本实用新型专利技术涉及物理吸附仪领域，具体提供一种比表面仪的混气装置及比表面仪，旨在解决现有的比表面仪的混气装置混气不够均匀的问题。为此目的，本实用新型专利技术的混气装置包括：混气罐，混气罐包括第一气体进口、第二气体进口和混合气出口；第一气体进口用于接收被吸附气体；第二气体进口用于接收载气；混合气出口用于为比表面仪的热导池提供混合气。由于混气罐内部空间较大，使得气体有充足的混匀时间，保证氮气与氦气能够混合均匀，保证混气浓度稳定，提高比表面仪的实验精准度。提高比表面仪的实验精准度。提高比表面仪的实验精准度。
【技术实现步骤摘要】
比表面仪的混气装置及比表面仪
[0001]本技术涉及物理吸附仪领域，具体提供一种比表面仪的混气装置及比表面仪。
技术介绍
[0002]动态比表面仪在测试比表面积的时候需要具有稳定比例的混合气。如在常规的动态比表面仪中，需要将两路气体混合到一起从而形成一定比例的混合气，目前所采用的技术方案通常为，将两路调整好流量的气体分别通过三通的第一入气口和第二入气口汇合到一起，然后从三通的气体出口流出形成混合气，再通过热导池检测。
[0003]但是，通过实验发现，上述结构的两路气体通过三通直接混合而成的混合气并不均匀，从而造成实验误差大。
[0004]相应地，本领域需要一种新的比表面仪的混气装置及比表面仪来解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本技术旨在解决上述技术问题，即，解决现有的比表面仪的混气装置混气不够均匀的问题。
[0006]在第一方面，本技术提供一种比表面仪的混气装置，其特征在于，所述混气装置包括：混气罐，所述混气罐包括第一气体进口、第二气体进口和混合气出口；所述第一气体进口用于接收被吸附气体；所述第二气体进口用于接收载气；所述混合气出口用于为所述比表面仪的热导池提供混合气。
[0007]在上述比表面仪的混气装置的优选技术方案中，所述混气罐的内腔中设有气体混匀装置，其用于混匀所述载气和所述被吸附气体。
[0008]在上述比表面仪的混气装置的优选技术方案中，所述气体混匀装置为螺旋状的分割片，所述分割片沿所述混气罐的内腔中的气体流动方向延伸。
[0009]在上述比表面仪的混气装置的优选技术方案中，所述混气罐的内腔包括锥形段，所述锥形段包括顶端和底端，所述混合气出口与所述顶端相连通，其中，所述顶端的横截面的直径小于所述底端的横截面的直径。
[0010]在上述比表面仪的混气装置的优选技术方案中，所述内腔还包括圆柱腔段，所述圆柱腔段的一端与所述底端相连通，所述圆柱腔段的另一端与所述第一气体进口和所述第二气体进口相连通。
[0011]在上述比表面仪的混气装置的优选技术方案中，所述混气装置还包括：第一气管，所述第一气管的出气端与所述第一气体进口相连，所述第一气管上设有第一流量调节件；第二气管，所述第二气管的出气端与所述第二气体进口相连，所述第二气管上设有第二流量调节件。
[0012]在上述比表面仪的混气装置的优选技术方案中，所述第一流量调节件和所述第二流量调节件均为质量流量控制器。
[0013]另一方面，本技术还提供了一种比表面仪，所述比表面仪包括上述任一实施方式所述的比表面仪的混气装置。
[0014]在上述比表面仪的优选技术方案中，所述比表面仪包括热导池，所述混气装置的数量为两个，其中一个所述混气装置的混合气出口与所述热导池的参考臂的入口相连通，另外一个所述混气装置的混合气出口与所述热导池的测量臂的入口相连通，所述参考臂的出口和所述测量臂的出口均与外界空气相通。
[0015]在上述比表面仪的优选技术方案中，所述比表面仪包括热导池和测量管，所述混气装置的数量为一个，所述混合气出口与所述热导池的参考臂的入口相连通，所述参考臂的出口、所述测量管、所述热导池的测量臂的入口依次连通，所述测量臂的出口与外界空气相通。
[0016]本领域技术人员可以理解的是，本技术的混气装置包括：混气罐，混气罐包括第一气体进口、第二气体进口和混合气出口；第一气体进口用于接收被吸附气体；第二气体进口用于接收载气；混合气出口用于为比表面仪的热导池提供混合气。
