一种多腔体化学气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多腔体化学气相沉积设备，其中，包括：箱体、尾气处理系统和活性气体罐，所述箱体内顶部呈间隔固定连接有两隔板，两所述隔板内部均滑动连接有活动板，两所述活动板下端均穿过隔板下端延伸至外部，且与箱体内底部相互贴合，两所述隔板中部均设置有第二螺纹杆，两所述第二螺纹杆下端均延伸至活动板内部，两所述第二螺纹杆外部均螺纹连接有第二螺纹块，两所述第二螺纹块外部均固定连接有固定块，两所述固定块下端均呈间隔固定连接有两连接杆，两所述连接杆下端固定连接有密封板。通过上述结构，利用活动板与密封板进行配合，可以保障隔板的密封性，并且利用旋钮可以随时打开两相连的腔室。随时打开两相连的腔室。随时打开两相连的腔室。

【技术实现步骤摘要】
一种多腔体化学气相沉积设备


[0001]本技术涉及化学气相沉积设备
，特别涉及一种多腔体化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]典型的化学气相沉积工艺是将基材暴露在一种或多种不同的前趋物下，在高温、等离子等反应条件下，让多种气相发生化学反应或/及化学分解，在基材表面产生被沉积的薄膜。相对于等离子技术，热丝法可制备大面积金刚石薄膜，且综合成本最低，具有良好的工业推广潜能。
[0003]现有的化学气相沉积设备有部分是将箱体分隔成三个腔室，在阻隔相连的腔室的密封性时，只是利用气缸带动活动板进行移动，活动板与隔板之间容易时气体进入，在使用的时候不方便，并且容易工作造成影响。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于，通过提供一种多腔体化学气相沉积设备，解决现有技术化学气相沉积腔室利用多个腔室进行工作时密封性缺乏保障的中技术问题。
[0005]为实现上述目的，提供一种多腔体化学气相沉积设备，包括：箱体、尾气处理系统和活性气体罐，所述箱体内顶部呈间隔固定连接有两隔板，两所述隔板内部均滑动连接有活动板，两所述活动板下端均穿过隔板下端延伸至外部，且与箱体内底部相互贴合，两所述隔板中部均设置有第二螺纹杆，两所述第二螺纹杆下端均延伸至活动板内部，两所述第二螺纹杆外部均螺纹连接有第二螺纹块，两所述第二螺纹块外部均固定连接有固定块，两所述固定块下端均呈间隔固定连接有两连接杆，两所述连接杆下端固定连接有密封板，所述密封板下表面与活动板上端固定连接，且侧壁与隔板的内壁滑动连接，利用隔板与活动板进行配合将箱体分隔成多个腔室，利用多个腔室进行化学气相沉积实验，可以保障沉积膜的质量；
[0006]所述箱体内壁固定连接有若干个混合箱，多个所述混合箱内部均设置有驱动电机，多个所述驱动电机输出端均固定连接有转轴，多个所述转轴外部均固定连接有搅拌杆，利用搅拌杆在混合箱内部进行旋转，在旋转的过程中使活性气体混合均匀；
[0007]所述箱体内底部固定连接有若干个壳体，多个所述壳体内壁均固定连接有两个固定板，两所述固定板下表面均转动连接有第一螺纹杆，多个所述壳体内底部均设置有双向电机，多个所述双向电机输出端均固定连接有第二锥齿轮，两所述第一螺纹杆外部均固定连接有第一锥齿轮，利用第一螺纹杆与支撑杆进行配合，可以带动支撑架进行移动，从而对置物板的固定进行调整，对基材的高度位置进行调整。
[0008]根据所述的一种多腔体化学气相沉积设备，所述活性气体罐下端连通有第二连接管，所述第二连接管侧壁均设置有竖管，且穿过箱体一侧延伸至内壁，且与混合箱相通，便于将活性气体罐中的气体输送到混合箱的内部。
[0009]根据所述的一种多腔体化学气相沉积设备，两所述第一螺纹杆外部均螺纹连接有第一螺纹块，所述第一螺纹块侧壁固定连接有支撑杆，所述支撑杆上端固定连接有支撑架，所述支撑架上端固定连接有置物板。
[0010]根据所述的一种多腔体化学气相沉积设备，所述置物板上四角均固定连接有套筒，多个所述套筒内部均设置有弹簧，多个所述弹簧上端均固定连接有拉杆，多个所述拉杆上端均穿过套筒上端延伸至外部，且固定连接有压板，利用拉杆与弹簧进行配合，可以压板对基材进行定位，避免置物板在移动的过程中发生滑动。
[0011]根据所述的一种多腔体化学气相沉积设备，所述箱体内壁固定连接有多个支架，多个所述支架侧壁均设置有热丝，多个所述混合箱下表面呈间隔设置有若干个喷头，用于对腔室内部进行加热。
[0012]根据所述的一种多腔体化学气相沉积设备，所述尾气处理系统右侧连通有真空泵，所述真空泵侧壁分别连通有第一连接管和第三连接管，所述第一连接管另一端与箱体内部多个腔室连通，所述第三连接管与箱体连通，且侧壁设置有回水阀，所述第一连接管侧壁设置有若干个阀门。
[0013]根据所述的一种多腔体化学气相沉积设备，所述真空泵侧壁连通有冷却水净化系统，所述冷却水净化系统左侧连通有换热器，所述换热器左侧连通有进水管，所述进水管与箱体连通，且侧壁设置有进水阀。
