一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置，薄膜溅射设备包括载片台，载片台的腔体的顶部密封有透明玻璃，载片台的腔体内装载有晶圆，装置包括检测相机和控制箱，检测相机通过支架安装在透明玻璃的正上方，控制箱包括控制箱体，控制箱体的正面嵌设有触摸屏，控制箱体内设有PLC，控制箱体上设有电源信号线接口，电源信号线接口的一端与薄膜溅射设备的电源导线连接、另一端与PLC导线连接，检测相机和触摸屏均与PLC电连接。本实用新型专利技术的检测装置具有体积小、安装调试便捷的特点，在不改变原有设备电路的前提下，有效检测腔体内的晶圆位置角度，控制薄膜溅射设备的运转与报警。转与报警。转与报警。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置


[0001]本技术涉及半导体
，应用于薄膜金属化制程，具体涉及薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置。

技术介绍

[0002]在半导体技术中，薄膜溅射是金属互联的主要工艺手段。在开始溅射工艺之前，机械手臂会将晶圆从真空片架升降腔体中取出放置到腔体内对晶圆缺口进行定位。定位的原理是旋转晶圆，通过CCD传感器的模拟量数值计算并调整缺口的角度位置。即便是这样，准确性还是有细微误差。需要再此基础上进一步提升缺口角度的精确性，在不改变现有薄膜溅射设备的外观功能的同时加装本装置。

技术实现思路

[0003]本技术针对现有技术存在的问题和不足，提供一种新型的薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置。
[0004]本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：
[0005]本技术提供一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置，所述薄膜溅射设备包括载片台，其特点在于，所述载片台的腔体的顶部密封有透明玻璃，所述载片台的腔体内装载有晶圆，所述装置包括检测相机和控制箱，所述检测相机通过支架安装在透明玻璃的正上方，所述控制箱包括控制箱体，所述控制箱体的正面嵌设有触摸屏，所述控制箱体内设有PLC，所述控制箱体上设有电源信号线接口，所述电源信号线接口的一端与薄膜溅射设备的电源导线连接、另一端与PLC导线连接，所述检测相机和触摸屏均与PLC电连接。
[0006]较佳地，所述控制箱体的两侧均固定有电箱挂耳，所述电箱挂耳挂设在薄膜溅射设备的机架上。
[0007]在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本技术各较佳实例。
[0008]本技术的积极进步效果在于：
[0009]本技术的检测装置具有体积小、安装调试便捷的特点，在不改变原有设备电路的前提下，有效检测腔体内的晶圆位置角度，控制薄膜溅射设备的运转与报警。
附图说明
[0010]图1为本技术较佳实施例的薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置的结构示意图。
具体实施方式
[0011]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描
述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0012]如图1所示，本实施例提供一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置，所述薄膜溅射设备包括载片台1，所述载片台1的腔体的顶部密封有透明玻璃2，所述载片台1的腔体内装载有晶圆，所述装置包括检测相机3和控制箱4，所述检测相机3通过支架5安装在透明玻璃2的正上方，所述控制箱4包括控制箱体41，所述控制箱体41的正面嵌设有触摸屏42，所述控制箱体41内设有PLC，所述控制箱体41的两侧均固定有电箱挂耳(图中未示出)，所述控制箱体41上设有电源信号线接口43，所述电源信号线接口43的一端与薄膜溅射设备的电源导线连接、另一端与PLC导线连接，所述电箱挂耳挂设在薄膜溅射设备的机架上，所述检测相机3和触摸屏42均与PLC电连接。
[0013]触摸屏42能够设定相关参数，通过薄膜溅射设备的升降气缸的上升信号作为检测相机3的检测启动条件，PLC向检测相机3发出作动信号。检测相机3用于拍摄晶圆照片，基于晶圆上晶圆缺口的位置判定晶圆的位置角度状态，然后将判定后的结果反馈给PLC。PLC接收的结果为晶圆的位置角度状态正常，薄膜溅射设备执行下一步的工艺流程；PLC接收的结果为晶圆的位置角度状态异常，薄膜溅射设备的上升信号将被切断，薄膜溅射设备运转停止并动作超时报警。
[0014]虽然以上描述了本技术的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本技术的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本技术的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置，所述薄膜溅射设备包括载片台，其特征在于，所述载片台的腔体的顶部密封有透明玻璃，所述载片台的腔体内装载有晶圆，所述装置包括检测相机和控制箱，所述检测相机通过支架安装在透明玻璃的正上方，所述控制箱包括控制箱体，所述控制箱体的正面嵌设有触摸屏，所述控制箱体内设有PLC，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王开兵，孙及，姜靖，张强，瓮晴晴，沈晓华，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：