过线轮快速拆装装置和多线切割机制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体晶体生产线切技术领域，具体而言，涉及一种过线轮快速拆装装置和多线切割机。过线轮快速拆装装置包括导轮，导轮包括轮盘和连接柱，连接柱设置在轮盘的中心；轮轴，轮轴与连接柱连接；至少一个波珠机构，波珠机构与轮轴可拆卸连接；波珠机构包括弹性件和滚珠，弹性件提供使滚珠抵紧连接柱的周向外壁的弹性力，以使得轮轴与连接柱锁紧。如此能够高效快速地完成对导轮的拆装。如此能够高效快速地完成对导轮的拆装。如此能够高效快速地完成对导轮的拆装。

【技术实现步骤摘要】
过线轮快速拆装装置和多线切割机


[0001]本技术涉及半导体晶体生产线切
，具体而言，涉及一种过线轮快速拆装装置和多线切割机。

技术介绍

[0002]碳化硅是继第一代半导体Si、第二代半导体GaAs之后发展起来的重要的第三代半导体材料，它具有宽禁带、高热导率、高击穿场强、高载流子饱、高抗辐射能力及良好的化学稳定性等的优越特性，因其本身具有的特性，第三代半导体技术应用将在节能减排、信息技术、国防科技三大领域催生上万亿元潜在市场，近年来迅速渗透到照明、电子电力器件、微波射频等领域的各个角落，市场规模快速提升，在新能源汽车、汽车灯照、通用照明、电动车、5G通讯应用等领域有着广泛的应用市场，将成为未来新能源发展的方向之一。
[0003]多线切割机作为常用的晶片切割设备，需要在切割后需要对设备及时保养。多线切割机的导轮件用于引导钢线的轨迹，设备保养时需要对导轮件进行维护，并及时更换状态不佳的导轮件。导轮件的工作异常将直接导致晶体报废，严重影响线切良率。
[0004]现有技术中导轮件采用使用凹槽卡扣式螺丝与连接轴固定。具体的，导轮件与连接轴更换时需要先螺纹拆卸螺栓并去除旧的导轮件、再将新导轮件通过螺栓紧固在连接轴上。多线切割机的导轮件数量众多，采用上述连接方式更换导轮件的方式，不但耗费人力巨大，还不能快速完成保养更换工作。

