运动机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种运动机构，包括：底座；运动台，位于底座的上方，运动台能够在底座的上方运动；限位结构，设置在运动台上，限位结构能够将运动台悬浮在底座上方，并限定运动台在底座上方的移动轨迹；驱动组件，设置在底座上，且与运动台连接，驱动组件用于驱动运动台沿移动轨迹移动。基于本实用新型专利技术的技术方案，由于限位结构能够将运动台悬浮在底座上方，这样避免了运动台与底座直接接触，从而降低了运动台移动时的阻力，进而提高了运动台的移动效率，以满足运动机构对晶圆进行高精度的微小移动的要求。而且，限位结构能限定运动台在底座上方的移动轨迹，这样能够实现对晶圆进行高精度的微小移动。度的微小移动。度的微小移动。

【技术实现步骤摘要】
运动机构


[0001]本技术涉及集成电路中的芯片设备
，特别地涉及一种运动机构。

技术介绍

[0002]目前，集成电路行业发展迅速，对芯片产品的良率要求日益增高，晶圆对准装置作为晶圆对准工序中关键设备，上下晶圆对准过程中需要利用晶圆对准装置的运动机构对其中一个晶圆进行高精度的微小线性移动。
[0003]然而，相关技术中晶圆对准装置的运动机构受其自身结构的限制(可参考中国专利：CN114823454A)，无法满足对晶圆进行高精度的微小线性移动的要求。
[0004]以上也就是说，相关技术中的运动机构无法实现对晶圆进行高精度的微小线性移动。

