一种单版清洗夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单版清洗夹具，涉及掩膜版加工夹具领域，包括支撑基座和固定柱，支撑基座包括第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆和第四支撑杆，第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆和第四支撑杆首尾连接形成口字形凹槽且凹槽内边缘倾斜设置用于承载MASK产品，避免长时间使用铺垫海绵而受到外界因素污染，而且口字形凹槽的四个顶角设置有固定柱能固定MASK产品，避免意外滑落致产品划伤或者撞角崩边。边。边。

【技术实现步骤摘要】
一种单版清洗夹具


[0001]本技术涉及掩膜版加工夹具领域，具体涉及一种单版清洗夹具。

技术介绍

[0002]根据显示行业的迅速发展，对MASK产品(即掩膜产品，下同)的洁净度要求也随之提高，尤其是LED、TFT、IC等行业，对于MASK产品精度要求已经达到NM级别，任何细微的颗粒和脏污附着在MASK图形上都会造成产品的不良甚至报废，为此，MASK产品在出货打包前必须保证清洗的洁净度，根据客户要求部分产品还要贴上光学膜，使MASK产品图形与外部环境隔绝避免受到污染，提高客户曝光使用的良率。另外，MASK制程后必须要在AOI扫描缺陷前先进行清洗，避免AOI扫描时由于脏污导致缺陷超标增加检查难度。
[0003]目前掩膜版行业对于MASK产品的清洗工艺常采用液体浸泡擦洗法，液体浸泡擦洗法是将MASK经过脱模槽清洗后使用DI水冲洗后，平放在铺垫海绵上不断使用擦拭海绵擦拭GLASS面，已达到清洁的目的。对于LCD和TP类MASK，其图形相对简单，洁净要求不高，此法能较容易达到要求，但高精度的IC产品，图形非常精细复杂，洁净要求高，脏污容易藏身于细小密集的图形中，使用的铺垫海绵长时间使用会受到外界因素污染，并且容易粘附颗粒状脏污，对清洗产品造成二次污染，影响产品的清洗效果和易造成产品划伤，在清洗的过程中由于脱膜液比较滑润，还经常出现MASK产品滑落致产品划伤或者撞角崩边。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种单版清洗夹具，该夹具由支撑基座和固定柱共同组成，通过在将支撑基座中设置口字形凹槽用于承载MASK产品，避免长时间使用铺垫海绵而受到外界因素污染，且口字形凹槽的四个顶角设置有固定柱也能固定MASK产品，避免意外滑落致产品划伤或者撞角崩边。
[0005]本技术通过下述技术方案实现：
[0006]一种单版清洗夹具，包括：
[0007]支撑基座，所述支撑基座中部设置有口字形凹槽，所述口字形凹槽的内表面倾斜设置；
[0008]固定柱，所述固定柱设置于所述口字形凹槽的四个顶角。
[0009]作为所述单版清洗夹具的进一步技术方案，所述支撑基座包括第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆和第四支撑杆，所述第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆和第四支撑杆依次首尾连接形成所述口字形凹槽，所述口字形凹槽的内表面与所述支撑基座底面的倾斜角度120
°
～150
°
，用于更好承载MASK产品。
[0010]作为所述单版清洗夹具的进一步技术方案，为了方便放置MASK产品，所述固定柱为棱柱，设置于所述口字形凹槽四个顶角的所述固定柱之间两两相对的面夹角为锐角。
[0011]作为所述单版清洗夹具的进一步技术方案，所述固定柱两两相对的面之间的夹角为40
°
～90
°
，进一步便于放置MASK产品。
[0012]作为所述单版清洗夹具的进一步技术方案，所述固定柱朝向所述口字形凹槽顶角的棱边处设置有避让圆弧，避免清洗MASK产品时撞角崩边。
[0013]作为所述单版清洗夹具的进一步技术方案，所述固定柱与所述第一支撑杆、所述第二支撑杆、所述第三支撑杆和所述第四支撑杆通过固定部可拆卸连接，用于适应不同规格的MASK产品。
