一种硅片载片框及硅片镀膜系统技术方案

本发明专利技术公开了一种硅片载片框及硅片镀膜系统，属于硅片镀膜领域。一种硅片载片框，包括石墨舟和支撑板，还包括：第一支撑杆和第二支撑杆，用于设置在炉体中；第一滑套和第二滑套，分别滑动连接在所述的第一支撑杆和第二支撑杆上，其中所述第一滑套和第二滑套固定连接在所述的支撑板底侧，所述第一滑套和第二滑套上分别固定连接有第一滑块和第二滑块；本发明专利技术支撑板能够滑动，可以将支撑板滑动到炉体的开口处，然后将石墨舟放在支撑板上，已实现便于放置石墨舟，支撑板和石墨舟能够往复的运动，实现汽相与硅片更有效地接触，进一步提高沉积镀膜效果。膜效果。膜效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片载片框及硅片镀膜系统


[0001]本专利技术涉及硅片镀膜
，尤其涉及一种硅片载片框及硅片镀膜系统。

技术介绍

[0002]太阳电池是利用光生伏特效应，把光能直接转换成电能的一种器件，硅太阳能电池实际生产中均采用P型硅片，因此需要形成N型层才能得到PN结，这通常是通过在高温条件下利用磷源扩散来实现的。这种扩散工艺包括两个过程：首先是硅片表面含磷薄膜层的沉积，然后是在含磷薄膜中的磷在高温条件下往P型硅里的扩散。
[0003]在高温条件下进行扩散的时，常用的是真空高温扩散炉，在真空高温扩散炉里，在对炉体进行持续抽真空，保持一定的真空度条件下，向炉体内充入汽相的POCL3或PBr3首先在表面形成P2O5；然后，其中的磷在高温作用下往硅片里扩散沉积镀膜。
[0004]现有的硅片进行沉积镀膜时，多是采用石墨舟放置硅片，然后直接放入炉体中，一方面，炉体具有较高的温度，当需要将石墨舟放入炉体深处时，不便于取出，另外一方面，现有的石墨舟直接放入炉体中位置始终保持不动的，充入汽相的POCL3与石墨舟中的硅片接触均匀性有待进一步提升，沉积效率有待进一步提升。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是为了解决现有技术中不便于取放石墨舟和石墨舟位置不变，可能会存在硅片不同部位汽相的POCL3的量多或少，可能存在分布不均匀的情况，POCL3与石墨舟中的硅片接触的均匀性不佳的问题，而提出的一种硅片载片框及硅片镀膜系统。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种硅片载片框，包括石墨舟和支撑板，还包括：第一支撑杆和第二支撑杆，用于设置在炉体中；第一滑套和第二滑套，分别滑动连接在所述的第一支撑杆和第二支撑杆上，其中所述第一滑套和第二滑套固定连接在所述的支撑板底侧，所述第一滑套和第二滑套上分别固定连接有第一滑块和第二滑块；所述第一支撑杆中开设有第一中空腔，所述第一中空腔中滑动连接有带有第一密封板的第一推动杆，所述第一推动杆与所述的第一滑块固定相连，所述第一密封板、第一推动杆和第一滑块上开设有连通的第一通气孔；所述第二支撑杆中开设有第二中空腔，所述第二中空腔中滑动连接有带有第二密封板的第二推动杆，所述第二推动杆与所述的第二滑块固定相连，所述第二密封板、第二推动杆和第二滑块上开设有相互连通的第二通气孔；U型中空卡杆，固定连接在支撑板上，所述石墨舟卡在所述的U型中空卡杆上，其中所述第一通气孔两端分别与第一中空腔和U型中空卡杆连通，所述第二通气孔两
端分别与第二中空腔和U型中空卡杆连通；进气管，固定连接在所述的第一支撑杆上，且进气管与所述的第一中空腔连通；排气管，固定连接在所述的第二支撑杆上，且排气管与所述的第二中空腔连通。
[0007]为了控制进气管向第一中空腔供气，优选地，所述进气管上连接有控制阀。
[0008]为了实现第一通气孔到达预设的压力后开启，更进一步地，所述第一通气孔上设有压力阀。
[0009]为了实现第一推动杆的复位，优选地，所述第一推动杆上套有弹簧，所述弹簧两端分别与第一密封板和第一中空腔的内壁相连。
[0010]为了便于第一滑块和第二滑块稳定的在第一支撑杆和第二支撑杆上滑动，优选地，所述第一支撑杆和第二支撑杆上均开设有与第一滑块和第二滑块对应的滑槽。
[0011]为了实现向进气管供气，优选地，还包括气体发生套，用于套在所述炉体的端头，所述气体发生套用于盛放蒸发液体，所述气体发生套排气端与所述的进气管相连，所述气体发生套的回流端与所述的排气管相连。
[0012]为了实现气体回流，进一步地，所述进气管上固定套接有加热器，所述排气管上固定套接有冷凝器，所述进气管和排气管上均连接有单向阀。
[0013]为了便于夹紧石墨舟，优选地，所述U型中空卡杆两端侧壁通过夹紧弹簧连接有夹紧片，所述夹紧片用于夹紧所述的石墨舟。
[0014]硅片镀膜系统，包括支架，所述支架中固定连接有炉体，所述炉体一端固定连接有汽相管，所述炉体另一端盖有盖门，还包括所述的硅片载片框，所述第一支撑杆和第二支撑杆固定连接在支架上，且所述的第一支撑杆和第二支撑杆插于所述的炉体中。
[0015]优选地，所述气体发生套固定套接在炉体的汽相管的一端，所述加热器和冷凝器分别位于支架的两侧。
