一种传输机构及腔体设备制造技术

本申请涉及腔体传输技术领域，具体提供了一种传输机构及腔体设备。该传输机构设置在腔体上，包括：动力件及设置在腔体内的载板；传动件，转动设置，与动力件传动连接，并与载板螺纹连接或啮合连接，以在驱动下能使载板从腔体的一端移向另一端。本申请提供的传输机构，动力传递稳定，易于设置，能使载板平稳地直线移动，保证移动顺畅性和精准性，同时腔体开孔数量少，也更便于保证腔体的密封性能，避免影响腔体内所施行工艺的质量效果，解决了现有技术中通过滚轮带动载体移动而存在的诸多问题。通过滚轮带动载体移动而存在的诸多问题。通过滚轮带动载体移动而存在的诸多问题。

【技术实现步骤摘要】
一种传输机构及腔体设备


[0001]本申请涉及腔体传输
，具体涉及一种传输机构及腔体设备。

技术介绍

[0002]在一些产品的生产过程中，会涉及产品在密封的真空腔体内进行移动的生产步骤。例如，装载硅片的载板通过驱动机构依次穿过多个设置了不同镀膜工艺的腔体，完成硅片薄膜沉积。目前，通常是在腔体内排列设置多个滚轮，在腔体壁上对应设置多个转轴，转轴带动滚轮转动，依靠摩擦力使滚轮上方的载板移动。此种结构，所需要的设置的部件数量多，腔体上需要为转轴开设的安装孔多，容易影响密封质量而降低工艺效果；载板被滚轮支撑，在滚轮上移动，载板和每个滚轮的接触面积小，容易使载板形变，且载板无移动方向的约束，容易晃动。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请实施例致力于提供一种传输机构，动力件通过传动件带动载板直线移动，载板移动平稳且不易变形，腔体所需开孔的数量少，保证密封性和腔体内的工艺质量，以至少一定程度地解决上述通过滚轮带动载板移动而存在的问题。
[0004]本申请一方面提供了一种传输机构，设置在腔体上，包括：动力件及设置在所述腔体内的载板；传动件，转动设置，与所述动力件传动连接，并与所述载板螺纹连接或啮合连接，以在驱动下能使所述载板从所述腔体的一端移向另一端。
[0005]在一种可能的实施方式中，所述传动件为沿所述腔体的第一方向设置的丝杠，所述载板与所述丝杠螺纹连接，以在所述丝杠的带动下沿所述第一方向移动。
[0006]在一种可能的实施方式中，所述载板的底部具有与所述丝杠螺纹连接的螺纹槽，所述螺纹槽设置有至少两个并分布在所述载板于所述第一方向上的两端，或所述螺纹槽沿所述第一方向延伸。
[0007]在一种可能的实施方式中，所述腔体内设置有用于支撑所述丝杠的支撑组件，所述支撑组件至少包括分别支撑所述丝杠两端的两个端部支撑，以及位于两个所述端部支撑之间的中部支撑。
[0008]在一种可能的实施方式中，所述丝杠设置有至少两个并沿所述腔体的第二方向排列设置，至少两个所述丝杠均与同一个所述动力件传动相连。
[0009]在一种可能的实施方式中，所述动力件设置在所述腔体外部，所述动力件通过传动轴与所述丝杠连接，所述传动轴贯穿所述腔体的腔体壁并与所述腔体壁密封连接。
[0010]在一种可能的实施方式中，所述腔体的位于第一方向的两个端壁上设置有供所述载板进出的阀门；所述传动轴设置在所述腔体的位于第二方向上的侧壁上，所述传动轴为齿轮轴并与所述丝杠啮合相连。
[0011]在一种可能的实施方式中，所述端部支撑为支架，所述丝杠的两端转动设置在所述支架上；和/或，所述中部支撑为随动轴，所述随动轴转动设置，所述随动轴为光轴或与所
述丝杠啮合连接的齿轮轴。
[0012]在一种可能的实施方式中，所述传动件为齿轮，所述载板上设置有齿条并与所述齿轮啮合连接；所述载板通过所述齿轮支撑或通过设置在所述腔体内的轨道支撑。
[0013]本申请另一方面还提供了一种腔体设备，设置有腔体和如上任一项所述的传输机构。
[0014]根据本申请提供的传输机构，动力通过传动件传递给载板，传动件与动力件连接并与载板为螺纹连接或啮合连接，则动力件驱动传动件转动会带动载板线性移动，使得载板在腔体内直线位移。如此设置，各部件连接稳固，动力传递稳定，载板受稳固的连接约束，移动平稳且不会晃动；而传动件通过螺纹连接和啮合连接而向载板传递动力，传动件仅需设置一个即可，也可设置为两个或少量几个，但无需设置一排，则无需腔体开设多个转轴安装孔，在腔体有真空密封需求时，可以保证良好的密封性，从而避免影响腔体内所施行工艺的质量效果。
附图说明