[0014]作为所述单版清洗夹具的进一步技术方案，所述固定柱中心处设置固定孔,所述第一支撑杆的两端分别与所述第二支撑杆及所述第四支撑杆的一端通过所述固定孔连接，所述第三支撑杆的两端分别与所述第二支撑杆及所述第四支撑杆的另一端通过所述固定孔连接，通过更换不同规格的第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆和第四支撑杆用于适应不同规格的MASK产品。
[0015]作为所述单版清洗夹具的进一步技术方案，所述第一支撑杆、所述第二支撑杆、所述第三支撑杆和所述第四支撑杆的外表面包胶防滑橡胶，用于对放置的MASK产品增加摩擦阻力。
[0016]作为所述单版清洗夹具的进一步技术方案，所述固定柱中心处设置有锁紧旋钮，所述第一支撑杆、所述第二支撑杆、所述第三支撑杆和所述第四支撑杆均为固定伸缩杆，用于适应不同规格的MASK产品。
[0017]作为所述单版清洗夹具的进一步技术方案，所述第一支撑杆、所述第二支撑杆、所述第三支撑杆和所述第四支撑杆上均设置有标尺标记，便于匹配不同规格的MASK产品。
[0018]从以上技术方案可以看出，本申请提供的一种单版清洗夹具包括支撑基座和固定柱，支撑基座包括第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆和第四支撑杆，第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆和第四支撑杆首尾连接形成口字形凹槽且凹槽内边缘倾斜设置用于承载MASK产品，避免长时间使用铺垫海绵而受到外界因素污染，而且口字形凹槽的四个顶角设置有固定柱能固定MASK产品，避免意外滑落致产品划伤或者撞角崩边。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。在附图中：
[0020]图1为本申请实施例1提供的单版清洗夹具的俯视结构示意图；
[0021]图2为本申请实施例2提供的单版清洗夹具的爆炸视图；
[0022]图3为本申请实施例3提供的单版清洗夹具的结构示意图。
[0023]附图中标记及对应的零部件名称：
[0024]1‑
第一支撑杆，2
‑
第二支撑杆，3
‑
第三支撑杆，4
‑
第四支撑杆，5
‑
固定柱，6
‑
固定孔,7
‑
避让圆弧。
具体实施方式
[0025]下面将结合附图对本申请实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请实施例中的实
施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请实施例保护的范围。
[0026]在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0027]在本申请实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可更换连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单版清洗夹具，其特征在于，包括：支撑基座，所述支撑基座中部设置有口字形凹槽，所述口字形凹槽的内表面倾斜设置；固定柱(5)，所述固定柱(5)设置于所述口字形凹槽的四个顶角。2.根据权利要求1所述的一种单版清洗夹具，其特征在于，所述支撑基座包括第一支撑杆(1)、第二支撑杆(2)、第三支撑杆(3)和第四支撑杆(4)，所述第一支撑杆(1)、第二支撑杆(2)、第三支撑杆(3)和第四支撑杆(4)依次首尾连接形成所述口字形凹槽，所述口字形凹槽的内表面与所述支撑基座底面的倾斜角度120
°
～150
°
。3.根据权利要求2所述的一种单版清洗夹具，其特征在于，所述固定柱(5)为棱柱，设置于所述口字形凹槽四个顶角的所述固定柱(5)之间两两相对的面夹角为锐角。4.根据权利要求3所述的一种单版清洗夹具，其特征在于，所述固定柱(5)两两相对的面之间的夹角为40
°
～90
°
。5.根据权利要求3所述的一种单版清洗夹具，其特征在于，所述固定柱(5)朝向所述口字形凹槽顶角的棱边处设置有避让圆弧(7)。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志龙，杨文捷，
申请(专利权)人：成都路维光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：