技术实现思路

[0005]针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种运动机构，解决了运动机构无法实现对晶圆进行高精度的微小线性移动的问题。
[0006]本技术的运动机构，包括：底座；运动台，位于底座的上方，运动台能够在底座的上方运动；限位结构，设置在运动台上，限位结构能够将运动台悬浮在底座上方，并限定运动台在底座上方的移动轨迹；驱动组件，设置在底座上，且与运动台连接，驱动组件用于驱动运动台沿移动轨迹移动。
[0007]在一个实施方式中，限位结构包括：第一限位组件，设置在运动台的底部，第一限位组件能够将运动台悬浮在底座上方，并限定其与底座在第一方向上的相对位置；第二限位组件，设置在运动台在第二方向上的两侧，第二限位组件用于限定其与底座在第二方向上的相对位置。
[0008]在一个实施方式中，第一限位组件包括多个空气轴承，多个空气轴承分别设置在运动台的角部位置。
[0009]在一个实施方式中，第二限位组件包括：第一限位件，设置在运动台在第二方向上的一侧；第二限位件，设置在运动台在第二方向上的另一侧上；其中，第二限位组件通过第一限位件和第二限位件限定运动台与底座在第二方向上的相对位置。
[0010]在一个实施方式中，第一限位件包括：轴承安装块，其一端设置在运动台上；空气轴承，设置在轴承安装块的另一端上；其中，空气轴承与底座在第二方向上的一侧对应设置。
[0011]在一个实施方式中，驱动组件包括：第一驱动件，设置在底座上，且与运动台在第二方向上的一侧连接；第二驱动件，设置在底座上，且与运动台在第二方向上的另一侧连接；其中，第一驱动件和第二驱动件能够驱动运动台沿第三方向移动。
[0012]在一个实施方式中，第一驱动件包括：固定座，设置在底座上；驱动元件，沿第三方向穿设在固定座上；挡块组件，与运动台在第二方向上的一侧连接；其中，驱动元件的推杆
能够推动挡块组件沿第三方向移动。
[0013]在一个实施方式中，第一驱动件还包括杆头组件，其包括：轴承固定座，设置在推杆的伸出端；转轴，沿第一方向设置在轴承固定座上；滚动轴承，套设在转轴上；其中，滚动轴承的外圈与挡块组件抵接接触，以推动其沿第三方向移动。
[0014]在一个实施方式中，挡块组件包括：挡块；拉板，分别设置在挡块的上下两端；弹性元件，一端与拉板固定连接，其另一端与固定座固定连接；其中，当推杆能够推动挡块沿第三方向移动时，弹性元件处于拉伸状态。
[0015]在一个实施方式中，挡块组件还包括硬质平板，硬质平板设置在挡块靠近推杆的一侧。
[0016]上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本技术的目的。
[0017]本技术提供的一种运动机构，与现有技术相比，至少具备有以下有益效果：
[0018]由于限位结构能够将运动台悬浮在底座上方，这样避免了运动台与底座直接接触，从而降低了运动台移动时的阻力，进而提高了运动台的移动效率，以满足运动机构对晶圆进行高精度的微小移动的要求。而且，限位结构能限定运动台在底座上方的移动轨迹，这样能够实现对晶圆进行高精度的微小移动。
附图说明
[0019]在下文中将基于实施例并参考附图来对本技术进行更详细的描述。其中：
[0020]图1显示了本技术的运动机构的立体结构示意图；
[0021]图2显示了图1中的杆头组件、固定座和驱动元件的装配关系图；
[0022]图3显示了图1中的挡块组件的立体结构示意图；
[0023]图4显示了图1中的空气轴承的立体结构示意图。
[0024]在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
[0025]附图标记：
[0026]10、底座；20、运动台；31、第一限位组件；32、第二限位组件；321、第一限位件；3211、轴承安装块；322、第二限位件；40、驱动组件；41、第一驱动件；411、固定座；4111、弹簧固定端支柱；412、驱动元件；4121、推杆；413、挡块组件；4131、挡块；4132、拉板；4133、弹性元件；4134、硬质平板；4135、弹簧移动端支柱；414、杆头组件；4141、轴承固定座；4142、转轴；4143、滚动轴承；4144、转轴固定板；4145、轴承垫圈；42、第二驱动件；50、空气轴承；51、壳体；52、管接头；53、螺套；54、螺杆。
具体实施方式
[0027]下面将结合附图对本技术作进一步说明。
[0028]需要说明的是，本申请中的运动机构装载有晶圆，用于将晶圆沿第三方向进行高精度的微小移动，与另一块晶圆进行对准。
[0029]如图1所示，本技术提供了一种运动机构，其包括底座10、运动台20、限位结构和驱动组件40。其中，运动台20位于底座10的上方，运动台20能够在底座10的上方运动；限位结构设置在运动台20上，限位结构能够将运动台20悬浮在底座10上方，并限定运动台20
在底座10上方的移动轨迹；驱动组件40设置在底座10上，且与运动台20连接，驱动组件40用于驱动运动台20沿移动轨迹往复移动。
[0030]上述设置中，由于限位结构能够将运动台20悬浮在底座10上方，这样避免了运动台20与底座10直接接触，从而降低了运动台20移动时的阻力，进而提高了运动台20的移动效率，以满足运动机构对晶圆进行高精度的微小移动的要求。而且，限位结构能限定运动台20在底座10上方的移动轨迹，这样能够实现对晶圆进行高精度的微小移动。
[0031]需要说明的是，本申请中的移动轨迹为直线移动轨迹，主要用于上下两块晶圆的对准，即通过运动机构将一块晶圆进行高精度的线性移动，以将其与另外一块对准。其中运动台20上可装载晶圆。
[0032]具体地，在一个实施例中，底座10采用大理石底座。
[0033]具体地，如图1所示，在一个实施例中，限位结构包括第一限位组件31和第二限位组件32，其中第一限位组件31设置在运动台20的底部，第一限位组件31能够将运动台20悬浮在底座10上方，并限定其与底座10在第一方向上的相对位置；第二限位组件32设置在运动台20在第二方向上的两侧，第二限位组件32用于限定其与底座10在第二方向上的相对位置。
[0034本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运动机构，其特征在于，包括：底座；以及运动台，位于所述底座的上方，所述运动台能够在所述底座的上方运动；以及限位结构，设置在所述运动台上，所述限位结构能够将所述运动台悬浮在所述底座上方，并限定所述运动台在所述底座上方的移动轨迹；以及驱动组件，设置在所述底座上，且与所述运动台连接，所述驱动组件用于驱动所述运动台沿所述移动轨迹移动。2.根据权利要求1所述的运动机构，其特征在于，所述限位结构包括：第一限位组件，设置在所述运动台的底部，所述第一限位组件能够将所述运动台悬浮在所述底座上方，并限定其与所述底座在第一方向上的相对位置；以及第二限位组件，设置在所述运动台在第二方向上的两侧，所述第二限位组件用于限定其与所述底座在第二方向上的相对位置。3.根据权利要求2所述的运动机构，其特征在于，所述第一限位组件包括多个空气轴承，多个所述空气轴承分别设置在所述运动台的角部位置。4.根据权利要求2所述的运动机构，其特征在于，所述第二限位组件包括：第一限位件，设置在所述运动台在第二方向上的一侧；以及第二限位件，设置在所述运动台在第二方向上的另一侧上；其中，所述第二限位组件通过所述第一限位件和第二限位件限定所述运动台与所述底座在第二方向上的相对位置。5.根据权利要求4所述的运动机构，其特征在于，所述第一限位件包括：轴承安装块，其一端设置在所述运动台上；空气轴承，设置在所述轴承安装块的另一端上；以及其中，所述空气轴承与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊丰，姜保彧，张豹，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：