蒸发源制造技术

本公开提供了一种蒸发源，蒸发源包括：电子束发射器，用于发射电子束；偏转磁场组件，用于产生偏转磁场，以偏转和/或聚焦电子束,轰击蒸发材料；扫描磁场组件，用于产生扫描磁场，以改变电子束的轰击位置。改变电子束的轰击位置。改变电子束的轰击位置。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源


[0001]本公开涉及真空镀膜
，特别涉及一种蒸发源。

技术介绍

[0002]磁偏转电子束蒸发源是一种安装在真空环境中，通过磁场和电场的组合对电子束进行偏转，轰击靶材，以实现材料的蒸发的装置。传统技术中的蒸发源包括单个坩埚和磁偏转装置，束斑单一，不可调节，无法测温。且水冷效果弱，磁偏转装置结构维修复杂，运行不稳定，束斑易发散。另外，传统结构偏笨重且大，不易安装维护。

技术实现思路

[0003]本公开提供了一种蒸发源，包括：电子束发射器，用于发射电子束；偏转磁场组件，用于产生偏转磁场，以偏转和/或聚焦电子束,轰击蒸发材料；扫描磁场组件，用于产生扫描磁场，以改变电子束的轰击位置。
[0004]在一些实施例中，偏转磁场组件包括：至少一个偏转磁体；偏转导磁体组件，与至少一个偏转磁体磁耦合；偏转导磁体组件包括：第一偏转导磁体，设置在电子束发射器的第一侧；以及第二偏转导磁体，设置在电子束发射器的第二侧，第二侧与第一侧相对。
[0005]在一些实施例中，第一偏转导磁体包括至少一块梯形的导磁板；和/或第二偏转导磁体包括至少一块梯形的导磁板。
[0006]在一些实施例中，扫描磁场组件包括至少一个第一扫描组件和至少一个第二扫描组件，第一扫描组件包括：第一磁芯；以及第一线圈，缠绕在第一磁芯上，用于产生扫描横向磁场，第二扫描组件包括：第二磁芯；以及第二线圈，缠绕在第二磁芯上，用于产生扫描纵向磁场。
[0007]在一些实施例中，扫描磁场组件包括：至少一个扫描磁体；扫描导磁体组件，与至少一个扫描磁体磁耦合；扫描导磁体组件包括：第一扫描导磁体，设置在电子束发射器的第一侧；以及第二扫描导磁体，设置在电子束发射器的第二侧，第二侧与第一侧相对。
[0008]在一些实施例中，第一扫描导磁体包括至少一块梯形的第一导磁框架，第一导磁框架围绕在第一偏转导磁体外，与第一偏转导磁体相适配；和/或第二扫描导磁体包括至少一块梯形的第二导磁框架，第二导磁框架围绕在第二偏转导磁体外，与第二偏转导磁体相适配。
[0009]在一些实施例中，蒸发源还包括：基座，包括坩埚凹槽，用于盛放坩埚，电子束发射器设置在坩埚的前侧，偏转磁场组件设置在基座的左侧和/或右侧，以限定电子束的通道；扫描磁场组件设置在电子束的通道的左侧和/右侧。
[0010]在一些实施例中，基座还包括：凹型结构，设置在坩埚的前侧；电子束发射器包括发射端，发射端设置在凹型结构的凹陷内。
[0011]在一些实施例中，第一扫描组件设置在凹型结构的顶部；第二扫描组件设置在凹型结构的侧壁上。
[0012]在一些实施例中，蒸发源还包括：冷却组件，包括：循环腔，开设在基座内，与基座热耦合；进液管，与循环腔连通，用于向循环腔输送冷却液；出液管，与循环腔连通且套设在进液管外，用于将冷却液排出循环腔。
[0013]根据本公开一些实施例的蒸发源能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的蒸发源能够解决常规技术中以下问题中的一项或多项：束斑不可调节，无法测温；且水冷效果弱，磁偏转装置结构维修复杂，运行不稳定，束斑易发散；结构偏笨重且大，不易安装维护，能够实现通过调节束斑以对蒸发材料进行扫描、结构紧凑、安装维护简便、运行稳定、水冷效果好以及能够及时测量蒸发源的温度的技术效果中的一项或多项。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1示出根据本公开一些实施例的蒸发源的结构示意图；
[0016]图2示出根据本公开一些实施例的蒸发源的部分结构示意图；
[0017]图3示出根据本公开一些实施例的蒸发源的部分截面示意图；
[0018]图4示出根据本公开一些实施例的蒸发源的部分结构侧视图；
[0019]图5示出根据本公开一些实施例的基座的结构示意图。
[0020]在上述附图中，各附图标记分别表示：
[0021]100 蒸发源
[0022]10 电子束发射器
[0023]11 发射端
[0024]12 第一电极
[0025]13 第二电极
[0026]14 第一电馈通
[0027]15 第二电馈通
[0028]20 偏转磁场组件
[0029]21 偏转磁体
[0030]22 偏转导磁体组件
[0031]221 第一偏转导磁体
[0032]222 第二偏转导磁体
[0033]221a、221b、222a、222b梯形导磁板
[0034]30 扫描磁场组件
[0035]31 第一扫描组件
[0036]311 第一磁芯
[0037]32 第二扫描组件
[0038]321 第二磁芯
[0039]33 扫描磁体
[0040]34 扫描导磁体组件
[0041]341 第一扫描导磁体
[0042]3411 第一导磁框架
[0043]342 第二扫描导磁体
[0044]3421 第二导磁框架
[0045]40 基座
[0046]41 坩埚凹槽
[0047]42 凹型结构
[0048]421 顶部凹槽
[0049]422 侧壁凹槽
[0050]50 冷却组件
[0051]51 循环腔
[0052]52 进液管
[0053]53 出液管
[0054]60 热电偶
具体实施方式
[0055]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0056]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括：电子束发射器，用于发射电子束；偏转磁场组件，用于产生偏转磁场，以偏转和/或聚焦所述电子束,轰击蒸发材料；扫描磁场组件，用于产生扫描磁场，以改变所述电子束的轰击位置。2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述偏转磁场组件包括：至少一个偏转磁体；偏转导磁体组件，与所述至少一个偏转磁体磁耦合；所述偏转导磁体组件包括：第一偏转导磁体，设置在所述电子束发射器的第一侧；以及第二偏转导磁体，设置在所述电子束发射器的第二侧，所述第二侧与所述第一侧相对。3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述第一偏转导磁体包括至少一块类梯形的导磁板；和/或所述第二偏转导磁体包括至少一块类梯形的导磁板。4.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述扫描磁场组件包括至少一个第一扫描组件和至少一个第二扫描组件，所述第一扫描组件包括：第一磁芯；以及第一线圈，缠绕在所述第一磁芯上，用于产生扫描横向磁场，所述第二扫描组件包括：至少一个第二磁芯；以及至少一个第二线圈，所述第二线圈缠绕在所述第二磁芯上，用于产生扫描纵向磁场。5.根据权利要求4所述的蒸发源，其特征在于，所述扫描磁场组件包括：至少一个扫描磁体；扫描导磁体组件，与所述至少一个扫描磁体磁耦合；所述扫描导磁体组件包括：第一扫描导磁体，设置在所述电子束发射器的第一侧；以及第二扫描导磁体，设置在所述电子束发射器的第二侧，所述第二侧与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿力甫，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：