一种适用于样品组织表征的固定夹具及固定方法技术

本发明专利技术提供了一种适用于样品组织表征的固定夹具及固定方法，属于样品制备及组织表征技术领域，其中，固定夹具包括：底座，适于安装至电镜样品台上；所述底座上设有倾斜的安装面；夹具本体，其内部开设有容纳空间，所述夹具本体适于滑动安装在所述安装面或光学显微镜、扫描电镜上；止动件。本发明专利技术提供的适用于样品组织表征的固定夹具，底座适于安装在电镜样品台上，夹具本体上开设容纳空间，样品放置在容纳空间内，在将夹具本体安装至底座或电镜样品台上，对样品进行检测，结构简单、易于制作、成本低廉、使用方便，并且可以根据检测需要选择将夹具本体直接安装至电镜样品台上还是通过底座安装至电镜样品台上，以保证检测时所需角度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于样品组织表征的固定夹具及固定方法


[0001]本专利技术涉及样品制备及组织表征
，具体涉及一种适用于样品组织表征的固定夹具及固定方法。

技术介绍

[0002]为了分析材料的组织结构特征及失效机理，需要对材料的组织进行表征。随着新材料的发展及应用，各种形状不规则且尺寸差异较大的材料需要进行组织表征，例如，工业燃机领域的材料形状、尺寸与芯片领域相差很大。目前，对材料组织进行表征前首先需要对样品进行机械磨抛处理，随后根据需求还要对样品进行振动或电解抛光、化学或电解腐蚀。
[0003]对于形状不规则的小样品，目前多采用镶嵌后磨抛处理的方式。镶嵌的缺点是抛光后不利于取出样品，从而无法便捷的对样品进行电解抛光或电解腐蚀，而破除镶嵌样品既浪费时间又无法保证不损伤样品表面。另外，镶嵌后样品的导电性会降低。对于形状不规则的大样品，手持样品打磨时很难保证待观察面的表面平整性，同时由于无法保证待观察面的对面与其保持平行，因此在常规的OM、SEM等探头朝下的设备上无法水平放置。这导致形状不规则的样品制备成为制约组织表征的关键问题。
[0004]针对形状不规则样品的EBSD组织表征，镶嵌后的样品由于重量过大及导电性的降低，将其置于倾斜70
°
的传统的EBSD样品台后容易在数据采集过程中造成样品漂移，影响EBSD组织表征。如果将装配好样品的夹具体置于传统的EBSD样品台上，同样存在样品漂移的问题。另外，传统的EBSD样品台上一般不能同时放置多个镶嵌后的样品或者装配好的夹具体。
[0005]电子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction，简称EBSD)，是基于扫描电子显微镜的一种测量晶体取向的技术，其可以在扫描电子显微镜内对微观组织进行毫米级到纳米级的定量表征，其样品观察表面需要与水平方向呈一定的角度。
[0006]扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，简称SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的，其样品观察表面需要与水平方向平行。
[0007]光学显微镜(Optical Microscope，简称OM)是利用光学原理，把人眼所不能分辨的微小物体放大成像，以供人们提取微细结构信息的光学仪器，其样品观察表面需要与水平方向平行。
[0008]为了解决形状不规则样品的样品制备及组织表征问题，专利技术一种能满足各种形状不规则样品并且能满足手持机械磨抛或者搭配自动磨抛机进行磨抛的同时可以方便拆卸以利于进行后续振动或电解抛光、化学或电解腐蚀的样品制备夹具及组织表征方法具有重要意义，

