一种籽晶酸洗支架制造技术

本实用新型专利技术属于单晶金刚石制备领域，公开了一种籽晶酸洗支架。包括相互平行设置的至少两根固定板、连接固定板的连接杆；相邻固定板相对的侧面设置一一对应的条形凹槽，相对的条形凹槽之间形成容纳籽晶的容纳腔，所述条形凹槽贯穿固定板一端、形成供籽晶进入容纳腔的开口；条形凹槽的宽度大于籽晶的厚度。本实用新型专利技术籽晶酸洗支架的结构简单，操作方便，易于生产制造，可大批量清洗籽晶，具有良好的工业应用前景。用前景。用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种籽晶酸洗支架


[0001]本技术属于单晶金刚石制备领域，涉及一种籽晶酸洗支架，更具体的，涉及一种用于单晶金刚石酸洗的支架。

技术介绍

[0002]CVD制备金刚石薄膜的方法包括热丝CVD法、电子加速CVD法、直流放电等离子体CVD法、微波等离子体CVD法等。微波等离子体CVD法利用微波辉光放电，避免了电极污染，且电子密度高，等离子体稳定，因此制备的金刚石膜质量高。
[0003]但该工艺受籽晶边缘多晶的影响，金刚石单次沉积的厚度有限，需经过切割
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抛光
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酸洗
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再次沉积的过程制备出厚尺寸的单晶金刚石。在金刚石同质外延生长过程中，沉积的基片为金刚石籽晶，为获得厚度较大的单晶金刚石，需要多次沉积生长，因此在沉积和酸洗时，需要明确籽晶面的方向，同时也需要保证工艺效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的上述问题，本技术的目的在于提供一种可批量化、定向酸洗籽晶的籽晶酸洗支架。
[0005]为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：
[0006]一种籽晶酸洗支架，包括相互平行设置的至少两根固定板、连接固定板的连接杆；
[0007]相邻固定板相对的侧面设置一一对应的条形凹槽，相对的条形凹槽之间形成容纳籽晶的容纳腔，所述条形凹槽贯穿固定板一端、形成供籽晶进入容纳腔的开口；
[0008]相邻固定板之间距离小于籽晶的长度，相对设置的条形凹槽的槽底之间距离大于籽晶的长度，条形凹槽的宽度大于籽晶的厚度。
[0009]优选地，所述连接杆为螺纹杆，所述固定板的两端设置供螺纹杆穿过的通孔，所述螺纹杆的一端设置螺帽和套设在螺纹杆上的压簧，所述螺纹杆的另一端设置对固定板进行限位的限位凸环，所述压簧一端与螺帽连接，所述压簧另一端与最端部的固定板侧面连接。设置压簧有一定的弹性，通过螺帽和压簧的结构调节固定板之间的距离，在清洗过程中进一步固定凹槽间的籽晶，防止籽晶掉落或漂浮。
[0010]进一步优选地，所述通孔直径比螺纹杆直径大0.5~1mm。
[0011]优选地，最外侧两根固定板的两端分别设置把手。
[0012]优选地，所述把手为柱状结构。
[0013]优选地，所述条形凹槽竖直、均匀设置在固定板的侧面。
[0014]优选地，所述条形凹槽的深度比籽晶的长度大2~3mm，所述条形凹槽的宽度比籽晶的厚度大0.1~0.3mm；进一步优选地，条形凹槽长度为0.5~1.5mm。
[0015]优选地，所述固定板为长方体结构。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0017]（1）本技术籽晶酸洗支架采用的固定板、螺纹杆、螺母、压簧之间的配合固定，
可实现金刚石籽晶的批量且定向的酸洗；凹槽宽度的设置，可留有足够的空间使金刚石最大面积的进行酸洗及超声，提高酸洗效率；
[0018]（2）本技术籽晶酸洗支架的结构简单，操作方便，易于生产制造，可大批量清洗籽晶，具有良好的工业应用前景。
附图说明
