一种加热器和单晶炉制造技术

技术编号:37731536 阅读:14 留言:0更新日期:2023-06-02 09:23
本实用新型专利技术实施例提供了一种加热器和单晶炉,所述加热器包括:加热本体和发热体,所述发热体设置于所述加热本体上,且用于罩设在石英坩埚外;其中,所述发热体为环形结构,所述发热体的周向上设置有多个凹槽;所述凹槽沿所述发热体的轴线方向延伸,且所述凹槽朝所述发热体的周向弯折。在本实用新型专利技术实施例中,可以避免发热瓣的数量过多,有效保证所述加热器的结构稳定性,避免所述加热器受损,进而提高所述加热器的使用寿命。加热器的使用寿命。加热器的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种加热器和单晶炉


[0001]本技术涉及拉晶
,特别是涉及一种加热器和单晶炉。

技术介绍

[0002]现在技术中,通常需要使用加热器加热石英坩埚内的硅料,实现拉制单晶硅棒。然而,石英坩埚底部受热发生熔解产生反应,使得Si(硅)+SiO2(二氧化硅)

2SiO(氧化硅),而反应产生的SiO经过熔体对流,容易扩散至单晶硅棒内部,部分氧原子随着晶体进入单晶硅棒中,影响单晶硅棒的寿命,从而影响电池的转换效率。
[0003]目前的加热器,通过增加发热瓣的数量实现降低单晶硅棒头部氧含量的效果。然而,发热瓣的数量过多,会导致加热器结构不稳定,且容易受损。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题,提出了本技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种加热器和单晶炉。
[0005]为了解决上述问题,第一方面,本技术实施例公开了一种加热器,包括:加热本体和发热体,所述发热体设置于所述加热本体上,且用于罩设在石英坩埚外;其中,
[0006]所述发热体为环形结构,所述发热体的周向上设置有多个凹槽;
[0007]所述凹槽沿所述发热体的轴线方向延伸,且所述凹槽朝所述发热体的周向弯折。
[0008]可选地,所述凹槽包括多个第一弯折部和第二弯折部;
[0009]所述第一弯折部和所述第二弯折部沿所述发热体的轴线方向交替设置;
[0010]所述第一弯折部和所述第二弯折部朝所述发热体的周向弯折,所述第一弯折部的弯折方向与所述第二弯折部的弯折方向相反。
[0011]可选地,所述第一弯折部的截面形状包括:弧形和U形中的至少一种;
[0012]所述第二弯折部的截面形状包括:弧形和U形中的至少一种。
[0013]可选地,所述凹槽还包括第一弧形部和第二弧形部;
[0014]多个所述第一弯折部和所述第二弯折部设置于所述第一弧形部和所述第二弧形部之间;
[0015]所述第一弧形部和所述第二弧形部对称设置于所述凹槽的两端。
[0016]可选地,所述凹槽包括多组对应设置的连接部、第一平直部和第二平直部;
[0017]所述连接部设置于与其对应的所述第一平直部和所述第二平直部之间,所述连接部分别和与其对应的所述第一平直部和所述第二平直部连通,以使所述连接部朝向所述发热体的周向弯折;
[0018]所述第一平直部和所述第二平直部沿所述发热体的轴线方向交替设置;
[0019]所述第一平直部和所述第二平直部沿所述发热体的周向交错设置。
[0020]可选地,多个所述第一平直部均沿所述发热体的轴线方向设置;
[0021]多个所述第一平直部设置于同一条直线上。
[0022]可选地,多个所述第二平直部均沿所述发热体的轴线方向设置;
[0023]多个所述第二平直部设置于同一条直线上。
[0024]可选地,所述凹槽包括:第一凹槽和第二凹槽;
[0025]所述第一凹槽和所述第二凹槽交替设置;
[0026]所述第一凹槽的槽口设置于所述发热体的一端,所述第二凹槽的槽口设置于所述发热体的另一端。
[0027]可选地,所述凹槽为通槽,所述凹槽包括第一槽口和第二槽口;
[0028]所述第一槽口设置于所述发热体的内壁,所述第二槽口设置于所述发热体的外壁,且所述第一槽口与所述第二槽口相对。
[0029]第二方面,本技术实施例还公开一种单晶炉,包括上述加热器。
[0030]本技术实施例包括以下优点:
[0031]在本技术实施例中,所述凹槽沿所述发热体的轴线方向延伸,且所述凹槽朝所述发热体的周向弯折,可以加长所述凹槽的长度,进而增大所述发热体的电阻,可以降低所述加热器的功率,减少石英坩埚与熔硅的反应,从而可以达到降低单晶硅棒头部氧含量的目的。在本技术实施例中,可以避免发热瓣的数量过多,有效保证所述加热器的结构稳定性,避免所述加热器受损,进而提高所述加热器的使用寿命。
附图说明
[0032]图1是本技术实施例中的一种加热器的结构示意图;
[0033]图2是本技术实施例中的一种发热体的结构示意图;
[0034]图3是本技术实施例中的另一种发热体的结构示意图;
[0035]图4是现有技术中的一种发热体的结构示意图;
[0036]图5是本技术实施例中的一种加热器的降氧效果图。
[0037]附图标记说明:
[0038]1‑
加热本体,2

发热体,3

凹槽,31

第一凹槽,32

第二凹槽,331

第一弯折部,332

第二弯折部,333

第一弧形部,334

第二弧形部,341

第一平直部,342

第二平直部,343

连接部。
具体实施方式
[0039]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0040]本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。此外,说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一,字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0041]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“上”、“下”、“内”、“外”、“轴向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0042]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0043]本技术实施例的核心构思之一在于公开一种加热器。
[0044]参照图1,示出了本技术实施例中的一种加热器的结构示意图,加热器具体可以包括:加热本体1和发热体2,发热体2设置于加热本体1上,且用于罩设在石英坩埚外;其中,发热体2为环形结构,发热体2的周向上设置有多个凹槽3;凹槽3沿发热体2的轴线方向延伸,且凹槽3朝发热体2的周向弯折。
[0045]在本技术实施例中,凹槽3沿发热体2的轴线方向延伸,且凹槽3朝发热体2的周向弯折,可以加长凹槽3的长本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热器,其特征在于,包括:加热本体和发热体,所述发热体设置于所述加热本体上,且用于罩设在石英坩埚外;其中,所述发热体为环形结构,所述发热体的周向上设置有多个凹槽;所述凹槽沿所述发热体的轴线方向延伸,且所述凹槽朝所述发热体的周向弯折。2.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,所述凹槽包括多个第一弯折部和第二弯折部;所述第一弯折部和所述第二弯折部沿所述发热体的轴线方向交替设置;所述第一弯折部和所述第二弯折部朝所述发热体的周向弯折,所述第一弯折部的弯折方向与所述第二弯折部的弯折方向相反。3.根据权利要求2所述的加热器,其特征在于,所述第一弯折部的截面形状包括:弧形和U形中的至少一种;所述第二弯折部的截面形状包括:弧形和U形中的至少一种。4.根据权利要求2所述的加热器,其特征在于,所述凹槽还包括第一弧形部和第二弧形部;多个所述第一弯折部和所述第二弯折部设置于所述第一弧形部和所述第二弧形部之间;所述第一弧形部和所述第二弧形部对称设置于所述凹槽的两端。5.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,所述凹槽包括多组对应设置的连接部、第一平直部和第二平直部;所述连接部设置于与其对应的所述第一平直部和所...

【专利技术属性】
技术研发人员:成路王莎莎相鹏飞郭瑞波李成博张朝光马少林文永飞程磊丁彪高攀红潘振安
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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