[0016]与现有技术相比，本专利技术提供了一种硅片载片框及硅片镀膜系统，具备以下有益效果：1、该硅片载片框及硅片镀膜系统，通过支撑板能够滑动，可以将支撑板滑动到炉体的开口处，然后将石墨舟放在支撑板上，已实现便于放置石墨舟。
[0017]2、该硅片载片框及硅片镀膜系统，通过推动带有第一密封板的第一推动杆进行移动，从而第一推动杆通过第一滑块带动支撑板及石墨舟进行移动，在放置石墨舟的时候，可以推动支撑板位于炉体的开口处，当压力达到一定的时候，气体进入到第一通气孔、U型中空卡杆和第二通气孔并回流，此时在弹簧的作用下，推动第一推动杆归位，从而实现带动支撑板和石墨舟进行往复的运动，实现汽相与硅片更有效地接触，进一步提高沉积镀膜效果。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的硅片载片框的结构示意图；图2为本专利技术的硅片载片框的第一支撑杆的剖面结构示意图；图3为本专利技术的硅片载片框的第二支撑杆的剖面结构示意图；图4为本专利技术的硅片载片框的图1中A处的结构示意图；图5为本专利技术的硅片载片框的U型中空卡杆的局部剖面结构示意图；图6为本专利技术的硅片载片框的U型中空卡杆的俯视结构示意图；
图7为本专利技术的硅片载片框的图6中B处的结构示意图；图8为本专利技术的硅片载片框的图7中C处的结构示意图；图9为本专利技术的硅片镀膜系统的炉体进气侧结构示意图；图10为本专利技术的硅片镀膜系统的炉体内部结构示意图；图11为本专利技术的硅片镀膜系统的炉体的盖门侧结构示意图。
[0019]图中：1、支撑板；2、石墨舟；3、第一支撑杆；301、第一中空腔；302、第一密封板；303、第一推动杆；304、第一通气孔；305、进气管；306、加热器；4、第二支撑杆；401、第二密封板；402、第二中空腔；403、第二推动杆；404、第二通气孔；405、排气管；406、冷凝器；5、滑槽；6、第二滑套；7、U型中空卡杆；701、中空孔；702、夹紧片；703、夹紧弹簧；704、夹紧槽；705、抵紧杆；8、扇叶；9、转轴；10、叶片；11、第一滑套；12、第一滑块；13、第二滑块；14、气体发生套；15、炉体；17、支架；18、汽相管；19、盖门；20、连接杆；21、驱动电机；22、电动伸缩杆。
具体实施方式
[0020]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]实施例一：参照图1
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图4，一种硅片载片框，包括石墨舟2和支撑板1，还包括：第一支撑杆3和第二支撑杆4，用于设置在炉体15中，第一支撑杆3和第二支撑杆4可插于炉体15中，在进行使用的时候，将第一支撑杆3和第二支撑杆4的两本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片载片框，包括石墨舟（2）和支撑板（1），其特征在于，还包括：第一支撑杆（3）和第二支撑杆（4），用于设置在炉体（15）中；第一滑套（11）和第二滑套（6），分别滑动连接在所述的第一支撑杆（3）和第二支撑杆（4）上，其中所述第一滑套（11）和第二滑套（6）固定连接在所述的支撑板（1）底侧，所述第一滑套（11）和第二滑套（6）上分别固定连接有第一滑块（12）和第二滑块（13）；所述第一支撑杆（3）中开设有第一中空腔（301），所述第一中空腔（301）中滑动连接有带有第一密封板（302）的第一推动杆（303），所述第一推动杆（303）与所述的第一滑块（12）固定相连，所述第一密封板（302）、第一推动杆（303）和第一滑块（12）上开设有连通的第一通气孔（304）；所述第二支撑杆（4）中开设有第二中空腔（402），所述第二中空腔（402）中滑动连接有带有第二密封板（401）的第二推动杆（403），所述第二推动杆（403）与所述的第二滑块（13）固定相连，所述第二密封板（401）、第二推动杆（403）和第二滑块（13）上开设有相互连通的第二通气孔（404）；U型中空卡杆（7），固定连接在支撑板（1）上，所述石墨舟（2）卡在所述的U型中空卡杆（7）上，其中所述第一通气孔（304）两端分别与第一中空腔（301）和U型中空卡杆（7）连通，所述第二通气孔（404）两端分别与第二中空腔（402）和U型中空卡杆（7）连通；进气管（305），固定连接在所述的第一支撑杆（3）上，且进气管（305）与所述的第一中空腔（301）连通；排气管（405），固定连接在所述的第二支撑杆（4）上，且排气管（405）与所述的第二中空腔（402）连通。2.根据权利要求1所述的一种硅片载片框，其特征在于，所述进气管（305）上连接有控制阀。3.根据权利要求2所述的一种硅片载片框...

【专利技术属性】
技术研发人员：丰平，赵杰，
申请(专利权)人：江苏龙恒新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：