本实用新型专利技术公开了一种电子束蒸发的装置，属于真空镀膜技术领域，其包括机柜本体，所述机柜本体的背面与第一三通管正面的一端相连通，所述第一三通管的顶端与第一导管的底端相连通，所述第一导管的另一端与密封装置的背面相连通，所述密封装置的正面固定连接有若干个吸气管。该电子束蒸发的装置，通过设置密封条、通孔、定位条和密封装置，保障了密封盖板与处理装置之间连接的紧密性，避免密封盖板与处理装置之间存在缝隙的情况，进一步提高了该装置内部的真空效果，且在对密封盖板固定完毕后即可关闭机柜本体内的真空泵，使得该装置无需长时间运行真空泵，进而对镀膜的效率以及质量起到了保障的效果。到了保障的效果。到了保障的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种电子束蒸发的装置
[0001]本技术属于真空镀膜
，具体为一种电子束蒸发的装置。
技术介绍
[0002]电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中，被加热的物质放置于水冷的坩埚中，可避免蒸发材料与坩埚壁发生反应影响薄膜的质量，因此，电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜。
[0003]现有的电子束蒸发装置主要依靠电子加速器产生的电子束直接加热蒸发材料，从而实现镀膜的效果，此时需要保障装置内部处于真空的状态，然而目前的电子束蒸发装置通常仅采用门板的闭合对装置内部进行密封，导致在抽真空的过程后门板与装置连接的缝隙处容易泄漏空气，导致电子束蒸发装置需要持续抽真空从而保持真空效果，不仅耗能大且持续的抽真空会对镀膜造成一定的影响，难以对镀膜的质量进行保障。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供了一种电子束蒸发的装置，解决了目前的电子束蒸发装置在抽真空的过程后门板与装置连接的缝隙处容易泄漏空气，导致电子束蒸发装置需要持续抽真空从而保持真空效果，不仅耗能大且持续的抽真空会对镀膜造成一定影响的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种电子束蒸发的装置，包括机柜本体，所述机柜本体的背面与第一三通管正面的一端相连通，所述第一三通管的顶端与第一导管的底端相连通，所述第一导管的另一端与密封装置的背面相连通，所述密封装置的正面固定连接有若干个吸气管，所述机柜本体的上表面与处理装置的下表面固定连接，所述处理装置的正面开设有若干个通孔，所述吸气管位于通孔内，所述处理装置的一侧固定连接有两个连接件，所述处理装置通过两个连接件与密封盖板的一侧铰接，所述密封盖板的背面固定连接有密封条，所述密封条的背面固定连接有若干个定位条，所述定位条的位置与通孔的位置相对应。
[0008]作为本技术的进一步方案：所述密封装置包括密封罩，所述密封罩的背面与第一导管对应的一端相连通，所述密封罩的正面固定连接有密封贴板，所述密封罩通过密封贴板与若干个吸气管相连通，所述密封贴板固定连接在处理装置的背面。
[0009]作为本技术的进一步方案：所述第一三通管的底端与第二导管的顶端相连通，所述第二导管的另一端固定连接第二三通管，所述机柜本体的下表面固定连接有四个定位装置，对应两个定位装置的相对面通过连接管相连通，位于后方的连接管与第二三通管相连通。
[0010]作为本技术的进一步方案：所述连接件包括连接套，所述连接套固定连接在处理装置的一侧，所述连接套内套接有连接轴，所述连接轴外固定连接有连接支架，所述连接轴通过连接支架与密封盖板的一侧固定连接。
[0011]作为本技术的进一步方案：所述定位装置包括加固套，所述加固套的上表面与机柜本体的下表面固定连接，所述加固套的两侧分别与两个连接管相连通，所述连接管的底端与加固管的顶端相连通，所述加固管的底端与定位吸盘的上表面相连通。
[0012]作为本技术的进一步方案：所述定位吸盘的下表面与控制柜的下表面处于同一水平，所述机柜本体内设置有真空泵和驱动组件，所述控制柜通过导线与机柜本体内真空泵和驱动组件的输入端电连接。
[0013](三)有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0015]1、该电子束蒸发的装置，通过设置密封条、通孔、定位条和密封装置，使得真空泵在运行时抽取处理装置内部的气体，使处理装置内部处于真空的状态，且真空泵会通过第一三通管抽取第一导管和第二导管内部的气体，此时，此时第一导管则会通过密封罩和吸气管抽取通孔内部的气体，使得该装置在使用的过程中可以保障对密封盖板的固定，同时，可以对密封盖板与处理装置接触的部位起到吸附固定的效果，保障了密封盖板与处理装置之间连接的紧密性，避免密封盖板与处理装置之间存在缝隙的情况，进一步提高了该装置内部的真空效果，且在对密封盖板固定完毕后即可关闭机柜本体内的真空泵，使得该装置无需长时间运行真空泵，进而对镀膜的效率以及质量起到了保障的效果。
