提高供液稳定性的对角式循环供液系统及晶圆清洗设备技术方案

本实用新型专利技术公开了一种提高供液稳定性的对角式循环供液系统及晶圆清洗设备，所述系统包括多组对角式循环供液管路，每组对角式循环供液管路均包括进液管、循环供液管和排液管，进液管的出液端与循环供液管相连，循环供液管与晶圆清洗设备机台上每一个清洗腔的进液口均相连，循环供液管的出液端和排液管的进液端均与位于该进液口对角侧的出液口相连，所述进液管和排液管上均设置有稳压阀组。本实用新型专利技术通过采用对角式循环供液管路有效降低了供液系统对供液管路内液体压力的影响，从而保证稳压阀组前后端管路内压力的稳定，使化学液可以以一个较为稳定的速度到达晶圆表面，在晶圆高速旋转时均匀的清洗晶圆表面的残留物。速旋转时均匀的清洗晶圆表面的残留物。速旋转时均匀的清洗晶圆表面的残留物。

【技术实现步骤摘要】
提高供液稳定性的对角式循环供液系统及晶圆清洗设备


[0001]本技术涉及晶圆清洗
，尤其涉及一种提高供液稳定性的对角式循环供液系统及晶圆清洗设备。

技术介绍

[0002]单片清洗设备采用单片晶圆旋转湿法清洗技术，单片清洗设备的供液管路和循环管路常需要保证其管路内液体的压力稳定，这样才能使化学液以一个较为稳定的速度从管路到达晶圆表面，在晶圆高速旋转时均匀的清洗晶圆表面的残留物。通常供液系统采用泵将各种化学液抽进机台的供液管路内，该形式会使得管路内的液体以脉冲式的速度流动，难以保证化学液到达晶圆表面时的流速稳定。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供了一种提高供液稳定性的对角式循环供液系统及晶圆清洗设备，用以解决传统泵送式供液系统输送至晶圆表面的化学液流速不稳定的问题。
[0004]一种提高供液稳定性的对角式循环供液系统，包括多组用以输送不同化学液的对角式循环供液管路，
[0005]每组对角式循环供液管路均包括与供液系统相连的进液管、用以将从进液管输送的化学液送至晶圆清洗设备的清洗腔内并将清洗后的化学液排出清洗腔的循环供液管、以及用以将循环后的化学液输送至化学液回收系统的排液管，所述进液管的出液端和循环供液管的进液端相连，循环供液管与晶圆清洗设备机台上每一个清洗腔的进液口均相连，循环供液管的出液端和排液管的进液端均与晶圆清洗设备机台上的位于进液口对角侧的出液口相连，
[0006]所述进液管和排液管上均设置有稳压阀组。
[0007]优选地，所述进液管上的稳压阀组设置在其出液端处，包括沿着化学液的流动方向依次设置的进液手动阀、进液气动阀和进液定压阀。
[0008]优选地，所述排液管上的稳压阀组设置在其进液端处，包括沿着化学液的流动方向依次设置的排液背压阀、排液气动阀和排液手动阀。
[0009]优选地，每组对角式循环供液管路中设置有至少一个循环供液管，循环供液管的设置数量与晶圆清洗设备的清洗腔的层数相等。
[0010]优选地，所述循环供液管包括第一供液管段和第二供液管段，所述第一供液管段分别与晶圆清洗设备机台的进液口和晶圆清洗设备的清洗腔相连通，第二供液管段分别与晶圆清洗设备的清洗腔和晶圆清洗设备机台上的位于进液口对角侧的出液口相连通。
[0011]一种晶圆清洗设备，设置有提高供液稳定性的对角式循环供液系统。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]1、本申请通过设计一个对角式循环供液管路，并在管路上设置稳压阀组，有效地降低了供液系统对供液管路内液体压力的影响，从而保证稳压阀组后端管路内压力的稳
定，使化学液可以以一个较为稳定的速度到达晶圆表面，在晶圆高速旋转时均匀的清洗晶圆表面的残留物。
[0014]2、本申请通过在对角式循环供液管路的进液管和排液管上均设置稳压阀组，不仅能够保证进液后管路内的压力稳定，保证各个清洗腔内化学液的流量压力一致，在同一制程的情况下，使清洗工艺更加稳定；而且当化学液流出主机台进入化学液回收系统时，即便管路内的压力随着回收槽内化学液液位的变化而有所波动，也不会干扰管路内的压力稳定，从而保证制程过程中化学液到达晶圆表面时的流速稳定，进而保证晶圆清洗效果。
