载体构件(300)包括横梁(320)，所述横梁(320)设有两组，两组所述横梁(320)对称设置，两组所述横梁(320)两端分别安装有弯板一(330)与弯板二(340)，所述弯板二(340)一侧设有弯板三(350)，所述弯板三(350)两端分别与两组所述横梁(320)固定连接，所述弯板三(350)外壁设置有齿纹(351)，所述晶圆片载体构件(300)包括晶圆支撑座(310)，所述晶圆支撑座(310)内壁安装有晶圆片(370)，所述晶圆支撑座(310)安装在两组所述横梁(320)之间且不与弯板一(330)、弯板二(340)和弯板三(350)接触，所述晶圆支撑座(310)底部开设有底槽(314)，所述底槽(314)外壁设有计数器组件(360)，所述计数器组件(360)设有两组，两组所述计数器组件(360)对称设置且与晶圆支撑座(310)底部连接。2.根据权利要求1所述的一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置，其特征在于：两组所述横梁(320)顶部固定安装有定位台(321)，所述晶圆支撑座(310)顶部两侧开固定安装有边板(311)，所述边板(311)底部开设有凹槽(312)，两组所述边板(311)与两组所述横梁(320)连接且定位台(321)插接在凹槽(312)内壁。3.根据权利要求1所述的一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置，其特征在于：所述晶圆支撑座(310)内壁开设有晶圆腔(313)，所述晶圆腔(313)内壁两侧均匀开设有晶圆槽(315)，所述晶圆槽(315)、晶圆腔(313)与底槽(314)相互连接，所述晶圆片(370)均匀插接在晶圆槽(315)内壁且底部安装于底槽(314)外壁。4.根据权利要求1所述的一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输装置，其特征在于：所述底框(110)顶部右侧固定安装有右支撑竖板(120)，所述右支撑竖板(120)设有两组，所述右支撑竖板(120)顶部左侧安装有转轮一(130)，所述转轮一(130)与右支撑竖板(120)活动连接，底框(110)顶部左侧固定安装有左支撑竖板(140)，所述左支撑竖板(140)设有两组，所述左支撑竖板(140)右侧安装有转轮二(141)，所述转轮二(141)与左支撑竖板(140)活动连接，所述弯板二(340)底部与两组所述转轮二(141)顶部连接，所述弯板一(330)底部与两组所述转轮一(130)...
【专利技术属性】
技术研发人员：何少龙，丁柳宁，盛锋锋，
申请(专利权)人：浙江六方碳素科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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