[0017]采用上述技术方案的情况下，即采用混气罐替代了原有的三通，由于混气罐内部空间较大，使得气体有充足的混匀时间，保证氮气与氦气能够混合均匀，保证混气浓度稳定，提高比表面仪的实验精准度。
附图说明
[0018]下面结合附图来描述本技术的优选实施方式，附图中：
[0019]图1是本技术的混气装置的结构示意图；
[0020]图2是本技术的混气罐的剖视图；
[0021]图3是本技术的比表面仪的一种可能的实施方式的结构示意图；
[0022]图4是本技术的比表面仪的另一种可能的实施方式的结构示意图。
[0023]附图标记列表：
[0024]1‑
混气罐；11
‑
第一气体进口；12
‑
第二气体进口；13
‑
混合气出口；14
‑
锥形段；141
‑
顶端；142
‑
底端；15
‑
圆柱腔段；2
‑
第一气管；3
‑
第二气管；4
‑
质量流量控制器；5
‑
热导池；51
‑
参考臂；52
‑
测量臂；6
‑
测量管；7
‑
分割片。
具体实施方式
[0025]需要说明的是，在本技术的描述中，术语“底”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]此外，还需要说明的是，在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]如图1所示，为了解决现有的比表面仪的混气装置混气不够均匀的问题。本实用新
型提供了一种比表面仪的混气装置，该混气装置包括混气罐1，混气罐1包括第一气体进口11、第二气体进口12和混合气出口13，其中，第一气体进口11用于接收被吸附气体，如氮气，第二气体进口12用于接收载气，如氦气或氢气等，混合气出口13用于为比表面仪的热导池5提供混合气。为了便于说明，下文本技术的被吸附气体将以氮气为例，载气将以氦气为例进行介绍。
[0028]可能地，混气装置还包括第一气管2和第二气管3，第一气管2的出气端与第一气体进口11相连，第一气管2上设有第一流量调节件；第二气管3的出气端与第二气体进口12相连，第二气管3上设有第二流量调节件。其中，第一流量调节件和第二流量调节件的具体形式包括多种，优选地，第一流量调节件和第二流量调节件均为质量流量控制器4，较为次之地，第一流量调节件和第二流量调节件还可以为稳流阀等。也就是说，第一气管2和第二气管3中的两路气体可以分别经过质量流量控制器4调整流量后通过混气罐1形成混合气，然后通过热导池5检测。其中，第一气管2可以用于接收氮气，第二气管3可以用于接收氦气。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种比表面仪的混气装置，其特征在于，所述混气装置包括：混气罐，所述混气罐包括第一气体进口、第二气体进口和混合气出口；所述第一气体进口用于接收被吸附气体；所述第二气体进口用于接收载气；所述混合气出口用于为所述比表面仪的热导池提供混合气。2.根据权利要求1所述的比表面仪的混气装置，其特征在于，所述混气罐的内腔中设有气体混匀装置，其用于混匀所述载气和所述被吸附气体。3.根据权利要求2所述的比表面仪的混气装置，其特征在于，所述气体混匀装置为螺旋状的分割片，所述分割片沿所述混气罐的内腔中的气体流动方向延伸。4.根据权利要求1所述的比表面仪的混气装置，其特征在于，所述混气罐的内腔包括锥形段，所述锥形段包括顶端和底端，所述混合气出口与所述顶端相连通，其中，所述顶端的横截面的直径小于所述底端的横截面的直径。5.根据权利要求4所述的比表面仪的混气装置，其特征在于，所述内腔还包括圆柱腔段，所述圆柱腔段的一端与所述底端相连通，所述圆柱腔段的另一端与所述第一气体进口和所述第二气体进口相连通。6.根据权利要求1所述的比表面仪的混气装置，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭凌志，鲁毓柱，唐帅，邬宝峰，张福丽，
申请(专利权)人：北京精微高博仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：
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