一种下加热器与下轴的升降支撑制造技术

一种下加热器与下轴的升降支撑，本实用新型专利技术分别在下轴升降支撑座及两个电极升降支撑座上分别设置螺旋升降机B及两个螺旋升降机A，螺旋升降机B及两个螺旋升降机A上的升降器在丝杠上上下升降，进而实现下轴及下加热器升降电极的升降，当三个升降器以相同的转速工作时，可以实现下轴及下加热器升降电极的同步升降，当连接下加热器升降电极的两升降器转速低于或高于连接下轴的升降器转速时，实现下轴及下加热器升降电极的差动升降，进而实现实时调整下加热器与坩埚之间的距离，在不提高侧加热器或下加热器加热功率就能实现坩埚内熔液温度不变，且能实时调整热场内温度梯度的目的。且能实时调整热场内温度梯度的目的。且能实时调整热场内温度梯度的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种下加热器与下轴的升降支撑


[0001]本技术涉及人工晶体材料制备领域，具体涉及一种下加热器与下轴的升降支撑。

技术介绍

[0002]人工晶体炉是制备人工晶体材料时的专用设备，其中人工晶体炉的核心技术为如何提供一个适合晶体生长的温度场，也就是说在人工晶体材料制备时如何提供一个合适的温度场是其中的关键技术之一，以制备晶体硅的晶体炉为例，在使用时，首先将硅料放置在坩埚内，然后通过设置在坩埚外围的侧加热器对坩埚内的硅料进行加热，待坩埚内的硅料熔化为熔液后，由上传动系统带动籽晶下降，当籽晶的下端头与熔液接触并熔为一体后，上传动系统带动籽晶缓慢上升，此时粘附在籽晶下端头的熔液跟随籽晶一并上升，当熔液上升到一定高度后，随着温度的降低便开始结晶形成所需的晶棒，在上传动系统带动籽晶上升的过程中，坩埚通过下传动机构进行上升和旋转，通过坩埚的上升实现坩埚内熔液的结晶线始终不变。如中国专利，专利申请号为CN201710293347.3，申请日为2017年04月28日，公开(公告)号为CN106987897A，公开(公告)日为2017年07月28日，专利名称为一种改进的单晶炉结构及其应用，该专利公开了一种单晶炉的结构，其包括一底座，该底座上设置有主炉室，所述主炉室的下方设置有立柱，该立柱设置在底座上，所述立柱的顶部设置有维修平台，其中间部分通过机架固定有副炉室，所述副炉室的底部设置有第二隔离阀，所述副炉室的上部设置有上传动机构。该专利说明书第【0023】段公开了一底座，该底座起到设备炉体的支撑作用，其上是设置有主炉室，所述主炉室的下方设置有下传动机构；进一步，说明书第【0024】段还公开了炉盖，设置在主炉室的上方，所述主炉室设置有热场和坩埚，所述坩埚与主炉室的下方设置的下传动机构对接，所述下传动机构为坩埚的升降及旋转装置；该专利公开的下传动机构只能实现坩埚的升降和旋转。
[0003]本领域技术人员发现上述专利在实际应用中存在温度场温度分布不均匀的现象，为了改善因整个温度场温度分布不均匀，温度梯度大，气流紊乱，导致坩埚内材料熔化不完全的现象，提出了在坩埚的底部增加底部加热器的技术方案，如中国专利，申请号为CN201820981578.3，申请日为2018年06月25日，公开(公告)号为CN208869724U，公开(公告)日为2019年05月17日，专利名称为一种半导体单晶炉大尺寸温场，其具体公开了在所述炉腔室内设有一坩埚，所述坩埚的外壁设有一侧加热器，所述坩埚的下方还设有下加热器的技术方案，如说明书第【0030】段中公开的“增加了下加热器，使坩埚底部的硅料能充分受热熔化完全，使整个温场加热均匀。”。
[0004]通过实际应用发现，现有的下加热器均为固定式设置，下加热器无法跟随坩埚进行升降，同时还无法调整下加热器与坩埚之间的距离，存在如下技术问题：
[0005]1、造成能耗的增加：
[0006]当坩埚上升到一定高度后，下加热器就减弱了对坩埚的加热作用，此时，为了保证坩埚内熔液的温度不变，需要通过提高侧加热器或下加热器的加热功率，进而造成能耗的
增加；
[0007]2、无法调整热场内的温度梯度：
[0008]由于下加热器为固定式设置，无法调整下加热器与坩埚底部之间的距离，造成坩埚所处热场内的温度梯度无法调整等。
[0009]因此如何提供一种在不提高侧加热器或下加热器加热功率就能实现坩埚内熔液温度不变，且能实时调整热场内温度梯度的装置就成了亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0010]为了克服
技术介绍
中存在的问题，本技术提供了一种下加热器与下轴的升降支撑，本技术实现了实时调整下加热器与坩埚之间的距离，在不提高侧加热器或下加热器加热功率就能实现坩埚内熔液温度不变，且能实时调整热场内温度梯度的目的等。
[0011]为实现上述专利技术目的，本技术采用如下技术方案：
[0012]一种下加热器与下轴的升降支撑，包括电极升降支撑座、下轴升降支撑座、电极升降导轨、螺旋升降机A、下轴升降板、电极升降座、螺旋升降机B、下轴、下加热器升降电极、下轴升降导轨、下轴升降滑块和电极升降滑块，在所述下轴升降支撑座的左右两侧分别设有电极升降支撑座；
