本申请提供了一种化学气相沉积炉进气分布装置，属于化学气相沉积炉技术领域，以解决现有的化学气相沉积炉进气分布装置不具备气压过载保护功能，而且不能够根据需要对不同的气态原材料进行分批导入或者混合后同时送入的问题，包括第一连接罩，所述第一连接罩的下方连接有第一连接管，第一连接管的下方连接有进气盒，进气盒的前端连接有第二连接管，第二连接管的下方连接有第三连接管，所述第三连接管的下方连接有第二连接罩，所述第一连接罩的顶部和第二连接罩的底部均设置有进气口，所述第二连接罩的左侧设置有电机。本申请能够在气相沉积炉内气压过大时自动停止输气，同时能够对气体导入的方式进行调节。对气体导入的方式进行调节。对气体导入的方式进行调节。
【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉进气分布装置
[0001]本技术涉及化学气相沉积炉领域，具体而言，涉及一种化学气相沉积炉进气分布装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积炉是一种化工反应器，可应用于物质提纯和新晶体研制等领域，在进行化学气相沉积时需要使用进气分布装置，现有的进气分布装置在使用时还存在一些缺陷；
[0003]例如公开号CN212770949U公开了一种化学气相沉积炉进气分布装置，通过第一条形块、第一横杆、圆形块、伸缩弹簧和卡槽相互配合下，能够简单有效的对过滤箱进行固定和拆卸，便于使用者操作；上述装置虽然能够实现多层过滤和编写拆装的功能，但在实际使用时，不能够对进气的方式进行调节，不能够根据需要对不同的气态原材料进行分批导入或者混合后同时送入，不能对进气的比例进行调节；而且现有的化学气相沉积炉进气分布装置不能够在送入气体的同时限制气压和气体流量，不具备气压过载保护功能，安全性能低。
[0004]因此我们对此做出改进，提出一种化学气相沉积炉进气分布装置。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于：针对目前存在的现有的化学气相沉积炉进气分布装置不具备气压过载保护功能，而且不能够根据需要对不同的气态原材料进行分批导入或者混合后同时送入的问题。
[0006]为了实现上述专利技术目的，本技术提供了以下技术方案：
[0007]化学气相沉积炉进气分布装置，以改善上述问题。
[0008]本申请具体是这样的：
[0009]包括第一连接罩，所述第一连接罩的下方连接有第一连接管，第一连接管的下方连接有进气盒，进气盒的前端连接有第二连接管，第二连接管的下方连接有第三连接管，所述第三连接管的下方连接有第二连接罩，所述第一连接罩的顶部和第二连接罩的底部均设置有进气口，所述第二连接罩的左侧设置有电机，电机的输出轴上和第一连接罩的左侧均连接有同步轮，所述同步轮通过同步带与相邻同步轮相连，同步轮的内部连接有连接轴，所述连接轴的外侧固定连接有扇板，所述扇板和相邻扇板之间连接有填充板，所述同步轮的内壁上固定连接有第一楔块，所述第一楔块的表面固定连接有第一磁块，所述第三连接管的表面固定连接有第二楔块，所述第二楔块的表面固定连接有第二磁块。
[0010]作为本申请优选的技术方案，所述第一连接罩、第一连接管、进气盒、第二连接管、第三连接管和第二连接罩之间互相连通，第一连接罩和第二连接罩均为内部中空的球体。
[0011]作为本申请优选的技术方案，所述第一连接罩的前后两部分和第二连接罩的前后两部分的连接方式均为粘接，所述第一连接罩和第二连接罩的内壁与扇板和填充板的外壁
互相贴合。
[0012]作为本申请优选的技术方案，所述第一连接管、进气盒、第二连接管和第三连接管一体成型，所述第一连接管和第三连接管对称分布于进气盒的上下两侧。
[0013]作为本申请优选的技术方案，所述连接轴和同步轮之间存在空隙，所述同步轮和连接轴的中轴线共线。
[0014]作为本申请优选的技术方案，所述填充板在扇板的外侧等角度分布，填充板为磁性金属材质，连接轴为磁铁材质，所述连接轴和填充板之间为吸附连接。
[0015]作为本申请优选的技术方案，所述第一楔块和第一磁块在同步轮的内部等角度分布，所述第二楔块和第二磁块在第三连接管的外侧等角度分布，第二磁块和第一磁块相对面的磁极相同，所述同步轮通过第一磁块和第二磁块与第三连接管之间构成同步转动结构。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0017]在本申请的方案中：
