本实用新型专利技术提供一种半导体自动搬运装置，包括：至少两条导轨，形成输送通道；多个通电线圈，安装于至少两条导轨上；磁性元件，布置于至少两条导轨之间，磁性元件与多个通电线圈磁性配合；连接座，与磁性元件连接；晶圆传送盒，安装于连接座上，晶圆传送盒用于装载晶圆；其中，在每一条导轨上，多个通电线圈形成的磁场方向相同。本实用新型专利技术具有传输速度快，传输稳定的优点。优点。优点。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体自动搬运装置
[0001]本技术涉及半导体领域，特别是涉及一种半导体自动搬运装置。
技术介绍
[0002]在现有的晶圆FAB(Foundry，晶圆代工)厂中，FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)通过搬运系统/天车系统，沿着安装好的导轨，移动到晶圆厂的不同位置或者机台端。
[0003]然而，现有系统在传输的过程中，具有传输的速度相对缓慢、机构磨损等问题。因此，存在待改进之处。
技术实现思路
[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种半导体自动搬运装置，用于解决现有技术中半导体的传输速度缓慢的问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种半导体自动搬运装置，包括：
[0006]至少两条导轨，形成输送通道；
[0007]多个通电线圈，安装于至少两条所述导轨上；
[0008]磁性元件，布置于至少两条所述导轨之间，所述磁性元件与多个所述通电线圈磁性配合；
[0009]连接座，与所述磁性元件连接；
[0010]晶圆传送盒，安装于所述连接座上，所述晶圆传送盒用于装载晶圆；
[0011]其中，在每一条所述导轨上，多个所述通电线圈形成的磁场方向相同。
[0012]在本技术一实施例中，在一所述输送通道的两条所述导轨上，一条所述导轨上形成的磁场方向与另一条所述导轨上形成的磁场方向相反。
[0013]在本技术一实施例中，所述磁性元件的每一端包括南极与北极，所述磁性元件每一端的南极和北极关于所述磁性元件的轴心线对称，所述磁性元件两端的磁极呈中心对称布置。
[0014]在本技术一实施例中，在两条所述导轨形成的所述输送通道上，当所述磁性元件处于静止状态时，所述磁性元件每一端的磁场方向与所述输送通道在所述磁性元件相同一端位置处的磁场方向相同。
[0015]在本技术一实施例中，在两条所述导轨形成的所述输送通道上，当所述磁性元件处于移动状态时，所述磁性元件第一端的磁场方向与所述输送通道在所述磁性元件第一端位置处的磁场方向相同，所述磁性元件第二端的磁场方向与所述输送通道在所述磁性元件第二端位置处的磁场方向相反。
[0016]在本技术一实施例中，其中两条所述导轨呈直线段形状，两条所述导轨平行布置，以形成直线段的输送通道。
[0017]在本技术一实施例中，其中两条所述导轨呈弧形形状，两条所述导轨的凹部开口朝向同一侧，以形成弧形形状的输送通道。
[0018]在本技术一实施例中，所述输送通道由直线段形状的所述导轨和弧形形状的所述导轨连接形成。
[0019]在本技术一实施例中，所述半导体自动搬运装置还包括多个位置传感器，多个所述位置传感器安装于所述输送通道上，以检测所述磁性元件的位置。
[0020]在本技术一实施例中，所述半导体自动搬运装置还包括静电消散板，所述静电消散板布置于所述连接座和所述晶圆传送盒之间。
[0021]如上所述，本技术的一种半导体自动搬运装置，具有以下有益效果：可改变通电线圈中电流方向以及电流大小，以改变磁性元件及晶圆传送盒的移动速度和移动方向，具有传输速度快，传输稳定的优点。
附图说明
[0022]图1显示为本技术的半导体自动搬运装置的结构示意图。
[0023]图2显示为本技术的半导体自动搬运装置中磁性元件静止状态的俯视图。
[0024]图3显示为本技术的半导体自动搬运装置中磁性元件第一移动状态俯视图。
[0025]图4显示为本技术的半导体自动搬运装置中磁性元件第二移动状态俯视图。
[0026]图5显示为本技术的半导体自动搬运装置中导轨的俯视图。
[0027]元件标号说明
[0028]10、导轨；11、第一轨道；12、第二轨道；13、第三轨道；14、第四轨道；15、第五轨道；20、通电线圈；21、电流控制部件；30、磁性元件；40、连接座；50、晶圆传送盒；60、静电消散板；70、位置传感器。
具体实施方式
[0029]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其它优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。还应当理解，本技术实施例中使用的术语是为了描述特定的具体实施方案，而不是为了限制本技术的保护范围。下列实施例中未注明具体条件的试验方法，通常按照常规条件，或者按照各制造商所建议的条件。
[0030]请参阅图1至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。
[0031]请参阅图1至图5，本技术提供一种半导体自动搬运装置，可应用在半导体制造工厂使用的搬送中，并可被广泛的作为FAB(Foundry，晶圆代工)的主力搬运设备。本技术自动搬运装置不仅可用于工序区内部运输，也可应用于工序区间或工厂间运输，以实现对晶圆盒(FOUP，Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)的装载与运输。为了提高对晶圆盒的输送效率，本技术做出改进，下面通过具体的实施例进行详细的阐述。
[0032]请参阅图1、图2和图3所示，本技术提出一种半导体自动搬运装置，可包括导轨10、通电线圈20、磁性元件30、连接座40和晶圆传送盒50。其中，导轨10的数量可至少为两根以上，其中两条导轨10可形成一输送通道。通电线圈20的数量可为多个，多个通电线圈20可安装于至少两条导轨10上。通电线圈20安装于导轨10上形成通电螺线管，通电螺线管对外相当于一个条形磁铁，通电螺线管外部的磁场与条形磁铁的磁场相似。磁性元件30可布置于两条导轨10之间，磁性元件30与两条导轨10之间存在间隙。磁性元件30和多个通电线圈20之间磁性配合，即在多个通电线圈20形成磁场的作用下，磁性元件30可在两条导轨10形成的输送通道上进行移动。在每一条导轨10上，多个通电线圈20形成的磁场方向与导轨10的布置方向可相同，以使得磁性元件30可带动连接座40和晶圆传送盒50连续的在输送通道上进行移动。在一输送通道的两条导轨本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体自动搬运装置，其特征在于，包括：至少两条导轨，形成输送通道；多个通电线圈，安装于至少两条所述导轨上；磁性元件，布置于至少两条所述导轨之间，所述磁性元件与多个所述通电线圈磁性配合；连接座，与所述磁性元件连接；晶圆传送盒，安装于所述连接座上，所述晶圆传送盒用于装载晶圆；其中，在每一条所述导轨上，多个所述通电线圈形成的磁场方向相同。2.根据权利要求1所述的半导体自动搬运装置，其特征在于，在一所述输送通道的两条所述导轨上，一条所述导轨上形成的磁场方向与另一条所述导轨上形成的磁场方向相反。3.根据权利要求2所述的半导体自动搬运装置，其特征在于，所述磁性元件的每一端包括南极与北极，所述磁性元件每一端的南极和北极关于所述磁性元件的轴心线对称，所述磁性元件两端的磁极呈中心对称布置。4.根据权利要求3所述的半导体自动搬运装置，其特征在于，在两条所述导轨形成的所述输送通道上，当所述磁性元件处于静止状态时，所述磁性元件每一端的磁场方向与所述输送通道在所述磁性元件相同一端位置处的磁场方向相同。5.根据权利要求3所述的半导体自动搬运装置，其特征在于，在两...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海峰，张祥平，林士程，古哲安，王恒，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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