热处理装置及太阳能电池的制备设备制造方法及图纸

本申请公开了一种热处理装置及太阳能电池的制备设备，属于太阳能电池领域。一种热处理装置，用于太阳能电池的制备设备，该热处理装置包括：沿物料流动方向设置的进料腔室、工艺腔室和出料腔室；进料腔室的出料端与工艺腔室的进料端之间通过第一门阀相连，工艺腔室的出料端与出料腔室的进料端之间通过第二门阀相连；进料腔室、工艺腔室和出料腔室分别通过管路与抽真空装置连接，所述管路上设置有调节阀；工艺腔室通过气体输送管道与保护气体源连通，用于进料腔室中注入保护气体。本申请可以缓解当前太阳能电池的制备过程中，在空气氛围下进行固化或退火的热处理影响电池的问题，可以改善电池的性能。以改善电池的性能。以改善电池的性能。

【技术实现步骤摘要】
热处理装置及太阳能电池的制备设备


[0001]本申请属于太阳能电池制造
，涉及退火或固化热处理，具体涉及一种热处理装置及太阳能电池的制备设备。

技术介绍

[0002]太阳能电池行业近几年发展迅速，与传统的硅太阳能电池相比，晶体硅/非晶硅异质结(SHJ)太阳能电池因其能获得更高的开路电压和转换效率，具有光电转换效率高、温度系数小等优点，近年来国内主要光伏企业开始纷纷投资建设相关产线。异质结太阳能电池制备工艺简单，例如包括：制绒清洗，PECVD沉积非晶/微晶硅薄膜，PVD制备透明导电层，金属化制备电极，共四大步骤。目前，金属化制备电极主要包括两种方式，其中一种是采用丝网印刷低温银浆；在丝网印刷银浆后，需要对电池进行烘干，让银浆成型，然后对电池进行高温退火(固化)和大光强照射下的快速退火(LED退火)，使浆料中的有机物挥发，同时对PECVD沉积的非晶/微晶硅，以及PVD制备的透明导电薄膜进行退火恢复。该方式在提升浆料导电特性的同时，也提升了电池的整体性能。其中另一种是采用铜电镀方法电镀铜电极，在制备电极后，再进行高温退火和LED退火。
[0003]相关技术中，在丝网印刷完低温银浆后，进行烘烤和固化工艺，其都在开放式的退火炉中进行，并以传输带的方式传输，无法进行保护气体处理，隔绝氧气。也就是，目前的烘干固化和LED退火均是在大气氛围下完成的，这样，高温和氧气会使得银电极或者铜电极出现部分氧化，影响电极的导电特性，进而影响太阳能电池的性能。另外，高温和氧气还使得透明导电薄膜出现部分氧化，使得透明导电薄膜的方块电阻增加，影响太阳能电池的性能。

