本实用新型专利技术涉及晶圆芯片标记追溯技术领域，尤其为一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，包括箱体，所述箱体的外围一侧面上连接有导气管，所述箱体的顶部安装有喷码器，所述喷码器的一侧面上连接有喷码管，所述箱体外部一侧面底部的延长板上垂直固定安装有挡板，本实用新型专利技术中通过设计的一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，通过电动伸缩杆的来回伸缩可以带动清洗托盘上晶圆芯片前后移动，同时直线电机可以在滑动座上左右移动，从而使清洗托盘能够左右移动，从而实现无需人工对晶圆芯片进行调整的情况下自动完成晶圆芯片的喷码作业，有效解决了在对晶圆芯片进行喷码时需要人工不间断对晶圆芯片位置进行调整的问题。断对晶圆芯片位置进行调整的问题。断对晶圆芯片位置进行调整的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置
[0001]本技术涉及晶圆芯片标记追溯
，具体为一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置。
技术介绍
[0002]半导体行业内已知的对晶圆芯片标记采用在制造过程中，专门设计一块区域用来放置晶圆信息，需要专门的掩膜来刻录，该方法需要使用到激光标记，无法满足后期快速变更的需求，以及返工的需求，同时晶圆级激光成本高昂，从而限制了激光的实际使用场景，目前解决方法是对晶圆背面玻璃面进行流程1等离子清洗，可采用100％Ar气，在等离子清洗结束后讲晶圆放置到喷码设备上进行流程2喷码，设备运行到对应的芯片位置时，按照编码规则喷下序列内容，喷码结束后设备上配套的OCR系统对喷码内容进行流程3OCR识别，通过后按需求输出序列文件，最后进行流程4油墨烘烤固化，在清洗后对晶圆进行喷码时，需要通过人工对晶圆的位置进行调整，非常麻烦，不能使晶圆自动进行前后左右的移动。
[0003]因此设计一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置以改变上述技术缺陷，提高整体实用性，显得尤为重要。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，包括箱体，所述箱体的外围一侧面上连接有导气管，所述箱体的顶部安装有喷码器，所述喷码器的一侧面上连接有喷码管，所述箱体外部一侧面底部的延长板上垂直固定安装有挡板，所述挡板的内侧顶部两端对称安装有电动伸缩杆；
[0007]所述箱体的内侧两侧面之间连接有滑动座，所述滑动座的上滑动安装有直线电机，所述直线电机的顶部安装有清洗托盘，所述清洗托盘的底部开设有镂空槽，所述清洗托盘的顶部开设有圆孔槽，所述圆孔槽的内侧面上设有台阶板，所述清洗托盘的顶部位于圆孔槽对应的两端开设有提取槽。
[0008]作为本技术优选的方案，所述导气管与箱体的内部相通，且所述导气管的一端与可以输入等离子气体Ar气的设备相连接。
[0009]作为本技术优选的方案，所述喷码管的一端贯穿箱体的顶部延伸至箱体的内部，且所述喷码管延伸至箱体内部的一端设有喷码头，所述喷码管上的喷码头为垂直安装。
[0010]作为本技术优选的方案，所述电动伸缩杆的一端均贯穿箱体的一侧面延伸至箱体的内部，且两个所述电动伸缩杆延伸至箱体内部的一端分别与滑动座一侧面的底部两端固定连接，所述电动伸缩杆的伸缩端卡装在箱体的侧面上，且所述电动伸缩杆的伸缩长度与箱体的内部宽度尺寸相同。
[0011]作为本技术优选的方案，所述清洗托盘通过直线电机在滑动座可以进行来回移动。
[0012]作为本技术优选的方案，所述圆孔槽的内侧面之间尺寸与晶圆片的直径尺寸相同，且所述台阶板的顶部与晶圆片的底部相贴合。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术中，通过设计的一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，通过电动伸缩杆的来回伸缩可以带动清洗托盘上晶圆芯片前后移动，同时直线电机可以在滑动座上左右移动，从而使清洗托盘能够左右移动，从而实现无需人工对晶圆芯片进行调整的情况下自动完成晶圆芯片的喷码作业，有效解决了在对晶圆芯片进行喷码时需要人工不间断对晶圆芯片位置进行调整的问题。