[0019]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0020]图1为本技术籽晶酸洗支架的立体结构示意图。
具体实施方式
[0021]为了便于理解本技术，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本技术作更全面、细致地描述，但本技术的保护范围并不限于以下具体的实施例。
[0022]除非另有定义，下文中所使用的所有专业术语与本领域技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的专业术语只是为了描述具体实施例的目的，并不旨在限制本技术的保护范围。
[0023]除非另有特别说明，本技术中用到的各种原材料、试剂、仪器和设备等均可通过市场购买得到或者可通过现有方法制备得到。
[0024]实施例1
[0025]参见图1，本实施例公开了一种籽晶酸洗支架，包括相互平行设置的3根固定板3、连接固定板3的连接杆4，最外侧两根固定板3的两端分别设置柱状结构的把手5，待洗的籽晶尺寸为7*7*0.6mm。
[0026]本实施例中，3根固定板3为尺寸相同的长方体结构，具体为：长74mm，宽10mm，高8mm。相邻的固定板3相对的侧面设置一一对应的各15个条形凹槽6，条形凹槽6宽度为0.8mm，条形凹槽6深度为9mm，相邻的条形凹槽6之间的间隔为3mm。所述条形凹槽6竖直、均匀设置在固定板3的侧面。相对的条形凹槽6之间形成容纳籽晶的容纳腔，所述条形凹槽6贯穿固定板3一端、形成供籽晶进入容纳腔的开口7；
[0027]相邻固定板3之间距离小于籽晶的长度，相对设置的条形凹槽6的槽底之间距离大于籽晶的长度，条形凹槽6的宽度大于籽晶的厚度。
[0028]本实施例中，连接杆4为螺纹杆，螺纹杆的直径为5mm，长度为60mm，固定板3的两端设置供螺纹杆穿过的通孔，通孔的孔径设置为5.5mm。螺纹杆的一端设置螺帽1和套设在螺纹杆上的压簧2，螺纹杆的另一端设置对固定板3进行限位的限位凸环（未示出），所述压簧2一端与螺帽1连接，所述压簧2另一端与最端部的固定板3侧面连接，在使用过程中，设置压簧2有一定的弹性，通过螺帽1和压簧2的结构实施对最外端固定板3的挤压力，调节固定板3之间的距离，在清洗过程中进一步固定条形凹槽6间的籽晶，防止籽晶掉落或漂浮。
[0029]本实施例通过连接杆4、固定板3 、压簧2及螺帽1的设置，籽晶的放置位置由置于连接杆4上的固定板3的间隔位置进行调节、以及后续由压簧2进行固定，一次可配合形成30个容纳腔。
[0030]本实施例的籽晶酸洗支架的使用方法如下：
[0031]先将把手5与固定板3配合进行固定，调节相邻固定板3之间的距离，使其相对的条形凹槽6形成可以放置籽晶的容纳腔，用镊子将7*7*0.6mm的金刚石籽晶按编号定向放入容纳腔中，利用螺帽1和压簧2固定紧籽晶的位置，待装配完成后，将支架放置于王水中进行酸洗。
[0032]以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的包含范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶酸洗支架，其特征在于，所述籽晶酸洗支架包括相互平行设置的至少两根固定板、连接固定板的连接杆；相邻固定板相对的侧面设置一一对应的条形凹槽，相对的条形凹槽之间形成容纳籽晶的容纳腔，所述条形凹槽贯穿固定板一端、形成供籽晶进入容纳腔的开口；条形凹槽的宽度大于籽晶的厚度。2.如权利要求1所述的籽晶酸洗支架，其特征在于，所述连接杆为螺纹杆，所述固定板的两端设置供螺纹杆穿过的通孔，所述螺纹杆的一端设置螺帽和套设在螺纹杆上的压簧，所述螺纹杆的另一端设置对固定板进行限位的限位凸环，所述压簧一端与螺帽连接，所述压簧另一端与最端部的固定板侧面连接。3.如权利要求2所述的籽晶酸洗支架，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄其荣，于金凤，李天举，李光存，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：