技术实现思路

[0009]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的形状不规则样品制备困难及后续表征过程中无法有效固定样品的缺陷，从而提供一种适用于样品组织表征的固定夹具及固定方法。
[0010]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种适用于样品组织表征的固定夹具，包括：
[0011]底座，适于安装至电镜样品台上；
[0012]所述底座上设有倾斜的安装面；
[0013]夹具本体，其内部开设有适于容纳样品的容纳空间，所述夹具本体适于滑动安装在所述安装面或光学显微镜、扫描电镜上；
[0014]止动件，活动连接在所述安装面上，且所述止动件适于阻止夹具本体在所述安装面上进行滑动。
[0015]可选的，所述夹具本体的底部开设滑槽，所述安装面上设有滑轨。
[0016]可选的，所述滑槽为燕尾槽。
[0017]可选的，所述夹具本体上开设有若干穿过孔；
[0018]紧固件，适于通过所述穿过孔伸入至所述容纳空间内与样品抵接。
[0019]可选的，所述夹具本体呈圆柱状，其一端开口并向内凹陷以形成所述容纳空间；
[0020]所述穿过孔均匀分布在圆柱状夹具本体的圆周上。
[0021]可选的，所述安装面上开设有至少两个弧形凹槽，所述止动件适于插入至所述弧形凹槽内。
[0022]可选的，所述弧形凹槽的内径与圆柱状夹具本体的直径相匹配。
[0023]可选的，所述底座上具有相对设置的两个安装面，两个安装面上均适于安装所述夹具本体。
[0024]还提供了固定方法，包括上述的适用于样品组织表征的固定夹具，还包括以下步骤：
[0025]判断样品为OM、SEM和EBSD中哪种组织表征；
[0026]若样品为OM和SEM组织表征时，选取与样品尺寸对应的夹具本体，将样品放入至夹具本体内的容纳空间中；
[0027]通过紧固件对样品进行固定；
[0028]将带有固定好样品的夹具本体安装至电镜样品台上进行检测；
[0029]若样品为EBSD组织表征时，选取与样品尺寸对应的夹具本体，将样品放入至夹具本体内的容纳空间中；
[0030]通过紧固件对样品进行固定；
[0031]选取与夹具本体尺寸对应的止动件插入至弧形凹槽中，将夹具本体滑动安装至安装面上，直至夹具本体与止动件抵接；
[0032]将带有固定好样品的底座安装至电镜样品台上进行检测。
[0033]可选的，在对样品进行固定时，还包括有调整样品角度以使样品待观察面与夹具本体底面平行，并对样品进行磨抛的步骤。
[0034]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0035]1.本专利技术提供的适用于样品组织表征的固定夹具，底座适于安装在电镜样品台
上，夹具本体上开设容纳空间，样品放置在容纳空间内，在将夹具本体安装至底座或电镜样品台上，对样品进行检测，结构简单、易于制作、成本低廉、使用方便，并且可以根据检测需要选择将夹具本体直接安装至电镜样品台上还是通过底座安装至电镜样品台上，以保证检测时所需角度。
[0036]2.本专利技术提供的适用于样品组织表征的固定夹具，既可以解决传统小尺寸形状不规则样品镶嵌后所带来的缺点，也可解决大尺寸样品手持打磨带来的缺点。同时，也解决了常规的OM、SEM等探头朝下的设备上无法水平放置的问题以及EBSD组织表征样品漂移、导电性差的问题。
附图说明
[0037]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0038]图1为本专利技术实施例1提供的夹具本体安装在底座上的结构示意图；
[0039]图2为本专利技术实施例1提供的夹具本体安装在底座上的主视图；
[0040]图3为图2中A－A处剖视图；
[0041]图4为本专利技术实施例1提供的夹具本体的结构示意图；
[0042]图5为本专利技术实施例1提供的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于样品组织表征的固定夹具，其特征在于，包括：底座(1)，适于安装至电镜样品台上；所述底座(1)上设有倾斜的安装面(11)；夹具本体(2)，其内部开设有适于容纳样品的容纳空间(21)，所述夹具本体(2)适于滑动安装在所述安装面(11)或光学显微镜、扫描电镜上；止动件(4)，活动连接在所述安装面(11)上，且所述止动件(4)适于阻止夹具本体(2)在所述安装面(11)上进行滑动。2.根据权利要求1所述的适用于样品组织表征的固定夹具，其特征在于，所述夹具本体(2)的底部开设滑槽(23)，所述安装面(11)上设有滑轨(3)。3.根据权利要求2所述的适用于样品组织表征的固定夹具，其特征在于，所述滑槽(23)为燕尾槽。4.根据权利要求1所述的适用于样品组织表征的固定夹具，其特征在于，所述夹具本体(2)上开设有若干穿过孔(22)；紧固件，适于通过所述穿过孔(22)伸入至所述容纳空间(21)内与样品抵接。5.根据权利要求4所述的适用于样品组织表征的固定夹具，其特征在于，所述夹具本体(2)呈圆柱状，其一端开口并向内凹陷以形成所述容纳空间(21)；所述穿过孔(22)均匀分布在圆柱状夹具本体(2)的圆周上。6.根据权利要求1所述的适用于样品组织表征的固定夹具，其特征在于，所述安装面(11)上开设有至少两个弧形凹槽(111)，所述止动件(4)适于插入至所述弧形凹槽(111)内。7...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，袁勇，严靖博，鲁金涛，李沛，张鹏，黄锦阳，陈胜军，郑卫东，
申请(专利权)人：西安热工研究院有限公司华能浙江能源开发有限公司玉环分公司，
类型：发明
国别省市：