夹紧装置和基板保持装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制夹紧机构的动作导致微粒产生的夹紧装置和具有夹紧装置的基板保持装置。夹紧装置具有：销；基座，其具有一对支架，该一对支架分别具有在所述销的轴向上相向且被所述销穿插的一对第一开口部；杆，其具有操作部、夹紧部、以及设置在夹紧部与操作部之间的支承部，所述支承部具有被所述销穿插的第二开口部；施力部，其具有卡定在基座的第一卡定部、卡定在操作部的第二卡定部、以及设置在第一卡定部与第二卡定部之间且被所述销穿插的线圈部，利用所述线圈部绕着所述销的轴而作用的弹力将所述夹紧部向基板按压；以及一个以上的第一轴承，其具有被所述销穿插的第一内圈和与所述线圈部的内周面隔开空间地相向的第一外圈。的第一外圈。的第一外圈。

【技术实现步骤摘要】
夹紧装置和基板保持装置


[0001]本专利技术涉及用于保持基板的夹紧装置和具有夹紧装置的基板保持装置。

技术介绍

[0002]近年来，载体循环型的连续式溅射装置被广泛应用。已知这种连续式溅射装置有使基板以横卧的姿势来运送的横型(水平)运送方式、和使基板以立起的姿势来运送的纵型(垂直)运送方式。纵型运送方式与横型运送方式相比，具有能够将基板的大型化所引起的装置的设置面积的增加抑制到最小限度的优点。
[0003]在纵型运送装置中，使用以大致垂直的姿势运送基板的载体。在载体上需要设置能够稳定地保持基板的姿势的基板保持结构。例如，在专利文献1中记载了使用设置在载体的开口部周缘的多个夹具来保持基板的结构。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：WO2008/133139号公报。
[0007]专利技术要解决的问题
[0008]然而，在专利文献1的结构中，有可能由基板周边的机械式夹紧机构产生的微粒(金属的粉尘)附着在基板上从而导致成膜不良。