[0015]图1所示为本申请实施例中传输机构的第一角度示意图；
[0016]图2所示为本申请实施例中传输机构的第二角度示意图；
[0017]图3所示为本申请实施例中传输机构的第三角度示意图。
[0018]图1
‑
3：
[0019]1、腔体；2、磁流体；3、第二带轮；4、传动轴；5、随动轴；6、丝杠；7、动力件；8、第一带轮；9、传动部；10、支架。
具体实施方式
[0020]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0021]请参考附图1
‑
3，本申请的实施例提供了一种传输机构，该机构设置在腔体1上例如真空腔体1，用于驱动载板在腔体1内移动，适用于腔体1为真空密闭工况的载板移动，当然，也适用于其他工况下腔体1内的移动需求。该传输机构包括动力件7和传动件。传动件转动设置，与动力件7传动连接，例如通过转轴与动力件7相连，在动力件7的驱动下转动。同时，载板上设置有传动部9，传动件与载板的传动部9螺纹连接或啮合连接，则传动件在动力件7的驱动下转动时会带动载板线性移动，使得载板能够直线位移，从腔体1的一端移向另一端。
[0022]如此设置，一方面，各部件连接稳固，动力传递稳定，载板受稳固的连接约束，移动平稳、不会晃动，且能够直线位移，方向精准，尤其在需要载板穿过腔体1上的开口而移至其他腔体1的工况中，能够保证载板移动的顺畅性，避免载板卡顿；第二方面，传动件通过螺纹连接和啮合连接而向载板传递动力，传动件仅需设置一个即可，也可设置为两个或少量几个，但无需像现有技术中的滚轮结构设置一排，则，即便是在真空腔体1环境中，将动力件7设置在腔体1外时，也无需腔体1开设多个转轴安装孔(供转轴穿入的孔，而转轴为动力件7
的转轴或连接动力件7和传动件的转轴)，可以保证真空密封需求的腔体1的良好密封性，从而避免影响腔体1内所施行工艺的质量效果；第三方面，传动部9与载板相连或一体设置，消除了因载板与滚轮的点接触方式而容易引起载板形变的因素，载板不易变形。
[0023]可见，本申请提供的传输机构，动力传递稳定，易于设置，能使载板平稳地直线移动，保证移动顺畅性和精准性，同时也更便于保证腔体1的密封性能，避免影响腔体1内所施行工艺的质量效果，解决了现有技术中通过滚轮带动载体移动而存在的诸多问题。
[0024]一种实施例中，传动件为丝杠6，丝杠6在腔体1内沿腔体1的第一方向延伸，载板通过传动部9与丝杠6螺纹连接，在丝杠6的转动带动下而沿第一方向移动。第一方向可以是腔体1的长度方向或宽度方向。
[0025]若载板需要进出腔体1，则腔体1的于第一方向的两个端壁上，都开设有供载板进出的阀门，此处的阀门指的是腔体1壁上的开口和封闭该开口的阀板。若载板需要进出腔体1，则传动部9形成在载板上，且传动部9设置有两个、分布在载板的于第一方向上的两端，或传动部9沿第一方向从载板的一端延伸至另一端。如图3所示，传动部9位于载板底部，包括凸块和设置在凸块上的凹槽，凹槽的槽壁设置有螺纹，形成了螺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传输机构，设置在腔体上，其特征在于，包括：动力件及设置在所述腔体内的载板；传动件，转动设置，与所述动力件传动连接，并与所述载板螺纹连接或啮合连接，以在驱动下能使所述载板从所述腔体的一端移向另一端。2.如权利要求1所述的传输机构，其特征在于，所述传动件为沿所述腔体的第一方向设置的丝杠，所述载板与所述丝杠螺纹连接，以在所述丝杠的带动下沿所述第一方向移动。3.如权利要求2所述的传输机构，其特征在于，所述载板的底部具有与所述丝杠螺纹连接的螺纹槽，所述螺纹槽设置有至少两个并分布在所述载板于所述第一方向上的两端，或所述螺纹槽沿所述第一方向延伸。4.如权利要求2所述的传输机构，其特征在于，所述腔体内设置有用于支撑所述丝杠的支撑组件，所述支撑组件至少包括分别支撑所述丝杠两端的两个端部支撑，以及位于两个所述端部支撑之间的中部支撑。5.如权利要求2所述的传输机构，其特征在于，所述丝杠设置有至少两个并沿所述腔体的第二方向排列设置，至少两个所述丝杠均与同一个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：石鹏飞，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：