[0013]在所述下轴升降支撑座的立板上设有至少一根下轴升降导轨，在下轴升降导轨上设有下轴升降滑块，在下轴升降支撑座的底板上设有螺旋升降机B，螺旋升降机B上的升降器连接下轴升降板形成下轴升降单元，所述下轴升降单元连接下轴升降滑块，在下轴升降板上设有下轴，所述下轴的上端头穿过炉底连接坩埚；
[0014]在两电极升降支撑座的立板上分别设有至少一根电极升降导轨，在每根电极升降导轨上分别设有电极升降滑块，在两电极升降支撑座的底板上分别设有螺旋升降机A，两螺旋升降机A上的升降器分别连接电极升降座形成两个电极升降单元，两电极升降单元分别连接电极升降滑块，在两电极升降座上分别设有下加热器升降电极，所述下加热器升降电极的上端头穿过炉底连接下加热器形成所述的下加热器与下轴的升降支撑。
[0015]所述的下加热器与下轴的升降支撑，所述螺旋升降机A与螺旋升降机B为丝杠升降型螺旋升降机或螺母升降型螺旋升降机。
[0016]所述的下加热器与下轴的升降支撑，所述升降器为升降螺母或升降箱体。
[0017]所述的下加热器与下轴的升降支撑，所述下加热器升降电极的外围套接有电极升降波纹管，所述电极升降波纹管的下端头连接连接板，电极升降波纹管的上端头连接炉底的下面。
[0018]所述的下加热器与下轴的升降支撑，所述下轴的外围套接有下轴升降波纹管，所述下轴升降波纹管的下端头连接下轴升降板的上面，下轴升降波纹管的上端头连接炉底的下面。
[0019]所述的下加热器与下轴的升降支撑，所述下轴升降板与下轴升降波纹管之间设有磁流体。
[0020]所述的下加热器与下轴的升降支撑，所述两电极升降座的上面设有连接板，所述连接板的左右两端分别连接两电极升降座，在连接板上设有电极升降波纹管支撑板，在电极升降波纹管支撑板的上面设有贯通至连接板下面的穿孔，在穿孔外围的电极升降波纹管
支撑板间隔设有至少两个下加热器升降电极。
[0021]所述的下加热器与下轴的升降支撑，所述螺旋升降机B的上端头连接下轴升降支撑座上端板，所述下轴升降支撑座上端板固设在下轴升降支撑座的上端面，所述螺旋升降机A的上端头连接电极升降支撑座上端板，所述电极升降支撑座上端板固设在电极升降支撑座的上端面。
[0022]所述的下加热器与下轴的升降支撑，所述螺旋升降机B的第一动力输入轴连接下轴快速升降电机，螺旋升降机B的第二动力输入轴连接下轴慢速升降减速机，所述下轴慢速升降减速机的动力输入轴连接下轴慢速升降电机，所述螺旋升降机A的动力输入轴连接电极升降电机。
[0023]所述的下加热器与下轴的升降支撑，所述下轴下端头的外缘面上设有从动带轮，所述从动带轮通过皮带连接设置在下轴升降板侧板上下轴旋转减速机动力输出轴上的主动带轮，下轴旋转减速机的动力输入轴连接下轴旋本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种下加热器与下轴的升降支撑，包括电极升降支撑座(1)、下轴升降支撑座(2)、电极升降导轨(5)、螺旋升降机A(6)、下轴升降板(7)、电极升降座(8)、螺旋升降机B(9)、下轴(19)、下加热器升降电极(21)、下轴升降导轨(22)、下轴升降滑块(28)和电极升降滑块(29)，其特征是：在所述下轴升降支撑座(2)的左右两侧分别设有电极升降支撑座(1)；在所述下轴升降支撑座(2)的立板上设有至少一根下轴升降导轨(22)，在下轴升降导轨(22)上设有下轴升降滑块(28)，在下轴升降支撑座(2)的底板上设有螺旋升降机B(9)，螺旋升降机B(9)上的升降器连接下轴升降板(7)形成下轴升降单元，所述下轴升降单元连接下轴升降滑块(28)，在下轴升降板(7)上设有下轴(19)，所述下轴(19)的上端头穿过炉底连接坩埚；在两电极升降支撑座(1)的立板上分别设有至少一根电极升降导轨(5)，在每根电极升降导轨(5)上分别设有电极升降滑块(29)，在两电极升降支撑座(1)的底板上分别设有螺旋升降机A(6)，两螺旋升降机A(6)上的升降器分别连接电极升降座(8)形成两个电极升降单元，两电极升降单元分别连接电极升降滑块(29)，在两电极升降座(8)上分别设有下加热器升降电极(21)，所述下加热器升降电极(21)的上端头穿过炉底连接下加热器形成所述的下加热器与下轴的升降支撑。2.根据权利要求1所述的下加热器与下轴的升降支撑，其特征是：所述螺旋升降机A(6)与螺旋升降机B(9)为丝杠升降型螺旋升降机或螺母升降型螺旋升降机。3.根据权利要求1所述的下加热器与下轴的升降支撑，其特征是：所述升降器为升降螺母或升降箱体。4.根据权利要求1所述的下加热器与下轴的升降支撑，其特征是：所述下加热器升降电极(21)的外围套接有电极升降波纹管(4)，所述电极升降波纹管(4)的下端头连接连接板(20)，电极升降波纹管(4)的上端头连接炉底的下面。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱振业，
申请(专利权)人：洛阳长缨新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：