本申请提供一种温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置。通过在壳体的表面开设用于放置蒸发组件的容置槽，且壳体的内腔环绕蒸发组件布置，使得当蒸发组件放置在容置槽中时，蒸发组件可以快速与壳体的内腔中的介质进行热交换。另在壳体上开设抽气口和换热口，通过抽真空组件抽取内腔中的气体，使得内腔中保持真空状态，即在蒸发组件的四周形成了真空保温层，大幅减少了热量散失，其有利于蒸发组件保持自身温度以提高蒸发组件的蒸镀效率；而通过设置送风组件向内腔中送入大量气体，使得蒸发组件可以与内腔中的气体进行热交换以快速降温，减少了维护等待时间。减少了维护等待时间。减少了维护等待时间。
【技术实现步骤摘要】
温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置
[0001]本申请涉及真空蒸镀
，尤其涉及一种温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置。
技术介绍
[0002]在制备OLED等显示面板的真空蒸镀过程中，常使用到蒸镀机，蒸镀机包括真空腔体以及安装在该腔体内的蒸镀托盘和蒸发源等部件；其中，待蒸镀的玻璃基板通常安装在蒸镀托盘上，蒸发源用于加热并蒸发蒸镀材料。
[0003]蒸发源在使用过程中需要保持其较高的自身温度，以避免蒸发源内部蒸镀材料降温凝结；另蒸发源经过一定时间使用后需要对其维护，则此时需要快速对蒸发源降温以缩减技术人员的维护等待时间。
[0004]通常可以选择为蒸发源设置温度调节装置以调节蒸发源的温度，但目前温度调节装置的功能单一且对蒸发源温度的调节效率较低。
技术实现思路
[0005]本申请提供一种温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置，以解决现有技术中对蒸发源的温度调节效率低的技术问题。
[0006]一方面，本申请提供一种温度调节装置，用于调节蒸发组件的温度，包括：
[0007]壳体，所述壳体的外表面上形成有容置槽，所述容置槽用于容纳所述蒸发组件，所述壳体的内腔环绕所述容置槽布置，所述壳体上还开设有连通所述内腔的抽气口和换热口；
[0008]抽真空组件，所述抽真空组件连通所述抽气口，所述抽真空组件用于抽取所述内腔中的气体；
[0009]送风组件，所述送风组件连通所述换热口，所述送风组件用于向所述内腔中送入气体。
[0010]在本申请一种可能的实现方式中，所述壳体上还开设有连通所述内腔的出气口，所述出气口处设有出风阀。
[0011]在本申请一种可能的实现方式中，所述抽气口、和/或所述换热口，和/或所述出气口相邻布置在所述壳体的同一侧表面上。
[0012]在本申请一种可能的实现方式中，所述内腔中布置有多个挡板，多个所述挡板将所述内腔分隔形成S形迂回的换热流道。
[0013]在本申请一种可能的实现方式中，所述换热流道包括至少两条并联布置的子流道。
[0014]在本申请一种可能的实现方式中，所述挡板上间隔布置有多个微孔。
[0015]在本申请一种可能的实现方式中，所述温度调节装置还包括换热器，所述换热器布置在所述送风组件连通所述换热口的流路上，所述换热器用于调节所述送风组件送入所
述内腔中的气流温度。
[0016]在本申请一种可能的实现方式中，所述内腔中设有温度检测器，所述温度检测器用于检测所述内腔中的温度值，所述温度检测器电连接所述送风组件和所述换热器；
[0017]所述送风组件用于根据所述温度值调节送风量，和/或所述换热器用于根据所述温度值调节换热功率。
[0018]另一方面，本申请还提供一种蒸发源，所述蒸发源包括多个蒸发组件和上文所述的温度调节装置，所述壳体上形成有多个所述容置槽，所述容置槽底部还形成贯穿所述壳体的接线通孔，所述接线通孔与所述内腔相互隔离；
[0019]所述蒸发组件包括坩埚、加热组件和喷嘴，多个所述容置槽中分别放置有一个所述坩埚，所述加热组件的加热源环绕所述坩埚设置，所述加热组件的电源线穿设通过所述接线通孔，所述喷嘴安装在所述坩埚上。
[0020]另一方面，本申请还提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括蒸镀腔室、蒸镀托盘和上文所述的蒸发源，所述蒸镀腔室罩设在所述蒸发源上，且所述蒸发源的多个所述喷嘴位于所述蒸镀腔室中，所述蒸镀托盘安装在所述蒸镀腔室内且位于所述蒸发源的上方，所述蒸镀托盘用于固定玻璃基板。
[0021]本申请提供的一种温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置，通过在壳体的表面开设用于放置蒸发组件的容置槽，且壳体的内腔环绕蒸发组件布置，使得当蒸发组件放置在容置槽中时，蒸发组件可以快速与壳体的内腔中的介质进行热交换。另在壳体上开设抽气口和换热口，通过抽真空组件抽取内腔中的气体，使得内腔中保持真空状态，即在蒸发组件的四周形成了真空保温层，大幅减少了热量散失，其有利于蒸发组件保持自身温度以提高蒸发组件的蒸镀效率；而通过设置送风组件向内腔中送入大量气体，使得蒸发组件可以与内腔中的气体进行热交换以快速降温，减少了维护等待时间。
附图说明
[0022]下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0023]图1为本申请实施例提供的蒸镀装置的结构示意图；
[0024]图2为本申请实施例提供的蒸发源的主视图；
[0025]图3为本申请实施例提供的壳体的俯视图。
[0026]附图标记：
[0027]蒸镀装置100、蒸镀腔室200、蒸镀托盘300、蒸发源400、温度调节装置500、壳体510、内腔511、容置槽512、抽气口513、真空阀514、换热口515、进风阀516、出气口517、出风阀518、接线通孔519、挡板520、抽真空组件600、送风组件700、蒸发组件800、坩埚810、加热组件820、加热源821、电源线822、喷嘴830。
具体实施方式
[0028]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施
例，都属于本申请保护的范围。
[0029]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0030]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0031]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种温度调节装置，用于调节蒸发组件的温度，其特征在于，包括：壳体，所述壳体的外表面上形成有容置槽，所述容置槽用于容纳所述蒸发组件，所述壳体的内腔环绕所述容置槽布置，所述壳体上还开设有连通所述内腔的抽气口和换热口；抽真空组件，所述抽真空组件连通所述抽气口，所述抽真空组件用于抽取所述内腔中的气体；送风组件，所述送风组件连通所述换热口，所述送风组件用于向所述内腔中送入气体。2.如权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，所述壳体上还开设有连通所述内腔的出气口，所述出气口处设有出风阀。3.如权利要求2所述的温度调节装置，其特征在于，所述抽气口、和/或所述换热口，和/或所述出气口相邻布置在所述壳体的同一侧表面上。4.如权利要求2所述的温度调节装置，其特征在于，所述内腔中布置有多个挡板，多个所述挡板将所述内腔分隔形成S形迂回的换热流道。5.如权利要求4所述的温度调节装置，其特征在于，所述换热流道包括至少两条并联布置的子流道。6.如权利要求4所述的温度调节装置，其特征在于，所述挡板上间隔布置有多个微孔。7.如权利要求1
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6中任一项所述的温度调节装置，其特征在于，所述温度调节装置还包括换热器，所述换热器布置在所述送...
【专利技术属性】
技术研发人员：张成杰，
申请(专利权)人：TCL科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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