本发明专利技术涉及玻璃载板生产技术领域，具体是一种改善玻璃载板TTV的装置，装置包括设备台，设备台上阵列设置有可转动的夹持件，用于固定和转动玻璃载板，夹持件上阵列设有用于喷出蚀刻药液的喷头，夹持件设置在矩形框上，矩形框的下方设有过滤件，过滤件与设备台转动连接，用于对蚀刻后的药液进行过滤。本发明专利技术装置，对玻璃载板进行消除TTV操作，利用可调节的夹持件，对玻璃载板进行夹持，转动夹持件同时带动玻璃载板转动，喷淋蚀刻药液，对玻璃载板进行蚀刻，消除表面TTV现象，同时调节打磨轮，对玻璃载板进行打磨抛光处理，通过对玻璃载板进行打磨和蚀刻，得到表面光滑的玻璃载板，蚀刻废液中的杂质被锥形斗过滤收集后，蚀刻药剂可回收使用。收使用。收使用。
【技术实现步骤摘要】
一种改善玻璃载板TTV的装置
[0001]本专利技术涉及玻璃载板生产
，具体是一种改善玻璃载板TTV的装置。
技术介绍
[0002]TTV(total thickness variation)为半导体的总厚度变化，TTV不良都是由于各种问题导致切割线抖动而产生的不良现象，也会出现在玻璃载板切割过程。
[0003]现有技术中，公开了申请号为CN202210327145.7的专利技术创造，名称为：一种超薄玻璃的切割装置，其中公开了利用线切割机，对玻璃进行一次多线切割，得到多片超薄玻璃的操作，提高超薄玻璃边缘的质量，减少崩边量，破片率。
[0004]但是，现有技术中，如申请号CN202210327145.7中提到的线切割操作，多线同时切割，线轮跳动导致切割线抖动，造成玻璃的切割面产生TTV现象，未公开去除TTV现象的操作，现有技术中，缺少对TTV有效的消除操作，制备的玻璃载板表面平整度差。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种改善玻璃载板TTV的装置，以解决现有技术中的问题。
[0006]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0007]一种改善玻璃载板TTV的装置，所述装置包括设备台，所述设备台上阵列设置有可转动的夹持件，用于固定和转动玻璃载板，夹持件上阵列设有用于喷出蚀刻药液的喷头。
[0008]所述夹持件设置在矩形框上，矩形框的下方设有过滤件，过滤件与设备台转动连接，用于对蚀刻后的药液进行过滤。
[0009]进一步的，所述设备台上设有固定罩，固定罩的一侧转动设有丝杠，固定罩的一侧固定设有导杆，固定罩上固定设有导向套，导向套的下方设有面板，固定罩上转动设有齿轮，用于控制面板开闭。
[0010]进一步的，所述设备台上设有废水槽，废水槽上设有用于安装矩形框的矩形槽，矩形槽内固定设有可移动的槽型板，槽型板内对称设置有第一齿条。
[0011]所述矩形槽内转动设有不完全齿轮，不完全齿轮上固定设有支撑柱，支撑柱上设有圆槽，支撑柱上设有第二螺纹孔。
[0012]所述不完全齿轮与第一齿条配合。
[0013]进一步的，所述面板上固定设有对称分布的直杆，直杆的一侧固定设有第二齿条，直杆与导向套滑动连接，第二齿条与齿轮配合。
[0014]进一步的，所述设备台上安装有移动件，移动件分别与导杆、丝杠连接，移动件上固定设有转动块，转动块的一侧固定设有可移动的打磨轮，用于对玻璃载板表面的TTV进行处理。
[0015]进一步的，所述矩形框上阵列设有通孔，螺栓穿过通孔与矩形槽连接，矩形框上固定设有第一支撑板和两个第二支撑板，第一支撑板上转动设有安装杆，用于安装夹持件，安装杆内设有导向孔，导向孔内固定设有两个导向条。
[0016]所述导向孔上连通设置有贯穿孔，导向孔的一侧连通设置有固定孔，第二支撑板上滑动设有移动板，安装杆也设置在移动板上，移动板上固定设有驱动杆。
[0017]进一步的，所述安装杆上固定设有同步轮，同步轮上安装有同步带，矩形框上紧固设有可移动的推杆，推杆上对称设置有直槽，矩形框上设置有伸缩杆，伸缩杆上套设有弹簧，伸缩杆的一端转动设有张紧辊。
[0018]所述驱动杆与直槽配合。
[0019]进一步的，所述夹持件包括连接杆，连接杆的一端固定设有限位块，另一端固定设有第一锥形块，限位块上开设有对称分布的导槽，连接杆上阵列设置有第四螺纹孔，第一锥形块上设有第五螺纹孔，第五螺纹孔内设有连接槽。
[0020]所述第一锥形块上设有第二锥形块，第二锥形块上设有第六螺纹孔，第二锥形块的一端设有连接块。
[0021]进一步的，所述连接杆与贯穿孔配合，限位块与导向孔配合，导槽与导向条配合，螺栓穿过固定孔与第四螺纹孔配合，连接块与连接槽配合，螺栓穿过第六螺纹孔与第五螺纹孔连接。
[0022]进一步的，所述过滤件包括用于过滤蚀刻药液的锥形斗，锥形斗上设有安装槽，安装槽内设有卡环，安装槽上设有垫板，垫板上设有螺杆。
[0023]所述卡环卡合设置在垫板与圆槽之间，通过螺杆穿过安装槽与第二螺纹孔配合，用于固定锥形斗。
[0024]本专利技术的有益效果：
[0025]1、本专利技术装置，对玻璃载板进行消除TTV操作，利用可调节的夹持件，对玻璃载板进行夹持，转动夹持件同时带动玻璃载板转动，喷淋蚀刻药液，对玻璃载板进行蚀刻，消除表面TTV现象，同时调节打磨轮，对玻璃载板进行打磨抛光处理；
