一种真空气浮中轴结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种真空气浮中轴结构，轴套的外围固定安装至真空罐的外围，主轴的一端固定连接待测设备，中轴的另一端连接运动动力，待测设备位于真空罐内，运动动力位于真空罐外部，运动动力通过主轴带动待测设置旋转或轴向滑动，且轴套上设有进气孔，主轴外围与轴套内圈设有气浮间隙，气浮间隙的一个端口连通至真空罐，气浮间隙的另一个端口对空，外置输气设备通过进气孔向气浮间隙内填充压缩气介质。本实用新型专利技术所述的一种真空气浮中轴结构，抽真空设备通过第一吸气孔将气浮间隙内的压缩气介质抽出，防止气浮间隙内的压缩气介质导入真空罐内，保障了待测设备在真空罐内测试的环境稳定，提高测试精度。提高测试精度。提高测试精度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空气浮中轴结构


[0001]本技术属于设备真空测试领域，尤其是涉及一种真空气浮中轴结构。

技术介绍

[0002]在半导体生产领域、太空飞行器地面模拟领域，要在测试地模拟真空环境下实现待测部件的无摩擦轴向滑动或相对转动，以测试部件数据，现有技术是将待测设备放置到真空罐内，然后对真空罐进行抽真空，外置的传动部件对待测部件进行同步运动，此时传动轴需要穿过真空罐实现待测部件和外置传动部件的连接，而传动轴与真空罐之间的空隙会破坏真空罐的真空环境，同时传动轴与真空罐之间的支撑轴承存在摩擦，降低了测试精度。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种真空气浮中轴结构，以解决现有技术设备在真空环境下进行转动或轴向滑动测试时，外置传动设备对真空环境存在影响的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种真空气浮中轴结构，包括主轴及其外围设置轴套，轴套的外围固定安装至真空罐的外围，主轴的一端固定连接待测设备，中轴的另一端连接运动动力，待测设备位于真空罐内，运动动力位于真空罐外部，运动动力通过主轴带动待测设置旋转或轴向滑动，且轴套上设有进气孔，主轴外围与轴套内圈设有气浮间隙，气浮间隙的一个端口连通至真空罐，气浮间隙的另一个端口对空，外置输气设备通过进气孔向气浮间隙内填充压缩气介质，轴套上还设置吸气孔，抽真空设备通过第一吸气孔将气浮间隙内的压缩气介质抽出。
[0006]进一步的，所述轴套内圈沿轴向均布若干第一环形凸台，第一环形凸台的内径小于主轴的外径，且若干第一环形凸台的内圈直径由下至上依次减小，每个第一环形凸台内圈开设一个第一环形槽，每个第一环形槽通过一个吸气孔连通至抽真空设备。
[0007]进一步的，所述主轴的外围沿轴向均布若干第二环形凸台，第二环形凸台的外径小于轴套的内径，且若干第二环形凸台的内圈直径由下至上依次增大，轴套内圈沿轴向均布若干第二环形槽，每个第二环形凸台对应一个第二环形槽，每个第二环形槽通过一个吸气孔连通至抽真空设备。
[0008]相对于现有技术，本技术所述的一种真空气浮中轴结构具有以下有益效果：
[0009](1)本技术所述的一种真空气浮中轴结构，外置输气设备通过进气孔向气浮间隙内填充压缩气介质，形成主轴与轴套形成气浮轴承，降低主轴与轴套间的摩擦，轴套上有吸气孔，抽真空设备通过第一吸气孔将气浮间隙内的压缩气介质抽出，防止气浮间隙内的压缩气介质导入真空罐内，保障了待测设备在真空罐内测试的环境稳定，提高测试精度。
[0010](2)本技术所述的一种真空气浮中轴结构，通过抽真空设备的多方位抽取，实现气浮间隙与真空罐之间的真空密封，防止压缩气介质导入真空罐内。
附图说明
[0011]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0012]图1为本技术实施例所述的一种真空气浮中轴结构的结构示意图；
[0013]图2为本技术实施例所述的一种真空气浮中轴结构的剖面示意图。
[0014]附图标记说明：
[0015]1‑
主轴；2
‑
轴套；21
‑
吸气孔；22
‑
进气孔；3
‑
第一环形凸台；4
‑
第一环形槽。
具体实施方式
[0016]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0017]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0019]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0020]如图1
‑
2所示，一种真空气浮中轴结构，包括主轴1及其外围设置轴套2，轴套2的外围固定安装至真空罐的外围，轴套2与真空罐为相对固定状态，主轴1的一端固定连接待测设备，中轴的另一端连接运动动力，待测设备位于真空罐内，运动动力位于真空罐外部，运动动力通过主轴1带动待测设置旋转或轴向滑动，且轴套2上设有进气孔22，主轴1外围与轴套2内圈设有气浮间隙，气浮间隙的一个端口连通至真空罐，气浮间隙的另一个端口对空，外置输气设备通过进气孔22向气浮间隙内填充压缩气介质，形成主轴1与轴套2形成气浮轴承，降低主轴1与轴套2间的摩擦，轴套2上还设置吸气孔21，抽真空设备通过第一吸气孔21将气浮间隙内的压缩气介质抽出，防止气浮间隙内的压缩气介质导入真空罐内，保障了待测设备在真空罐内测试的环境稳定，提高测试精度。
[0021]为了实现气浮间隙与真空罐之间的真空密封，轴套2内圈与主轴1外围之间设置真空密封部，且真空密封部有多种实施方式，真空密封部的第一实施例是，在轴套2内圈沿轴向均布若干第一环形凸台3，第一环形凸台3的内径小于主轴1的外径，且如图2所示，若干第一环形凸台3的内圈直径由下至上依次减小，使得第一环形凸台3的内圈与主轴1外围之间
的间隙依次减小，每个第一环形凸台3内圈开设一个第一环形槽4，每个第一环形槽4通过一个吸气孔21连通至抽真空设备，通过抽真空设备的多方位抽取，实现气浮间隙与真空罐之间的真空密封，防止压缩气介质导入真空罐内。
[0022]真空密封部的第二实施例是主轴1的外围沿轴向均布若干第二环形凸台，第二环形凸台的外径小于轴套2的内径，且若干第二环形凸台的内圈直径由下至上依次增大，轴套2内圈沿轴向均布若干第二环形槽，每个第二环形凸台对应一个第二环形槽，每个第二环形槽通过一个吸气孔21连通至抽真空设备，通过抽真空设备的多方位抽取，实现气浮间隙与真空罐之间的真空密封，防止压缩气介质导入真空罐内。
[0023]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空气浮中轴结构，其特征在于：包括主轴(1)及其外围设置轴套(2)，轴套(2)的外围固定安装至真空罐的外围，主轴(1)的一端固定连接待测设备，中轴的另一端连接运动动力，待测设备位于真空罐内，运动动力位于真空罐外部，运动动力通过主轴(1)带动待测设置旋转或轴向滑动，且轴套(2)上设有进气孔(22)，主轴(1)外围与轴套(2)内圈设有气浮间隙，气浮间隙的一个端口连通至真空罐，气浮间隙的另一个端口对空，外置输气设备通过进气孔(22)向气浮间隙内填充压缩气介质，轴套(2)上还设置吸气孔(21)，抽真空设备通过第一吸气孔(21)将气浮间隙内的压缩气介质抽出。2.根据权利要求1所述的一种真空气浮中轴结...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑞杰，
申请(专利权)人：张瑞杰，
类型：新型
国别省市：