[0016]2、该电子束蒸发的装置，通过设置定位装置和第二导管，于机柜本体内部真空泵在运行的过程中会通过第一三通管同步抽取第二导管内部的气体，使得真空泵会通过第二导管、第二三通管和连接管同步抽取定位装置内部的气体，随着真空泵的运行，定位吸盘则会在空气压力的作用下吸附在地面，使得该装置在运行的过程中只需正常通过真空泵对处理装置内部进行真空处理即可实现对该装置的固定，避免在使用该装置的过程中由于震动而导致对处理装置内部工件的镀膜效果造成影响，进而对该装置运行时的稳定性起到了保障的效果。
[0017]3、该电子束蒸发的装置，通过设置连接套和连接轴，使得在需要翻转密封盖板时，只需沿着连接轴转动密封盖板即可，避免在调整密封盖板位置的过程中密封盖板出现错位的情况，且保障了密封盖板与处理装置之间的贴合程度。
附图说明
[0018]图1为本技术立体的结构示意图；
[0019]图2为本技术机柜本体立体的结构示意图；
[0020]图3为本技术密封盖板展开的结构示意图；
[0021]图4为本技术图3中A处放大的结构示意图；
[0022]图中：1机柜本体、2第一三通管、3第一导管、4密封装置、401密封罩、402密封贴板、5吸气管、6处理装置、7通孔、8连接件、801连接套、802连接轴、803连接支架、9密封盖板、10密封条、11定位条、12第二导管、13第二三通管、14连接管、15定位装置、151加固套、152加固管、153定位吸盘、16控制柜。
具体实施方式
[0023]下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0024]如图1
‑
4所示，本技术提供一种技术方案：一种电子束蒸发的装置，包括机柜本体1，机柜本体1的背面与第一三通管2正面的一端相连通，第一三通管2的顶端与第一导管3的底端相连通，第一导管3的另一端与密封装置4的背面相连通，密封装置4的正面固定连接有若干个吸气管5，机柜本体1的上表面与处理装置6的下表面固定连接，因设置有吸气管5，使得在抽取密封罩401内气体时，密封罩401会通过吸气管5和通孔7对密封盖板9进行固定，从而保障了密封盖板9密封处理装置6时的稳定性，处理装置6的正面开设有若干个通孔7，吸气管5位于通孔7内，处理装置6的一侧固定连接有两个连接件8，处理装置6通过两个连接件8与密封盖板9的一侧铰接，密封盖板9的背面固定连接有密封条10，因设置有密封条10和定位条11，使得在通过吸气管5抽取通孔7内部气体时，密封条10和定位条11由于自身的可塑性则会逐渐伸入通孔7内部，并逐渐将通孔7和处理装置6与密封盖板9之间的缝隙填补上，进一步保障了该装置的密封效果，密封条本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸发的装置，包括机柜本体(1)，其特征在于：所述机柜本体(1)的背面与第一三通管(2)正面的一端相连通，所述第一三通管(2)的顶端与第一导管(3)的底端相连通，所述第一导管(3)的另一端与密封装置(4)的背面相连通，所述密封装置(4)的正面固定连接有若干个吸气管(5)，所述机柜本体(1)的上表面与处理装置(6)的下表面固定连接，所述处理装置(6)的正面开设有若干个通孔(7)，所述吸气管(5)位于通孔(7)内，所述处理装置(6)的一侧固定连接有两个连接件(8)，所述处理装置(6)通过两个连接件(8)与密封盖板(9)的一侧铰接，所述密封盖板(9)的背面固定连接有密封条(10)，所述密封条(10)的背面固定连接有若干个定位条(11)，所述定位条(11)的位置与通孔(7)的位置相对应。2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发的装置，其特征在于：所述密封装置(4)包括密封罩(401)，所述密封罩(401)的背面与第一导管(3)对应的一端相连通，所述密封罩(401)的正面固定连接有密封贴板(402)，所述密封罩(401)通过密封贴板(402)与若干个吸气管(5)相连通，所述密封贴板(402)固定连接在处理装置(6)的背面。3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发的装置，其特征在于：所述第一三通管(2)的底端与第二导管(12)的顶端相...
【专利技术属性】
技术研发人员：周焱文，
申请(专利权)人：武汉麦韦光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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