液体浓缩回收系统技术方案

本发明专利技术公开了一种液体浓缩回收系统，包括气体干燥机、倾斜密闭腔体、收集容器及泵浦。气体干燥机具有湿气入口及干气出口。倾斜密闭腔体具有干气入口、湿气出口、回流入口、回流出口及沟槽状流动床板。干气入口相对于湿气出口，并连接于气体干燥机的干气出口。湿气出口连接于气体干燥机的湿气入口。回流入口相对于回流出口，并邻接于湿气出口。回流出口邻接于干气入口。沟槽状流动床板设置于回流入口与回流出口之间。收集容器连接于倾斜密闭腔体的回流出口。泵浦连接于收集容器与倾斜密闭腔体的回流入口之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液体浓缩回收系统，特别涉及一种可提升浓缩回收效率 的液体浓缩回收系统。
技术介绍
一般来说，光致抗蚀剂已普遍应用于光电半导体工艺之中。在光电半导 体工艺中，光致抗蚀剂通常会被回收再利用，以降低制造成本。光致抗蚀剂回收再利用的品质大致上会由下列因素所影响(1 )在光致抗 蚀剂涂布工艺开始前，玻璃基板必须预先以与光致抗蚀剂具有相容性的化学 品(例如，EBR)来湿润；(2)在光致抗蚀剂涂布工艺结束后，承载玻璃基板的 承载平台必须使用与光致抗蚀剂具有相容性的清洗剂清洗；(3)光致抗蚀剂在 开封使用后会吸取空气中的水份。如上所述，在不同工艺阶段所收集到的未 完全使用的光致抗蚀剂可能会含有化学药品或水份，因而会影响光致抗蚀剂 是否能够被回收再生或回收再生的品质。因此，在光致抗蚀剂的回收再生过 程中，如何将不同工艺阶段所掺入的化学药品或水份彻底去除，已成为决定 光致抗蚀剂是否可以再生使用的重要关键。目前市场上并没有专门针对光电化学药品特性所开发的浓缩回收设备。 因此，光致抗蚀剂的回收再生^l能迁就目前市场上的浓缩回收i殳备。然而， 由于光致抗蚀剂具有热敏感、惧光、易吸附粉尘及水分等特性，故目前的浓 缩回收设备无法精密掌控浓缩作业的时间及效果，因而会影响到光致抗蚀剂 回收再生的处理时间及调配成本。此外，就目前市场上的浓缩回收设备而言，其皆是采用一大厢体来浓缩 被浓缩物。换句话说，被浓缩物是被置于大厢体之内，而干燥气体会与被浓 缩物接触，因而可将被浓缩物中的水份或溶剂移除。在此，干燥气体与被浓 缩物的接触可分为流动与不流动两种模式。就传统厢型固定床式冷风浓缩设备而言，干燥气体乃是接触非流动的被 浓缩物表面，以将被浓缩物中的水份或溶剂移除。然而，由于没有令被浓缩物产生流动来与干燥气体接触，故只有被浓缩物的表面会接触到用以吹除溶 剂或水份的干燥气体。因此，被浓缩物的表面往往容易形成干膜，因而使得 被浓缩物的浓缩均匀性、实际浓缩效率及浓缩作业时间均无法被精确控制。上述传统厢型固定床式冷风浓缩设备的例子可如中国台湾专利第471624号 所4皮露。此外，以传统厢型固定床式冷风浓缩设备实际测试，其对^1浓缩物 所提供的浓缩效率约为2.35g/min。就传统厢型流动床式冷风浓缩设备而言，其主要是在解决固定床式冷风 浓缩设备的浓缩均匀性的缺点。干燥气体会接触流动的被浓缩物表面，以增 加气液接触表面积。然而，由于被浓缩物与控制冷排及热排温度的装置皆是 位于同一厢体之内，故厢体内会随时保持气液相浓度平衡，因而无法进行有 效换气的浓缩作业。此外，传统厢型流动床式冷风浓缩设备，为解决干燥气 体只接触未流动的被浓缩物的表面以致形成表面干膜，因而使得被浓缩物的 浓缩均匀性、实际浓缩效率及浓缩作业时间无法一皮精确控制的问题。另外， 传统厢型流动床式冷风浓缩设备对被浓缩物所提供的浓缩效率约为 6.12g/min。有鉴于此，本专利技术提供一种液体浓缩回收系统，其可使欲被浓缩的液体 产生薄膜状流动并与用来吹除溶剂或水份的干燥气体接触，以及以连续循环 处理的方式来提升液体的浓缩回收效率。
技术实现思路
本专利技术基本上采用如下所详述的特征，来解决先前技术所遭遇的问题。 也就是说，本专利技术适用于光电半导体产业中的有机溶剂及化学品的回收再利 用工艺，并且包括气体干燥机，具有湿气入口及干气出口，用以收集湿气及 输出干气；至少一倾斜密闭腔体，具有至少一干气入口、湿气出口、回流入 口、回流出口及沟槽状流动床板，其中，该干气入口相对于该湿气出口，并 且连接于该气体干燥机的该干气出口 ，该湿气出口连接于该气体干燥机的该 湿气入口，该回流入口相对于该回流出口 ，并且邻4妄于该湿气出口，该回流 出口邻^接于该干气入口 ，该沟槽状流动床^反i殳置于该回流入口与该回流出口 之间，该气体干燥机所输出的干气经由该干气出口及该干气入口输送至该倾 斜密闭腔体之中，以及流经该倾斜密闭腔体的湿气经由该湿气出口及该湿气 入口输送至该气体干燥机之中；收集容器，连接于该倾斜密闭腔体的该回流出口，用以容纳液体；以及泵浦，连接于该收集容器与该倾斜密闭腔体的该 回流入口之间，其中，该收集容器中的该液体通过该泵浦的输送而经由该回 流入口输送至该倾斜密闭腔体中的该沟槽状流动床板之上，以及流经该沟槽 状流动床4反的该液体经由该回流出口而回流至该收集容器之中。