一种晶圆理片装置制造方法及图纸

本申请公开了一种晶圆理片装置，其特征在于，包括：支撑模块，支撑模块具有花篮支撑单元和晶圆支撑单元，晶圆支撑单元穿过花篮底部对花篮中的晶圆进行支撑；升降模块，升降模块包括转轴，通过调节升降模块升降，可使转轴与晶圆的侧边接触或分离；驱动模块，与升降模块的转轴相连，驱动模块用于驱动升降模块的转轴进行转动；其中，升降模块的转轴的直径小于晶圆的V型口的宽度。驱动模块驱动转轴转动，通过调节升降模块使转轴与晶圆的侧边相接触，转轴带动晶圆旋转直至转轴卡入晶圆的V型口中，从而使多个晶圆的V型口沿转轴对齐，该晶圆理片装置可实现V型口晶圆的快速理片，进而提升生产效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆理片装置


[0001]本技术涉及晶圆理片
，更具体地，涉及一种晶圆理片装置。

技术介绍

[0002]随着发光二极管(Light Emitting Diode，LED)在显示和照明领域的广泛应用，发光二极管的市场需求数量呈现几何级数增加，这对发光二极管的生产效率和生产成本提出了更高要求，随着发光二极管不断向小型化发展，要求同样尺寸的晶圆产出的管芯数量越多越好，在这种情况下同样大小的V型口晶圆要比平边晶圆可以生产更多的管芯。
[0003]根据发光二极管的生产工艺，目前都是采用机器手臂进行抓取晶圆，因此需要把晶圆的V型口整理在同一方向方便机械手臂进行取片。
[0004]现有的设备可以对平边晶圆进行整理，但是无法对V型口晶圆进行整理，期待进一步改进晶圆理片装置，以实现对V型口晶圆的整理，提升生产效率。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种晶圆理片装置，以实现V型口晶圆的快速理片，提升生产效率。
[0006]本技术提供一种晶圆理片装置，其特征在于，包括：支撑模块，所述支撑模块具有花篮支撑单元和晶圆支撑单元，所述晶圆支撑单元穿过花篮底部对所述花篮中的晶圆进行支撑；升降模块，所述升降模块包括转轴，通过调节所述升降模块升降，可使所述转轴与所述晶圆的侧边接触或分离；驱动模块，与所述升降模块的转轴相连，所述驱动模块用于驱动所述升降模块的转轴进行转动；其中，所述升降模块的转轴的直径小于所述晶圆的V型口的宽度。
[0007]优选地，调节所述升降模块使所述转轴与晶圆的侧边相接触，所述驱动模块驱动所述转轴转动，所述转轴带动晶圆旋转直至所述转轴卡入晶圆的V型口中，使多个晶圆的V型口沿所述转轴对齐。
[0008]优选地，所述花篮支撑单元包括：底板；支脚，设置于所述底板的下表面，所述支脚支撑所述底板使所述底板悬空；第一支撑板，位于所述底板的上表面，两个所述第一支撑板对称设置于所述底板的两侧边，所述第一支撑板具有卡槽以固定所述花篮的底部。
[0009]优选地，两个所述第一支撑板相对的一侧还设置有台阶，所述台阶与所述花篮的底部相对应，以将所述花篮沿垂直所述转轴长度方向进行固定。
[0010]优选地，所述晶圆支撑单元包括：支撑架，所述支撑架位于所述底板上，两个所述支撑架相对设置，所述支撑架的位置与所述花篮相对应；多根支撑杆，多根所述支撑杆位于两个所述支撑架之间，多根所述支撑杆平行排列并形成圆弧形的支撑面以支撑所述晶圆的侧边。
[0011]优选地，所述升降模块包括：滑台，所述滑台具有与所述第一支撑板固定连接的固定块和可相对所述固定块进行上下滑动的移动块；连接板，所述连接板的一端与所述滑台
的移动块的下端相连；升降板，位于所述底板的上方，所述底板具有第一通孔，所述连接板的另一端从所述第一通孔中穿过并与所述升降板的下表面相连，所述升降板还具有第二通孔，所述第二通孔供所述底板上的支撑架穿过；第二支撑板，位于所述升降板的上表面，两个所述第二支撑板相对设置，两个所述第二支撑板位于两个所述支撑架的外侧；转轴，所述转轴的两端通过轴承与所述第二支撑板相连，所述转轴与所述支撑杆平行。
[0012]优选地，所述连接板与所述升降板之间还设置有转接板，所述转接板具有预设厚度，以调节所述升降板与所述底板之间的距离。
[0013]优选地，所述驱动模块包括：电机；固定板，所述固定板将所述电机固定在所述升降板上；联轴器，所述联轴器将所述电机与所述转轴相连。
[0014]优选地，所述转轴的直径为2.5mm至3.2mm。
[0015]优选地，所述转轴位于所述晶圆圆心的正下方。
[0016]优选地，所述升降模块具有蜗轮蜗杆、剪叉式升降机或纵向滑台中的至少一种结构，以实现所述转轴的升降。
[0017]本技术的有益效果：
[0018]本技术提供的晶圆理片装置，通过特定的转轴尺寸和支撑模块设计，可以把多个晶圆的V型口整理至统一方向，实现电动整理，提高生产效率，且对作业员的操作熟练程度要求低，提高了人机比，降低了人力成本投入，通过整理晶圆的V型口至统一方向可方便后续机台自动手臂夹取晶圆，进一步提高整体的生产效率。