[0018]1.通过设置的第一连接管、第三连接管、第一球罩和第二球罩，使得装置能够利用球罩内的扇板实现均匀输送和混合气体的功能，使得气体在进入气相沉积炉前可先进行混合，或者将其中一处球罩的进气口封堵，使得装置能够分批进气，提升了装置使用时的便捷性，解决了现有的进气分布装置在使用时不能够对进气方式进行调节的缺陷；
[0019]2.通过设置的第一磁块和第二磁块，使得装置在驱动扇板转动时，并不是刚性驱动，通过磁块和磁块之间的斥力驱动，使得装置在进气的过程中出现气压过大时，同步轮便难以继续转动，进而实现气压过载保护的功能，提升了装置使用时的安全性，并且该装置还能够通过磁性连接的连接轴使得扇板和填充板能够互相吸附，后续可以通过拆除球罩的前后两部分，使得装置能够对填充板安装的个数进行调节，使得扇板每转动四分之一圈，进入的气体量发生变化，实现了改变进气量的功能，使得装置能够对不同气态原材料的进气比例进行调节，解决了现有的进气分布装置在使用时不能对进气的比例进行调节的缺陷。
附图说明
[0020]图1为本技术的整体结构示意图；
[0021]图2为本技术的扇板和填充块连接结构示意图；
[0022]图3为本技术的第一连接罩和第二连接罩内部结构示意图；
[0023]图4为本技术的连接轴和同步轮连接结构示意图；
[0024]图5为图4中A处结构示意图。
[0025]图中标示：1、第一连接罩；2、第一连接管；3、进气盒；4、第二连接管；5、第三连接管；6、第二连接罩；7、进气口；8、连接轴；9、扇板；10、同步轮；11、填充板；12、电机；13、同步带；14、第一楔块；15、第一磁块；16、第二楔块；17、第二磁块。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]因此，以下对本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的部分实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征和技术方案可以相互组合。
[0029]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，这类术语仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]实施例1：
[0032]如图1
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图5所示，本实施方式提出一种化学气相沉积炉进气分布装置，包括第一连接罩1，第一连接罩1的下方连接有第一连本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉进气分布装置，包括第一连接罩(1)，其特征在于，所述第一连接罩(1)的下方连接有第一连接管(2)，第一连接管(2)的下方连接有进气盒(3)，进气盒(3)的前端连接有第二连接管(4)，第二连接管(4)的下方连接有第三连接管(5)，所述第三连接管(5)的下方连接有第二连接罩(6)，所述第一连接罩(1)的顶部和第二连接罩(6)的底部均设置有进气口(7)，所述第二连接罩(6)的左侧设置有电机(12)，电机(12)的输出轴上和第一连接罩(1)的左侧均连接有同步轮(10)，所述同步轮(10)通过同步带(13)与相邻同步轮(10)相连，同步轮(10)的内部连接有连接轴(8)，所述连接轴(8)的外侧固定连接有扇板(9)，所述扇板(9)和相邻扇板(9)之间连接有填充板(11)，所述同步轮(10)的内壁上固定连接有第一楔块(14)，所述第一楔块(14)的表面固定连接有第一磁块(15)，所述第三连接管(5)的表面固定连接有第二楔块(16)，所述第二楔块(16)的表面固定连接有第二磁块(17)。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉进气分布装置，其特征在于，所述第一连接罩(1)、第一连接管(2)、进气盒(3)、第二连接管(4)、第三连接管(5)和第二连接罩(6)之间互相连通，第一连接罩(1)和第二连接罩(6)均为内部中空的球体。3.根据权利要求2所述的一种化学...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨开平，陈国奇，杜智伟，吴文宝，
申请(专利权)人：四川巴顿博越智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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