技术实现思路

[0009]鉴于上述情况，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制夹紧机构的动作导致微粒产生的夹紧装置和具有夹紧装置的基板保持装置。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]本专利技术的一个方式的夹紧装置具有：
[0012]销；
[0013]基座，其具有一对支架，所述一对支架分别具有在所述销的轴向上相向且被所述销穿插的一对第一开口部；
[0014]杆，其具有操作部、夹紧部、以及设置在所述夹紧部与所述操作部之间的支承部，所述支承部具有被所述销穿插的第二开口部；
[0015]施力部，其具有：卡定在所述基座的第一卡定部、卡定在所述操作部的第二卡定部、以及设置在所述第一卡定部与所述第二卡定部之间且被所述销穿插的线圈部，利用所述线圈部绕着所述销的轴而作用的弹力将所述夹紧部向基板按压；以及
[0016]一个以上的第一轴承，其具有被所述销穿插的第一内圈、和与所述线圈部的内周面隔开空间地相向的第一外圈。
[0017]第一轴承的第一外圈与线圈部的内周面隔开空间地相向。因此，即使在夹紧解除时线圈部受到扭转变形而缩径，线圈部的内周面也不易与第一轴承的第一外圈接触。因此，不易产生由于线圈部的内周面与第一轴承的第一外圈接触而可能产生的微粒。此外，即使
线圈部的内周面与第一轴承的第一外圈接触，在线圈部随着变形而产生周向的扭转的同时，第一轴承的第一外圈也在周向上旋转。像这样，由于线圈部的周向的扭转和第一轴承的第一外圈的周向的旋转实质上同时且实质上以相同的位移量发生，因此不易产生由于接触的线圈部的内周面与第一轴承的第一外圈之间的相对位移而可能产生的微粒。
[0018]可选地，所述线圈部具有在受到施加在所述操作部的操作力而扭转的方向上卷绕的多个卷绕部。
[0019]作为所述多个卷绕部之间的所述轴向的间隔的间距设定为在所述操作部的转动范围内相邻的所述多个卷绕部互不接触的大小。
[0020]由于多个卷绕部彼此空出间距来配置，因此通过将随着线圈部的扭转变形所产生的线圈部的轴长的伸长量转换为在一对支架间产生的在轴向上的压缩力，从而即使相邻的卷绕部彼此的间距变短(距离变近)，相邻的卷绕部彼此也不易接触。换言之，当线圈部进行扭转变形时，由于相邻的卷绕部彼此的间距具有充足的游隙，因此卷绕部的轴向的移动被间距的游隙吸收。因此，不易产生由于相邻的卷绕部彼此接触而产生的微粒(金属的粉尘)。此外，由于相邻的卷绕部彼此不接触，因此施力部难以以中央部为中心而压曲成
“く”
字形状。因此，当线圈部进行扭转变形时，线圈部维持相对于销隔开空间地平行的状态，线圈部的内周面不易与第一轴承的第一外圈接触。因此，不易产生由于线圈部的内周面与第一轴承的第一外圈接触而可能产生的微粒。
[0021]可选地，所述施力部的所述轴向的自然长度比所述一对支架的所述一对内表面在所述轴向的距离短。
[0022]在被施加预负荷之前的无负荷状态下的施力部的轴向长度即自然长度比一对支架的一对内表面在轴向的距离短，因此，即使在以施加了预负荷的状态将线圈部组装到销的状态下，也能够在线圈部与销之间以及相邻的卷绕部彼此之间确保充分的空间。
[0023]可选地，夹紧装置还具有第一轴环，所述第一轴环被所述销穿插，并具有与所述线圈部的所述内周面隔开空间地相向的外周面，所述第一轴环在所述轴向上与所述第一轴承接触来定位所述第一轴承。
[0024]通过第一轴环定位第一轴承，从而第一轴承能够维持与线圈部的内周面隔开空间地相向的状态。
[0025]可选地，所述第一轴环在所述轴向上与所述第一轴承的所述第一内圈接触，与所述第一外圈不接触。
[0026]由于第一轴环与第一轴承的第一外圈不接触，因此第一轴环不会妨碍第一外圈的旋转，第一外圈容易地自由旋转。此外，不易产生由于第一轴环与第一外圈接触而可能产生的微粒。
[0027]可选地，夹紧装置还具有第一垫圈，所述第一垫圈被所述销穿插，所述第一垫圈在所述轴向上与所述第一轴承及所述杆的所述支承部接触，相对于所述杆定位所述第一轴承。
[0028]通过第一垫圈定位第一轴承，从而第一轴承能够维持与线圈部的内周面隔开空间地相向的状态。
[0029]可选地，所述第一垫圈在所述轴向上与所述第一轴承的所述第一内圈接触，与所述第一外圈不接触。
[0030]由于第一垫圈与第一轴承的第一外圈不接触，因此第一垫圈不会妨碍第一外圈的旋转，第一外圈容易自由旋转。此外，不易产生由于第一垫圈与第一外圈接触而可能产生的微粒。
[0031]可选地，夹紧装置还具有一对第二轴承，所述一对第二轴承具有被所述销穿插的第二内圈、和与所述基座的所述一对支架的所述一对第一开口部的内周面相向的第二外圈。
[0032]此外，由于销的主体部穿插在第一轴承中，因此不与支架的第一开口部的内表面直接接触。因此，当销在支架的第一开口部内旋转时，不易产生由于销的主体部与支架的第一开口部的内表面接触而可能产生的微粒。
[0033]可选地，夹紧装置还具有一对第二轴环，所述一对第二轴环被所述销穿插，在所述轴向上与所述第一轴承及所述第二轴承接触，相对于所述基座定位所述第一轴承。
[0034]此外，由于销的主体部穿插在第二轴环中，因此不与支架的第一开口部的内表面直接接触。因此，当销在支架的第一开口部内旋转时，不易产生由于销的主体部与支架的第一开口部的内表面接触而可能产生的微粒。
[0035]可选地，所述第二轴环在所述轴向上与所述第一轴承的所述第一内圈接触，与所述第一外圈不接触，且在所述轴向上与所述第二轴承的所述第二内圈接触，与所述第二外圈不接触。
[0036]由于第二轴环与第一轴承的第一外圈不接触，因此第二轴环不会妨碍第一外圈的旋转，第一外圈容易自由旋转。此外，不易产生由于第一垫圈与第一外圈接触而可能产生的微粒。
[0037]可选地，夹紧装置还本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹紧装置，其具有：销；基座，其具有一对支架，所述一对支架分别具有在所述销的轴向上相向且被所述销穿插的一对第一开口部；杆，其具有操作部、夹紧部、以及设置在所述夹紧部与所述操作部之间的支承部，所述支承部具有被所述销穿插的第二开口部；施力部，其具有卡定在所述基座的第一卡定部、卡定在所述操作部的第二卡定部、以及设置在所述第一卡定部与所述第二卡定部之间且被所述销穿插的线圈部，利用所述线圈部绕着所述销的轴而作用的弹力将所述夹紧部向基板按压；以及一个以上的第一轴承，其具有被所述销穿插的第一内圈、和与所述线圈部的内周面隔开空间地相向的第一外圈。2.根据权利要求1所述的夹紧装置，其中，所述线圈部具有在受到施加在所述操作部的操作力而扭转的方向上卷绕的多个卷绕部，作为所述多个卷绕部之间的所述轴向的间隔的间距设定为在所述操作部的转动范围内相邻的所述多个卷绕部互不接触的大小。3.根据权利要求1或2所述的夹紧装置，其中，所述施力部的所述轴向的自然长度比所述一对支架的所述一对内表面在所述轴向的距离短。4.根据权利要求1或2所述的夹紧装置，其中，还具有：第一轴环，其被所述销穿插，并具有与所述线圈部的所述内周面隔开空间地相向的外周面，所述第一轴环在所述轴向上与所述第一轴承接触来定位所述第一轴承。5.根据权利要求4所述的夹紧装置，其中，所述第一轴环在所述轴向上与所述第一轴承的所述第一内圈接触，与所述第一外圈不接触。6.根据权利要求1或2所述的夹紧装置，其中，还具有：第一垫圈，其被所述销穿插，在所述轴向上与所述第一轴承及所述杆的所述支承部接触，相对于所述杆定位所述第一轴承。7.根据权利要求6所述的夹紧装置，其中，所述第一垫圈在所述轴向上与所述第一轴承的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：勅使川原一嘉，北泽和史，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：