[0015]3、本申请的对角式循环供液管路能够保证输送到上、下层清洗腔内的化学液的液体流动路径相等，不仅可以保证上、下层清洗腔内化学液的供液速率，而且也能时化学液同时供应至各个清洗腔内，进一步保证提供给各清洗腔的化学液的压力流量一致，从而保证化学液供应的稳定性，保证晶圆清洗效果和清洗效率。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0017]图1是对角式循环供液管路上设置稳压阀组的示意图。
[0018]图2是对角式循环供液管路的管路示意图。
[0019]图中标号的含义为：
[0020]11和12均为进液管，13和14均为出液管，15为循环供液管，211为进液手动阀，212为进液气动阀，213为进液定压阀，221为排液定压阀，222为排液气动阀，223为排液手动阀。
具体实施方式
[0021]为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
[0022]应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。
[0024]在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]本技术给出一种提高供液稳定性的对角式循环供液系统，该系统通过设计对角式循环供液管路，并在管路上设置稳压阀组，有效地降低了供液系统对供液管路内液体压力的影响，从而保证稳压阀组后端管路内压力的稳定，使化学液可以以一个较为稳定的速度到达晶圆表面，在晶圆高速旋转时均匀的清洗晶圆表面的残留物。
[0026]同时通过在对角式循环供液管路的进液管11/12和排液管13/14上均设置稳压阀组，不仅能够保证进液后管路内的压力稳定，而且当化学液流出主机台进入化学液回收系统时，即便管路内的压力随着回收槽内化学液液位的变化而有所波动，也不会干扰管路内的压力稳定，从而保证制程过程中化学液到达晶圆表面时的流速稳定，进而保证晶圆清洗效果。
[0027]本技术的提高供液稳定性的对角式循环供液系统包括多组用以输送不同化学液的对角式循环供液管路，每组对角式循环供液管路对应输送多种化学液，同一组对角式循环供液管路可同时对多层清洗腔进行供液，有效地简化了管路设计，在一定程度上降低了设备的成本，同时进一步提升了晶圆清洗的效率。
[0028]各组对角式循环供液管路的组成相同，均包括进液管11/12、循环供液管15和排液管13/14。每组对角式循环供液管路中设置有至少一个循环供液管15，循环供液管15的设置数量与晶圆清洗设备的清洗腔的层数相等。
[0029]进液管11/12与供液系统相连，用于输送供液系统供应的化学液。
[0030]循环供液管15用以将从进液管11/12输送的化学液送至晶圆清洗设备的清洗腔内并将清洗后的化学液排出清洗腔。进液管11/12的出液端和循环供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高供液稳定性的对角式循环供液系统，其特征在于，包括多组用以输送不同化学液的对角式循环供液管路，每组对角式循环供液管路均包括与供液系统相连的进液管、用以将从进液管输送的化学液送至晶圆清洗设备的清洗腔内并将清洗后的化学液排出清洗腔的循环供液管、以及用以将循环后的化学液输送至化学液回收系统的排液管，所述进液管的出液端和循环供液管的进液端相连，循环供液管与晶圆清洗设备机台上每一个清洗腔的进液口均相连，循环供液管的出液端和排液管的进液端均与晶圆清洗设备机台上的位于进液口对角侧的出液口相连，所述进液管和排液管上均设置有稳压阀组。2.根据权利要求1所述的提高供液稳定性的对角式循环供液系统，其特征在于，所述进液管上的稳压阀组设置在其出液端处，包括沿着化学液的流动方向依次设置的进液手动阀、进液气动阀和进液定压阀。3.根据权利要求1所述的提高供液稳定性...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈聪，刘大威，
申请(专利权)人：江苏启微半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：