技术实现思路

[0004]本申请旨在至少在一定程度上解决上述相关技术中的技术问题之一。
[0005]为此，本申请的目的在于提供一种热处理装置及太阳能电池的制备设备，可以缓解当前太阳能电池的制备过程中，在空气氛围下进行固化或退火的热处理影响电池性能的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
[0007]本申请实施例提供了一种热处理装置，用于太阳能电池的制备设备，所述热处理装置包括：沿物料流动方向设置的进料腔室、工艺腔室和出料腔室；
[0008]所述进料腔室的出料端与所述工艺腔室的进料端之间通过第一门阀相连，所述工艺腔室的出料端与所述出料腔室的进料端之间通过第二门阀相连；
[0009]所述进料腔室、所述工艺腔室和所述出料腔室分别通过管路与抽真空装置连接，所述管路上设置有调节阀；
[0010]所述工艺腔室通过气体输送管道与保护气体源连通，用于向所述工艺腔室中通入保护气体。
[0011]另外，根据本申请的热处理装置，还可以具有如下附加的技术特征：
[0012]在其中的一些实施方式中，所述热处理装置还包括传输机构和载板，所述载板用于承载电池片，所述传输机构用于传输所述载板及设于所述载板上的电池片，以使电池片能够依次通过所述进料腔室、所述工艺腔室和所述出料腔室后进入下一工序。
[0013]在其中的一些实施方式中，所述进料腔室的进料端设有第三门阀，所述出料腔室的出料端设有第四门阀。
[0014]在其中的一些实施方式中，所述抽真空装置包括第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵，所述调节阀包括第一调节阀、第二调节阀和第三调节阀；
[0015]所述第一真空泵通过第一管路与所述进料腔室连通，所述第二真空泵通过第二管路与所述工艺腔室连通，所述第三真空泵通过第三管路与所述出料腔室连通；
[0016]所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路上分别设置有所述第一调节阀、所述第二调节阀和所述第三调节阀。
[0017]在其中的一些实施方式中，所述第一调节阀、所述第二调节阀和所述第三调节阀均为蝶阀。
[0018]在其中的一些实施方式中，所述工艺腔室包括多个工艺子腔室，相邻两个所述工艺子腔室之间通过门阀相连，各个所述工艺子腔室内的工艺参数和功能选择适于单独调控。
[0019]在其中的一些实施方式中，每个所述工艺子腔室内分别设有光源或加热部件中的一种或多种；
[0020]和/或，每个所述工艺子腔室内均设有温度传感器。
[0021]在其中的一些实施方式中，所述气体输送管道还与所述水汽供给装置连通，所述水汽供给装置包括储水槽，所述储水槽通过输入管道与所述气体输送管道连通，用于将所述气体输送管道中的至少部分保护气体注入至所述储水槽中；
[0022]所述储水槽还通过水汽输出管道与所述气体输送管道连通，用于将所述储水槽中的水汽或包含保护气体的水汽通过所述气体输送管道注入至所述工艺腔室中。
[0023]在其中的一些实施方式中，所述输入管道上设置有第一阀门，所述水汽输出管道上设置有第二阀门；
[0024]所述气体输送管道包括连接段，所述连接段位于用于与所述输入管道连接和用于与所述水汽输出管道连接之间，所述连接段上设置有第三阀门；
[0025]和/或，所述气体输送管道靠近所述保护气体源的一端设置有第四阀门。
[0026]本申请实施例还提供了一种太阳能电池的制备设备，其包括如前所述的热处理装置。
[0027]与现有技术相比，本技术的至少具有以下有益效果：
[0028]本申请实施例中，所提供的热处理装置包括进料腔室、工艺腔室和出料腔室，该进料腔室、工艺腔室和出料腔室分别与抽真空装置连接，可以分别使进料腔室、工艺腔室和出料腔室处于真空状态，并且工艺腔室与保护气体源连通，可以向工艺腔室中通入保护气体，从而可以使电池片在保护气体氛围下进行烘干、固化或退火等热处理工序，可避免与氧气接触，防止金属电极、TCO(透明导电薄膜)的氧化，有助于提升透明导电薄膜的导电特性，从而提升电池的性能。所提供的热处理装置在工艺腔室的两侧分别设置进料腔室和出料腔室，这样，可以尽可能的精确控制工艺腔室中各种保护气体的浓度，减少或避免电池片在进
入或离开工艺腔室时混入空气，保证工艺腔室中所需的保护气体氛围或真空要求。
[0029]本申请的太阳能电池的制备设备包括所述的热处理装置，因而至少具有所述的热处理装置的所有特征及优势，在此不再赘述。本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0030]图1为本申请实施例公开的热处理装置结构示意图。
[0031]附图标记说明：
[0032]100
‑
进料腔室；110
‑
第三门阀；
[0033]200
‑
工艺腔室；210
‑
第一门阀；220
‑
第二门阀；
[0034]300
‑
出料腔室；310
‑
第四门阀；
[0035]400
‑
抽真空装置；410
‑
第一真空泵；411
‑
第一调节阀；420
‑
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热处理装置，用于太阳能电池的制备设备，其特征在于，所述热处理装置包括：沿物料流动方向设置的进料腔室、工艺腔室和出料腔室；所述进料腔室的出料端与所述工艺腔室的进料端之间通过第一门阀相连，所述工艺腔室的出料端与所述出料腔室的进料端之间通过第二门阀相连；所述进料腔室、所述工艺腔室和所述出料腔室分别通过管路与抽真空装置连接，所述管路上设置有调节阀；所述工艺腔室通过气体输送管道与保护气体源连通，用于向所述工艺腔室中通入保护气体。2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括传输机构和载板，所述载板用于承载电池片，所述传输机构用于传输所述载板及设于所述载板上的电池片，以使电池片能够依次通过所述进料腔室、所述工艺腔室和所述出料腔室后进入下一工序。3.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述进料腔室的进料端设有第三门阀，所述出料腔室的出料端设有第四门阀。4.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述抽真空装置包括第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵，所述调节阀包括第一调节阀、第二调节阀和第三调节阀；所述第一真空泵通过第一管路与所述进料腔室连通，所述第二真空泵通过第二管路与所述工艺腔室连通，所述第三真空泵通过第三管路与所述出料腔室连通；所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路上分别设置有所述第一调节阀、所述第二调节阀和所述第三调节阀。5.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：董刚强，郁操，冉孝超，赵宇，王琦，姜昊，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：