一种实时监控软膜张力的监控方法、监控装置及压印设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及纳米压印生产技术领域，具体涉及一种实时监控软膜张力的监控方法、监控装置及压印设备。实时监控软膜张力的监控方法包括以下工艺步骤：1)将软膜载具放置于软膜安装台并通过固定块固定软膜载具，实时测量并显示软膜所受到的拉力数值；2)将软膜载具放置于压印设备内的监控装置，使软膜载具固定于监控装置上，通过信号传输压力数值；3)压印设备开始进行纳米压印过程，将软膜所受拉力实时检测并输出；4)根据压印结果以及输出的拉力数值，对过程工艺进行监控分析。本发明专利技术通过对纳米压印过程进行实时监控软膜所受到的拉力，从而更好地监控分析软膜张力变化对压印结果、对位精度的影响。影响。影响。

【技术实现步骤摘要】
一种实时监控软膜张力的监控方法、监控装置及压印设备


[0001]本专利技术涉及纳米压印生产
，具体涉及一种实时监控软膜张力的监控方法、监控装置及压印设备。

技术介绍

[0002]使用软膜压印的纳米压印设备，压印过程中，会对软膜产生一定的拉力，使软膜发生一定形变，现有的压印设备，没有对软膜张力的监控系统，从而无法分析压印过程中软膜张力变化对压印结果、对位精度的影响。