[0019]进一步地，该晶圆理片装置结构简单可靠，成本低廉且易于制造，且使用便捷。
附图说明
[0020]通过以下参照附图对本技术实施例的描述，本技术的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚。
[0021]图1示出本技术实施例的晶圆理片装置的立体示意图；
[0022]图2示出本技术实施例的晶圆理片装置与花篮的组合示意图；
[0023]图3示出本技术实施例的晶圆理片装置的晶圆支撑单元的示意图；
[0024]图4示出本技术实施例的晶圆理片装置中晶圆支撑单元与升降模块的示意图；
[0025]图5示出本技术实施例的晶圆理片装置中升降模块与驱动模块的示意图；
[0026]图6示出本技术实施例的晶圆理片装置部分结构的示意图；
[0027]图7示出本技术实施例的晶圆理片装置的俯视图；
[0028]图8示出本技术实施例的晶圆理片装置的截面示意图。
具体实施方式
[0029]以下将参照附图更详细地描述本技术的各种实施例。在各个附图中，相同的元件采用相同或类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。
[0030]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0031]图1示出本技术实施例的晶圆理片装置的立体示意图；该晶圆理片装置包括：
支撑模块100、升降模块200和驱动模块300，其中，支撑模块100包括花篮支撑单元110和晶圆支撑单元120，花篮支撑单元110用于支撑承载有晶圆的花篮，晶圆支撑单元120用于穿过花篮底部，支撑花篮中的晶圆，从而使花篮中的晶圆的下半部分与花篮相分离，减少晶圆与花篮的接触面积和摩擦力，使晶圆可进行转动。升降模块200例如包括滑台210和与滑台210相连的转轴220，通过滑台210可调节转轴220的高度，从而使转轴220与晶圆的侧边接触或分离，进一步地，当转轴220与晶圆的侧边相接触时，通过转动转轴220，利用转轴220与晶圆侧边之间的摩擦力可带动晶圆进行旋转。驱动模块300与升降模块200中的转轴220相连，驱动模块300可驱动转轴220进行转动，从而带动与转轴220接触的晶圆进行转动，其中，转轴220的直径例如小于晶圆的V型口的宽度，使得转轴220可卡入晶圆的V型口中，转轴220可带动晶圆进行旋转直至转轴220卡入晶圆的V型口中，这样花篮中的多个晶圆的V型口即可沿转轴220的轴向对齐，完成对齐后调节滑台210使转轴220下降并与晶圆分离，此时可将花篮与该晶圆理片装置分离，其花篮中晶圆已完成理片，其V型口已经对齐。具体地，转轴220的直径例如为2.5mm至3.2mm，转轴220位于晶圆圆心的正下方。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆理片装置，其特征在于，包括：支撑模块，所述支撑模块具有花篮支撑单元和晶圆支撑单元，所述晶圆支撑单元穿过花篮底部对所述花篮中的晶圆进行支撑；升降模块，所述升降模块包括转轴，通过调节所述升降模块升降，可使所述转轴与所述晶圆的侧边接触或分离；驱动模块，与所述升降模块的转轴相连，所述驱动模块用于驱动所述升降模块的转轴进行转动；其中，所述升降模块的转轴的直径小于所述晶圆的V型口的宽度。2.根据权利要求1所述的晶圆理片装置，其特征在于，调节所述升降模块使所述转轴与晶圆的侧边相接触，所述驱动模块驱动所述转轴转动，所述转轴带动晶圆旋转直至所述转轴卡入晶圆的V型口中，使多个晶圆的V型口沿所述转轴对齐。3.根据权利要求1所述的晶圆理片装置，其特征在于，所述花篮支撑单元包括：底板；支脚，设置于所述底板的下表面，所述支脚支撑所述底板使所述底板悬空；第一支撑板，位于所述底板的上表面，两个所述第一支撑板对称设置于所述底板的两侧边，所述第一支撑板具有卡槽以固定所述花篮的底部。4.根据权利要求3所述的晶圆理片装置，其特征在于，两个所述第一支撑板相对的一侧还设置有台阶，所述台阶与所述花篮的底部相对应，以将所述花篮沿垂直所述转轴长度方向进行固定。5.根据权利要求3所述的晶圆理片装置，其特征在于，所述晶圆支撑单元包括：支撑架，所述支撑架位于所述底板上，两个所述支撑架相对设置，所述支撑架的位置与所述花篮相对应；多根支撑杆，多根所述支撑杆位于两个所述支撑架之间，多根所述支撑杆平行排列并形...

【专利技术属性】
技术研发人员：束伟，陶胜，蒋敏，葛银良，陈挺，
申请(专利权)人：杭州士兰明芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：