同时，根据本专利技术的液体浓缩回收系统，还包括温度感测器，电性连接 于该气体干燥机，并且设置于该倾斜密闭腔体的该干气入口之中，用以感测 输送至该倾斜密闭腔体中的干气的温度。又在本专利技术中，该沟槽状流动床板具有多个槽谷及多个槽峰，该等槽谷 及该等槽峰交错排列，以及该液体流动于该等槽谷之中。又在本专利技术中，每一槽谷的深度、每一槽谷的宽度与每一槽峰的宽度的 比值为卜5: 3 8: 1~5。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施 例并配合附图做详细说明。附图说明图1显示本专利技术的第一实施例的液体浓缩回收系统的平面构造示意图: 图2显示根据图1的A-A剖面示意图； 图3显示根据图2的放大示意图；以及图4显示本专利技术的第二实施例的液体浓缩回收系统的平面构造示意图 附图标记说明100、 100， 液体浓缩回收系统111 湿气入口120 倾斜密闭腔体122~湿气出口124~回流出口125a 槽谷130 收集容器150 温度感测器161 第一干气入口163 第一回流入口165~第 一 沟槽状流动床板110 气体干燥才几112~干气出口121 干气入口123~回流入口125 沟槽状流动床板125b 槽峰140 泵浦160 第一倾斜密闭腔体 162 第一湿气出口 164 第一回流出口 170 第二倾斜密闭腔体171-第二干气入口 173 第二回流入口 175~第二沟槽状流动床板 190 第二温度感测器172-第二湿气出口 174-第二回流出口 180 第一温度感测器 S 液体具体实施例方式兹配合图式说明本专利技术的优选实施例。 第一实施例请参阅图1,本实施例的液体浓缩回收系统IOO主要包括有气体干燥机 110、倾斜密闭腔体120、收集容器130、泵浦140及温度感测器150。气体干燥机IIO具有湿气入口 lll及干气出口 112，其可用来收集湿气 (潮湿气体)及输出干气(千燥气体)。更详细的来说，气体干燥机110内可具有 能控制冷排温度的冷却装置(未显示)及能控制热排温度的加热装置(未显 示)。因此，当湿气经由湿气入口 111进入气体干燥机IIO之中后，冷却装置 可对湿气进行冷却除湿以形成干气，而干气随后即可经由干气出口 112输出。 此外，气体干燥机110内的加热装置还可对输出的干气进行加热，以使得输 出的干气能具有特定温度。倾斜密闭腔体120是倾斜于地表面，并且其具有干气入口 121、湿气出 口 122、回流入口 123、回流出口 124及沟槽状流动床板125。干气入口 121 是相对于湿气出口 122,并且干气入口 121是连接于气体干燥机110的干气 出口 112。湿气出口 122是连接于气体干燥机110的湿气入口 111。回流入 口 123是相对于回流出口 124，并且回流入口 123是邻4娄于湿气出口 122。 回流出口 124是邻接于千气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体浓缩回收系统，包括：　气体干燥机，具有湿气入口及干气出口，用以收集湿气及输出干气；　至少一倾斜密闭腔体，具有干气入口、湿气出口、回流入口、回流出口及沟槽状流动床板，其中，该干气入口相对于该湿气出口，并且连接于该气体干燥机的该干气出口，该湿气出口连接于该气体干燥机的该湿气入口，该回流入口相对于该回流出口，并且邻接于该湿气出口，该回流出口邻接于该干气入口，该沟槽状流动床板设置于该回流入口与该回流出口之间，该气体干燥机所输出的干气经由该干气出口及该干气入口输送至该倾斜密闭腔体之中，以及流经该倾斜密闭腔体的湿气经由该湿气出口及该湿气入口输送至该气体干燥机之中；　收集容器，连接于该倾斜密闭腔体的该回流出口，用以容纳液体；以及　泵浦，连接于该收集容器与该倾斜密闭腔体的该回流入口之间，其中，该收集容器中的该液体通过该泵浦的输送而经由该回流入口输送至该倾斜密闭腔体中的该沟槽状流动床板之上，以及流经该沟槽状流动床板的该液体经由该回流出口而回流至该收集容器之中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨炎胜，朱志弘，沈克鹏，郑承熙，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]