技术实现思路

[0003]为了对披露的实施例的一些方面有基本的理解，下面给出了简单的概括。所述概括不是泛泛评述，也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围，而是作为后面的详细说明的序言。
[0004]针对现有技术的上述不足，本专利技术提供一种实时监控软膜张力的监控方法、监控装置及压印设备，通过对纳米压印过程进行实时监控软膜所受到的拉力并输出参数，从而更好地分析软膜张力变化对压印结果、对位精度的影响，进而优化工艺参数使压印结果、对位精度更优。
[0005]本专利技术的技术方案如下：
[0006]一种实时监控软膜张力的监控方法，所述实时监控软膜张力的监控方法包括以下工艺步骤：1)将软膜载具放置于软膜安装台并通过固定块固定软膜载具，将软膜安装在软膜载具上固定并夹紧，将软膜安装台上的拉力信号接收器Ⅰ与软膜载具上的拉力传感器接触，实时测量并显示软膜所受到的拉力数值，通过调整千分旋钮使显示屏数值显示一致，即软膜受力均匀，此时将固定软膜于载具上；2)将步骤1)得到的安装有软膜的软膜载具放置于压印设备内的监控装置，操作中央控制系统，使软膜载具固定于监控装置上，监控装置上设置有拉力信号接收器Ⅱ，将拉力信号接收器Ⅱ与软膜载具上的拉力传感器接触以接通拉力信号传输通道，将软膜所受张力实时传输到中央控制系统内并显示；3)将涂有纳米压印胶的晶圆放置于压印真空吸盘上，并吸附固定，压印设备开始进行纳米压印过程，过程中，随着压印辊轮对软膜的压印，软膜所受张力可能在实时发生变化，此时由拉力传感器、拉力信号接收器Ⅱ以及中央控制系统所组成的系统，将软膜所受拉力实时检测并输出；4)根据压印结果以及输出的本次的拉力数值，对过程工艺进行监控分析，并优化设备、工艺参数。
[0007]作为优选，所述步骤1)中的软膜载具为矩形金属框架结构，所述软膜载具夹持有软膜，软膜载具的一侧并排设置有若干弹簧，所述弹簧一端连接有拉力传感器，用于夹持、张紧软膜，并检测弹簧拉力。
[0008]作为优选，所述步骤1)中的软膜安装台包括平台本体、定位块和千分旋钮，所述软膜安装台上设置有拉力数值显示屏，所述软膜载具通过调整千分旋钮使拉力数值显示屏数值显示一致，即与弹簧接触的软膜各位置所受拉力一致。
[0009]本专利技术还提供一种实时监控软膜张力的监控装置，所述监控装置设置在压印设备内，所述监控装置包括用于支撑软膜载具的软膜载具支撑杆，所述软膜载具支撑杆上设置有拉力信号接收器，所述软膜载具支撑杆下部设置有升降电机Ⅰ。压印设备开始进行纳米压印过程，压印辊轮首先缓慢下降至将软膜贴于晶圆上表面，两侧软膜载具支撑杆在升降电机的作用下缓慢下降的过程中，压印辊轮同步缓慢水平前进，直至最终压印完成。
[0010]作为优选，所述监测装置包括设置在软膜载具两侧的软膜载具支撑杆，其中一侧的所述软膜载具支撑杆上部设置有拉力信号接收器Ⅱ，所述拉力信号接收器Ⅱ同软膜载具上的拉力传感器相匹配。软膜载具支撑杆位于压印设备内，用于支撑软膜载具。
[0011]本专利技术还提供一种实时监控软膜张力的压印设备，压印设备包括监测装置，还包括压印辊轮、压印真空吸盘和中央控制系统，所述压印真空吸盘吸附固定有晶圆。
[0012]作为优选，所述压印辊轮为橡胶材质辊轮，所述压印辊轮设置在压印设备上方，所述压印辊轮通过金属连接件连接有电机Ⅱ。压印时，压印辊轮紧贴软膜上表面，由电机Ⅱ控制其沿水平方向缓慢移动从而完成软膜压印于晶圆上。
[0013]作为优选，所述压印真空吸盘表面设置有真空吸附槽，所述真空吸附槽连接有真空泵，所述压印真空吸盘通过抽真空吸附固定晶圆。
[0014]作为优选，所述中央控制系统通过电连接方式与装置内各运行机构相连接，通过电信号控制各机构运动，完成纳米压印过程，并连接监测装置拉力信号接收器，收集、输出软膜张力实时数据。
[0015]以上的总体描述和下文中的描述仅是示例性和解释性的，不用于限制本申请。
[0016]本专利技术的有益效果
[0017]本专利技术设计合理，具备创造性，可实现在软膜纳米压印设备运行过程中，实时监控软膜所受到的拉力并输出数值，从而更好地分析软膜张力变化对压印结果、对位精度的影响，进而优化工艺参数使压印结果、对位精度更优。
附图说明
[0018]一个或多个实施例通过与之对应的附图进行示例性说明，这些示例性说明和附图并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件示为类似的元件，附图不构成比例限制，并且其中：
[0019]图1是本专利技术压印设备的结构示意图。
[0020]图2为本专利技术软膜载具的结构示意图。
[0021]图3为本专利技术软膜安装台的结构示意图。
[0022]其中，1
‑
软膜载具，11
‑
软膜，12
‑
弹簧，13
‑
拉力传感器，2
‑
软膜安装台，21
‑
固定块，22
‑
拉力信号接收器Ⅰ，23
‑
拉力数值显示屏，24
‑
千分旋钮，3
‑
监控装置，31
‑
软膜载具支撑杆，32
‑
拉力信号接收器Ⅱ，33
‑
升降电机Ⅰ，4
‑
中央控制系统，5
‑
压印辊轮，6
‑
压印真空吸盘，7
‑
晶圆。
具体实施方式
[0023]为了能够更加详尽地了解本公开实施例的特点与
技术实现思路
，下面结合附图对本公开实施例的实现进行详细阐述，所附附图仅供参考说明之用，并非用来限定本公开实施例。
在以下的技术描述中，为方便解释起见，通过多个细节以提供对所披露实施例的充分理解。然而，在没有这些细节的情况下，一个或多个实施例仍然可以实施。在其它情况下，为简化附图，熟知的结构和装置可以简化展示。
[0024]本公开实施例的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本公开实施例的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
[0025]本公开实施例中，术语“上”、“下”、“内”、“中”、“外”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本公开实施例及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种实时监控软膜张力的监控方法，其特征在于：所述实时监控软膜张力的监控方法包括以下工艺步骤：1)将软膜载具放置于软膜安装台并通过固定块固定软膜载具，将软膜安装在软膜载具上固定并夹紧，将软膜安装台上的拉力信号接收器Ⅰ与软膜载具上的拉力传感器接触，实时测量并显示软膜所受到的拉力数值，通过调整千分旋钮使显示屏数值显示一致，即软膜受力均匀，此时将固定软膜于载具上；2)将步骤1)得到的安装有软膜的软膜载具放置于压印设备内的监控装置，操作压印设备的中央控制系统使软膜载具固定于监控装置上，监控装置上设置有拉力信号接收器Ⅱ，将拉力信号接收器Ⅱ与软膜载具上的拉力传感器接触以接通拉力信号传输通道，将软膜所受张力实时传输到中央控制系统内并显示；3)将涂有纳米压印胶的晶圆放置于压印真空吸盘上，并吸附固定，压印设备开始进行纳米压印过程，过程中，随着压印辊轮对软膜的压印，软膜所受张力可能在实时发生变化，此时由拉力传感器、拉力信号接收器Ⅱ以及中央控制系统所组成的系统，将软膜所受拉力实时检测并输出；4)根据压印结果以及输出的本次的拉力数值，对过程工艺进行监控分析，并优化设备、工艺参数。2.根据权利要求1所述的一种实时监控软膜张力的监控方法，其特征在于：所述步骤1)中的软膜载具为矩形金属框架结构，所述软膜载具夹持有软膜，软膜载具的一侧并排设置有若干弹簧，所述弹簧一端连接有拉力传感器。3.根据权利要求1所述的一种实时监控软膜张力的监控方法，其特征在于：所述步骤1)中的软膜安装台包括平台本体、定位块和千分旋钮，所述软膜安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，管海清，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：