附图说明
[0015]图1为本技术整体结构示意图；
[0016]图2为本技术箱体背面结构示意图；
[0017]图3为本技术移动机构放大结构示意图；
[0018]图4为本技术清洗托盘放大结构示意图。
[0019]图中：1、箱体；2、导气管；3、喷码器；4、喷码管；5、挡板；6、电动伸缩杆；7、滑动座；8、直线电机；9、清洗托盘；901、镂空槽；902、圆孔槽；903、提取槽；10、台阶板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0022]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0023]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0024]实施例，请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：
[0025]一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，包括箱体1，箱体1的外围一侧面上连接有导气管2，箱体1的顶部安装有喷码器3，喷码器3的一侧面上连接有喷码管4，箱体1外部一侧
面底部的延长板上垂直固定安装有挡板5，挡板5的内侧顶部两端对称安装有电动伸缩杆6；
[0026]其中导气管2与箱体1的内部相通，且导气管2的一端与可以输入等离子气体Ar气的设备相连接，喷码管4的一端贯穿箱体1的顶部延伸至箱体1的内部，且喷码管4延伸至箱体1内部的一端设有喷码头，喷码管4上的喷码头为垂直安装，电动伸缩杆6的一端均贯穿箱体1的一侧面延伸至箱体1的内部，且两个电动伸缩杆6延伸至箱体1内部的一端分别与滑动座7一侧面的底部两端固定连接，电动伸缩杆6的伸缩端卡装在箱体1的侧面上，且电动伸缩杆6的伸缩长度与箱体1的内部宽度尺寸相同，保障清洗托盘9的前后移动范围。
[0027]在该实施例中，请参照图1、图3和图4，箱体1的内侧两侧面之间连接有滑动座7，滑动座7的上滑动安装有直线电机8，直线电机8的顶部安装有清洗托盘9，清洗托盘9的底部开设有镂空槽901，清洗托盘9的顶部开设有圆孔槽902，圆孔槽902的内侧面上设有台阶板10，清洗托盘9的顶部位于圆孔槽902对应的两端开设有提取槽903；
[0028]其中清洗托盘9通过直线电机8在滑动座7可以进行来回移动，圆孔槽902的内侧面之间尺寸与晶圆片的直径尺寸相同，且台阶板10的顶部与晶圆片的底部相贴合。
[0029]本技术工作流程：在对微型晶圆芯片进行喷码追溯操作时，首先将本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的外围一侧面上连接有导气管(2)，所述箱体(1)的顶部安装有喷码器(3)，所述喷码器(3)的一侧面上连接有喷码管(4)，所述箱体(1)外部一侧面底部的延长板上垂直固定安装有挡板(5)，所述挡板(5)的内侧顶部两端对称安装有电动伸缩杆(6)；所述箱体(1)的内侧两侧面之间连接有滑动座(7)，所述滑动座(7)的上滑动安装有直线电机(8)，所述直线电机(8)的顶部安装有清洗托盘(9)，所述清洗托盘(9)的底部开设有镂空槽(901)，所述清洗托盘(9)的顶部开设有圆孔槽(902)，所述圆孔槽(902)的内侧面上设有台阶板(10)，所述清洗托盘(9)的顶部位于圆孔槽(902)对应的两端开设有提取槽(903)。2.根据权利要求1所述的一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，其特征在于：所述导气管(2)与箱体(1)的内部相通，且所述导气管(2)的一端与可以输入等离子气体Ar气的设备相连接。3.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：金鑫，
申请(专利权)人：菲尼萨光电通讯上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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