一种制备孔径可控、通孔阳极氧化铝膜的方法技术

本发明专利技术涉及阳极氧化铝膜的制备技术，具体为一种制备孔径可控、通孔阳极氧化铝膜的方法。本发明专利技术将带铝基底的阳极氧化铝膜在高氯酸和丙酮混合溶液中进行阳极电解处理，可在短时间内（２－３００ｓ）获得两端开口、孔径可控的阳极氧化铝膜，阳极氧化铝膜的顶端和底端孔径分别在１０－１００ｎｍ和５－２５ｎｍ范围内精确可控。将经阶梯降压法氧化带有铝基片的氧化铝膜置入高氯酸的丙酮溶液中，施加比成膜电压高５～１５Ｖ的电压，进行阳极电解处理，即可得到孔径可控、通孔阳极氧化铝膜。本发明专利技术可以分别控制阳极氧化铝膜顶端和底端的孔径，同时开孔和去除铝基板是一步完成，解决了目前制备通孔阳极氧化铝膜工艺繁琐、耗时、孔径难于控制等诸多问题。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制备孔径可控、通孔阳极氧化铝膜的方法，其特征在于，具体步骤如下：　　（１）对铝片退火处理，消除铝片表面的机械应力；　　（２）步骤（１）处理后的铝片去除表面油脂和氧化层；　　（３）步骤（２）处理后的铝片电化学抛光；　　（４）步骤（３）处理后的铝片作为阳极，以相同铝片作为阴极，采用直流恒压进行一次阳极氧化，一次阳极氧化时间为２－３小时，阳极氧化温度为５－２０℃，电解液为硫酸或草酸水溶液；硫酸溶液浓度为１０－２０ｗｔ％，电压为１０－３０Ｖ；草酸水溶液浓度范围为３－１０ｗｔ％，电压为４０－６０Ｖ；　　（５）步骤（４）处理后得到的氧化铝，在温度为６０－８０℃的条件下，在１．８－２．４ｗｔ％重铬酸和４－６ｗｔ％磷酸混合水溶液中，处理时间为３０－６０分钟，以除去氧化层；　　（６）步骤（５）处理后的铝片经去离子水清洗后，在步骤（４）相同条件下再次阳极氧化４－６小时；　　（７）步骤（６）处理后的氧化铝膜放入高氯酸的丙酮脱膜溶液中，施加高于成膜电压５－１５Ｖ的直流恒压，室温下进行阳极电解脱膜处理，去除铝基板和开孔是一步完成，最终得到去除铝基底的孔径可控的双通孔阳极氧化铝膜模板，所制备的阳极氧化铝膜的孔径在纳米范围内可控。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘畅，喻万景，侯鹏翔，成会明，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：发明
国别省市：89