cvd金刚石制备反应腔冷却结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种cvd金刚石制备反应腔冷却结构，包括外层圆柱腔、内层反应腔、第一隔水板和第二隔水板，所述内层反应腔置于外层圆柱腔内，所述内层反应腔的外壁上呈环形阵列设置有纵向条状凹槽，所述外层圆柱腔上设置有第一进水口、第二进水口、第一回水口、第二回水口。本结构通过在内层反应腔的外表面设置纵向条状凹槽，能够使内层反应腔的外壁与冷却循环水的散热接触面积增加1.3

【技术实现步骤摘要】
cvd金刚石制备反应腔冷却结构


[0001]本技术属于金刚石制备设备
，具体涉及一种cvd金刚石制备反应腔冷却结构。

技术介绍

[0002]cvd金刚石制备过程中，反应腔体内的温度很高，需要降温制冷，通常采用两层圆柱腔体水冷，内层反应腔外表面一般是光面的，制冷效果取决于内层圆柱的面积，新的方法可以内层反应腔外表面加工成带槽的圆柱体，增加散热面积。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种能够增大内层反应腔外壁散热面积的cvd金刚石制备反应腔冷却结构。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种cvd金刚石制备反应腔冷却结构，包括外层圆柱腔、内层反应腔、第一隔水板和第二隔水板，所述内层反应腔置于外层圆柱腔内，所述内层反应腔的外壁上呈环形阵列设置有纵向条状凹槽，所述外层圆柱腔上设置有第一进水口、第二进水口、第一回水口、第二回水口，所述第一隔水板和第二隔水板对称且固定安装在外层圆柱腔的内壁上，所述第一隔水板和第二隔水板将外层圆柱腔、内层反应腔之间的区域分隔为第一冷却区域和第二冷却区域，所述第一进水口、第一回水口连通至第一冷却区域，所述第二进水口、第二回水口连通至第二冷却区域。
[0005]作为优选，所述纵向条状凹槽的深度设置为3mm
‑
4mm。
[0006]作为优选，所述第一隔水板和第二隔水板的内端与内层反应腔的外壁之间存在5mm
‑
8mm的间隙。
[0007]与现有技术相比，本技术的有益之处是：本结构通过在内层反应腔的外表面设置纵向条状凹槽，能够使内层反应腔的外壁与冷却循环水的散热接触面积增加1.3
‑
1.5倍，通过隔水板将外层圆柱腔、内层反应腔之间的循环水流动区域进行等分，再增设一组进水口和回水口，降低单个进水口的注水压力，缓解了对内层反应腔的外壁纵向条状凹槽的冲刷力，延长了内层反应腔的使用寿命。
附图说明
[0008]下面结合附图对本技术进一步说明。
[0009]图1是本技术的内部结构示意图。
具体实施方式
[0010]下面结合具体实施方式对本技术进行详细描述：
[0011]如图1所示的一种cvd金刚石制备反应腔冷却结构，包括外层圆柱腔1、内层反应腔6、第一隔水板81和第二隔水板82，所述内层反应腔6置于外层圆柱腔1内，以内层反应腔6的
中轴线为中心，所述内层反应腔6的外壁上呈环形阵列设置有纵向条状凹槽7，纵向条状凹槽7能够增大内层反应腔6外壁的散热面积，在冷却循环水流量相同的情况下，起到更好的散热效果，由于内层反应腔6的外表面设置为纵向条状凹槽7，相对于传统的光滑表面结构，处于高压注入状态的冷却水会将内层反应腔6的外表面设置的纵向条状凹槽7在长期使用过程中冲刷平整，导致内层反应腔6的壁厚变薄，影响内层反应腔6的使用寿命，同时，所述外层圆柱腔1上设置有第一进水口2、第二进水口3、第一回水口4、第二回水口5，所述第一隔水板81和第二隔水板82对称且固定安装在外层圆柱腔1的内壁上，所述第一隔水板81和第二隔水板82将外层圆柱腔1、内层反应腔6之间的区域分隔为第一冷却区域11和第二冷却区域12，所述第一进水口2、第一回水口4连通至第一冷却区域11，所述第二进水口3、第二回水口5连通至第二冷却区域12，通过增设进水口和出水口的方式，能够降低单个进水口的进水的压力需求，进水口注入的高压水流的压力降低，减小了对内层反应腔6外表面纵向条状凹槽7的冲刷作用，延长内层反应腔6的使用寿命，同时通过第一进水口2、第二进水口3合并连接至同一供水主管路，确保冷却循环水的供水压力和水温完全相同，使内层反应腔6内部冷却温度一致，第一进水口2、第二进水口3的供水压力相同，可避免第一冷却区域11和第二冷却区域12内的压力相同，避免因两个冷却区域压力不同导致内层反应腔6出现震荡的问题，第一隔水板81和第二隔水板82将内层反应腔6与外层圆柱腔1分隔为第一冷却区域11和第二冷却区域12，能够避免第一进水口2、第二进水口3注入的水流相互冲击导致内层反应腔6不平稳的问题。
[0012]在不增加内层反应腔6壁厚的情况下，所述纵向条状凹槽7的深度设置为3mm
‑
4mm，能够增加内层反应腔6外壁与冷却循环水接触面积1.3
‑
1.5倍。
[0013]所述第一隔水板81和第二隔水板82的内端与内层反应腔6的外壁之间存在5mm
‑
8mm的间隙，此间隙能够便于内层反应腔6安装在外层圆柱腔1内，同时能够起到隔水分流的效果。
[0014]需要强调的是：对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种cvd金刚石制备反应腔冷却结构，其特征在于：包括外层圆柱腔（1）、内层反应腔（6）、第一隔水板（81）和第二隔水板（82），所述内层反应腔（6）置于外层圆柱腔（1）内，所述内层反应腔（6）的外壁上呈环形阵列设置有纵向条状凹槽（7），所述外层圆柱腔（1）上设置有第一进水口（2）、第二进水口（3）、第一回水口（4）、第二回水口（5），所述第一隔水板（81）和第二隔水板（82）对称且固定安装在外层圆柱腔（1）的内壁上，所述第一隔水板（81）和第二隔水板（82）将外层圆柱腔（1）、内层反应腔（6）之间的区域分隔为第一冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘小利，
申请(专利权)人：常州宝颐金刚石科技有限公司，
类型：新型
国别省市：