技术实现思路

[0005]本技术的目的包括，例如，提供了一种过线轮快速拆装装置和多线切割机，其能够高效快速地完成对导轮的拆装，同时节省人力，从而显著提高了导轮维护保养的效率，进而确保多线切割机能够高效、稳定地运行。
[0006]本技术的实施例可以这样实现：
[0007]第一方面，本技术提供一种过线轮快速拆装装置，包括：
[0008]导轮，所述导轮包括轮盘和连接柱，所述连接柱设置在所述轮盘的中心；
[0009]轮轴，所述轮轴与所述连接柱连接；
[0010]至少一个波珠机构，所述波珠机构与所述轮轴可拆卸连接；所述波珠机构包括弹性件和滚珠，所述弹性件提供使滚珠抵紧所述连接柱的周向外壁的弹性力，以使得所述轮轴与所述连接柱锁紧。
[0011]本方案的过线轮快速拆装装置包括导轮、轮轴和至少一个波珠机构。导轮通过波珠机构与轮轴紧固连接，以使的轮轴旋转时能够带动导轮同步转动。进一步的，波珠机构连接于轮轴上，波珠机构的滚珠在弹性件的弹性力作用下朝向导轮的连接柱外周面移动，以将滚珠抵持在连接柱外周上，从而实现了导轮与轮轴的紧固连接。相较于现有技术中，轮轴与导轮直接通过螺栓拧紧进行紧固而费时费力，本方案通过波珠机构借助弹性件的弹性力推动球体的运动，使得对轮轴和导轮顺利锁紧连接，如此实现了巧妙将固定螺栓连接方式
转换成波珠抵持方式，实现对导轮的快速拆装。另外至少一个波珠机构的设置，在保障导轮方便拆装的同时，还能够使得轮轴与导轮能够连接地更加紧密。同时，波珠机构与轮轴可拆卸连接，一方面便于波珠机构自身的装配和安装，另一方面也便于随时维护波珠机构以保障导轮与轮轴之间的稳定连接。这样的连接方式具有结构简单、操作方便，且省时省力，同时还能够基于现有的导轮结构进行改进，制作成本低，因此具有出众的经济效益。
[0012]在可选的实施方式中，所述波珠机构包括还包括本体，所述本体具有容纳槽；
[0013]所述弹性件设置在所述容纳槽中；
[0014]所述滚珠通过弹性件设置在所述容纳槽中，且所述弹性件提供使所述滚珠凸出所述容纳槽槽口的弹性力。
[0015]在可选的实施方式中，所述容纳槽包括第一槽体和第二槽体，所述第一槽体用于容纳弹性件，所述第二槽体用于容纳滚珠；
[0016]所述第二槽体的一端与所述第一槽体连接，另一端延伸至所述容纳槽槽口；
[0017]所述第二槽体的口径大于所述第一槽体的口径。
[0018]在可选的实施方式中，所述第一槽体的中轴线与所述第二槽体的中轴线保持共线。
[0019]在可选的实施方式中，所述第二槽体的深度大于或等于所述滚珠的直径。
[0020]在可选的实施方式中，所述弹性件为弹簧。
[0021]在可选的实施方式中，所述轮轴通过固定座与所述连接柱连接；
[0022]所述波珠机构与所述固定座螺纹连接，以靠近或远离所述连接柱。
[0023]在可选的实施方式中，沿连接柱周向方向，多个所述波珠机构均匀布置。
[0024]在可选的实施方式中，所述连接柱上设置有限位孔，所述波珠机构的所述滚珠能够嵌入所述限位孔中。
[0025]第二方面，本技术提供一种多线切割机，所述多线切割机包括前述实施方式中任一项所述的过线轮快速拆装装置。
[0026]本技术实施例的有益效果包括，例如：
[0027]本方案的过线轮快速拆装装置包括导轮、轮轴和波珠机构。导轮包括轮盘和连接柱，轮轴与连接柱连接。波珠机构的滚珠通过弹性件的弹性力抵持在导轮的连接柱外周面移动，以将滚珠抵持在连接柱外周上，从而实现了导轮与轮轴的紧固配合。相较于现有技术中轮轴与导轮采用螺栓拧紧导致导轮拆装费时费力的情况，本方案波珠机构推动球体的运动使轮轴和导轮顺利锁紧连接，巧妙地将固定螺栓连接转换成波珠抵持方式，实现对导轮进行快速拆装。这样的连接方式具有结构简单、操作方便，实现快速保养拆装工作。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0029]图1为现有技术中的导轮结构的结构示意图；
[0030]图2为本技术实施例的过线轮快速拆装装置的剖视图；
[0031]图3为本技术实施例的过线轮快速拆装装置的结构示意图；
[0032]图4为本技术实施例的过线轮快速拆装装置的另一视角的剖视图；
[0033]图5为本技术实施例的过线轮快速拆装装置的波珠机构的结构示意图。
[0034]图标：11
‑
导轮件；12
‑
连接轴；13
‑
连接孔；14
‑
螺栓；20
‑
过线轮快速拆装装置；21
‑
轮轴；100
‑
导轮；110
‑
轮盘；120
‑
连接柱；121
‑
限位孔；122
‑
切向过渡槽；300
‑
波珠机构；310
‑
弹性件；320
‑
滚珠；330
‑
本体；340
‑
容纳槽；341
‑
第一槽体；342
‑
第二槽体；343
‑
台阶部；400
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过线轮快速拆装装置，其特征在于，包括：导轮(100)，所述导轮(100)包括轮盘(110)和连接柱(120)，所述连接柱(120)设置在所述轮盘(110)的中心；轮轴(21)，所述轮轴(21)与所述连接柱(120)连接；至少一个波珠机构(300)，所述波珠机构(300)与所述轮轴(21)可拆卸连接；所述波珠机构(300)包括弹性件(310)和滚珠(320)，所述弹性件(310)提供使滚珠(320)抵紧所述连接柱(120)的周向外壁的弹性力，以使得所述轮轴(21)与所述连接柱(120)锁紧。2.根据权利要求1所述的过线轮快速拆装装置，其特征在于：所述波珠机构(300)包括还包括本体(330)，所述本体(330)具有容纳槽(340)；所述弹性件(310)设置在所述容纳槽(340)中；所述滚珠(320)通过弹性件(310)设置在所述容纳槽(340)中，且所述弹性件(310)提供使所述滚珠(320)凸出所述容纳槽(340)槽口的弹性力。3.根据权利要求2所述的过线轮快速拆装装置，其特征在于：所述容纳槽(340)包括第一槽体(341)和第二槽体(342)，所述第一槽体(341)用于容纳弹性件(310)，所述第二槽体(342)用于容纳滚珠(320)；所述第二槽体(342)的一端与所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈水阳，张洁，高辉，彭佳，
申请(专利权)人：湖南三安半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：