[0026]2、本专利技术装置，通过对玻璃载板进行打磨和蚀刻，得到表面光滑的玻璃载板，操作简单，玻璃载板夹持固定方便，蚀刻废液中的杂质被锥形斗过滤收集后，蚀刻药剂可回收使用。
附图说明
[0027]下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0028]图1是本专利技术设备台结构示意图；
[0029]图2是本专利技术设备台结构示意图；
[0030]图3是本专利技术图2中A处放大结构示意图；
[0031]图4是本专利技术面板结构示意图；
[0032]图5是本专利技术移动件结构示意图；
[0033]图6是本专利技术矩形框结构示意图；
[0034]图7是本专利技术矩形框剖面结构示意图；
[0035]图8是本专利技术夹持件爆炸结构示意图；
[0036]图9是本专利技术图8中B处放大结构示意图；
[0037]图10是本专利技术过滤件结构示意图。
具体实施方式
[0038]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0039]一种改善玻璃载板TTV的装置，如图1所示，装置包括设备台1，设备台1上设有面板2，设备台1上安装有移动件3，设备台1上固定设有矩形框4，矩形框4上安装有阵列分布的夹持件5，矩形框4的下方设有过滤件6，过滤件6与设备台1转动连接。
[0040]如图2、图3所示，设备台1上固定设有固定罩11，固定罩11的一侧固定设有安装壳12，安装壳12内转动设有丝杠121，安装壳12内固定设有导杆122，安装壳12的一侧固定设有第一电机120，第一电机120的输出端与丝杠121紧固连接，驱动丝杠121转动，移动件3安装在安装壳12内。
[0041]固定罩11上固定设有顶杆13，顶杆13的一端连接有安装架131，安装架131上转动设有阵列分布的喷头132，喷头132喷出雾状的蚀刻液体，蚀刻药液的温度在20
‑
40℃，蚀刻药液的喷出速度为1
‑
20um/min，喷头132的角度可调节，使得喷头132的喷射角度为90
‑
120℃，对固定在夹持件5之间的玻璃载板进行蚀刻。
[0042]固定罩11上固定设有对称分布的立柱14，立柱14位于固定罩11远离安装壳12的一侧，立柱14本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种改善玻璃载板TTV的装置，所述装置包括设备台(1)，其特征在于，所述设备台(1)上阵列设置有可转动的夹持件(5)，用于固定和转动玻璃载板，夹持件(5)上阵列设有用于喷出蚀刻药液的喷头(132)；所述夹持件(5)设置在矩形框(4)上，矩形框(4)的下方设有过滤件(6)，过滤件(6)与设备台(1)转动连接，用于对蚀刻后的药液进行过滤。2.根据权利要求1所述的一种改善玻璃载板TTV的装置，其特征在于，所述设备台(1)上设有固定罩(11)，固定罩(11)的一侧转动设有丝杠(121)，固定罩(11)的一侧固定设有导杆(122)，固定罩(11)上固定设有导向套(141)，导向套(141)的下方设有面板(2)，固定罩(11)上转动设有齿轮(143)，用于控制面板(2)开闭。3.根据权利要求2所述的一种改善玻璃载板TTV的装置，其特征在于，所述设备台(1)上设有废水槽(15)，废水槽(15)上设有用于安装矩形框(4)的矩形槽(151)，矩形槽(151)内固定设有可移动的槽型板(171)，槽型板(171)内对称设置有第一齿条(172)；所述矩形槽(151)内转动设有不完全齿轮(18)，不完全齿轮(18)上固定设有支撑柱(181)，支撑柱(181)上设有圆槽(182)，支撑柱(181)上设有第二螺纹孔(19)；所述不完全齿轮(18)与第一齿条(172)配合。4.根据权利要求2所述的一种改善玻璃载板TTV的装置，其特征在于，所述面板(2)上固定设有对称分布的直杆(21)，直杆(21)的一侧固定设有第二齿条(22)，直杆(21)与导向套(141)滑动连接，第二齿条(22)与齿轮(143)配合。5.根据权利要求2所述的一种改善玻璃载板TTV的装置，其特征在于，所述设备台(1)上安装有移动件(3)，移动件(3)分别与导杆(122)、丝杠(121)连接，移动件(3)上固定设有转动块(33)，转动块(33)的一侧固定设有可移动的打磨轮(35)，用于对玻璃载板表面的TTV进行处理。6.根据权利要求3所述的一种改善玻璃载板TTV的装置，其特征在于，所述矩形框(4)上阵列设有通孔(41)，螺栓穿过通孔(41)与矩形槽(151)连接，矩形框(4)上固定设有第一支撑板(44)和两个第二支撑板(42)，第一支撑板(44)上转动设有安装杆(43)，用于安装夹持件...
【专利技术属性】
技术研发人员：周旭，李居知，李华，
申请(专利权)人：熠铎科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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