[0014]根据所述的一种多腔体化学气相沉积设备，所述箱体上端呈间隔设置有两个旋钮，两所述旋钮一端分别与两第二螺纹杆上端固定连接。
[0015]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
[0016]本技术的目的在于，提供一种多腔体化学气相沉积设备，主要创新点：
[0017]1、本技术利用第一螺纹杆与第一螺纹块在第一锥齿轮和第二锥齿轮配合下带动支撑杆进行移动，从而对置物板的高度进行调整，而且利用弹簧与拉杆进行配合，可以对基材进行定位，使置物板在移动的过程中使基材保持稳定，避免发生掉落。
[0018]2、本技术利用旋钮带动第二螺纹杆进行配合，在密封板和连接杆进行配合下带动活动板进行移动，从而使箱体内部多个腔室连通，并且利用密封板与隔板的内部贴合，可以保障隔板的密封性，避免水进入隔板的内部。
[0019]3、本技术利用驱动电机带动转轴进行旋转，从而带动搅拌杆进行旋转，使搅拌杆在旋转的过程中可以对混合箱内部的气体均匀混合。
附图说明
[0020]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明；
[0021]图1为本技术一种多腔体化学气相沉积设备的置物板立体图；
[0022]图2为本技术一种多腔体化学气相沉积设备的剖视图；
[0023]图3为本技术一种多腔体化学气相沉积设备的置物板剖视图；
[0024]图4为本技术图2中A处的放大图；
[0025]图5为本技术图2中B处的放大图；
[0026]图6为本技术图2中C处的放大图。
[0027]图例说明：
[0028]1、箱体；2、支架；3、置物板；4、支撑架；5、壳体；6、第一螺纹杆；7、进水阀；8、支撑杆；9、进水管；10、活动板；11、第一螺纹块；12、阀门；13、换热器；14、第一连接管；15、冷却水净化系统；16、双向电机；17、真空泵；18、尾气处理系统；19、回水阀；20、固定板；21、热丝；22、喷头；23、第二螺纹杆；24、活性气体罐；25、旋钮；26、第二连接管；27、混合箱；28、压板；29、套筒；30、弹簧；31、拉杆；32、驱动电机；33、搅拌杆；34、转轴；35、第一锥齿轮；36、第二锥齿轮；37、第二螺纹块；38、固定块；39、连接杆；40、密封板。
具体实施方式
[0029]本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0030]参照图1
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6，本技术实施例一种多腔体化学气相沉积设备，其包括：箱体1、尾气处理系统18和活性气体罐24，箱体1内顶部呈间隔固定连接有两隔板，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，包括：箱体(1)、尾气处理系统(18)和活性气体罐(24)，所述箱体(1)内顶部呈间隔固定连接有两隔板，两所述隔板内部均滑动连接有活动板(10)，两所述活动板(10)下端均穿过隔板下端延伸至外部，且与箱体(1)内底部相互贴合，两所述隔板中部均设置有第二螺纹杆(23)，两所述第二螺纹杆(23)下端均延伸至活动板(10)内部，两所述第二螺纹杆(23)外部均螺纹连接有第二螺纹块(37)，两所述第二螺纹块(37)外部均固定连接有固定块(38)，两所述固定块(38)下端均呈间隔固定连接有两连接杆(39)，两所述连接杆(39)下端固定连接有密封板(40)，所述密封板(40)下表面与活动板(10)上端固定连接，且侧壁与隔板的内壁滑动连接；所述箱体(1)内壁固定连接有若干个混合箱(27)，多个所述混合箱(27)内部均设置有驱动电机(32)，多个所述驱动电机(32)输出端均固定连接有转轴(34)，多个所述转轴(34)外部均固定连接有搅拌杆(33)；所述箱体(1)内底部固定连接有若干个壳体(5)，多个所述壳体(5)内壁均固定连接有两个固定板(20)，两所述固定板(20)下表面均转动连接有第一螺纹杆(6)，多个所述壳体(5)内底部均设置有双向电机(16)，多个所述双向电机(16)输出端均固定连接有第二锥齿轮(36)，两所述第一螺纹杆(6)外部均固定连接有第一锥齿轮(35)。2.根据权利要求1所述的一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，所述活性气体罐(24)下端连通有第二连接管(26)，所述第二连接管(26)侧壁均设置有竖管，且穿过箱体(1)一侧延伸至内壁，且与混合箱(27)相通。3.根据权利要求1所述的一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，两所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆桥宏，曹俊，韦小园，
申请(专利权)人：江苏籽硕科技有限公司，
类型：新型
国别省市：