换靶装置和镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种换靶装置和镀膜设备。换靶装置包括主架体、换靶平台以及驱动组件；换靶平台与主架体可转动地连接，换靶平台用于容置阴极组件；驱动组件与主架体连接，且与换靶平台传动连接，驱动组件用于驱动换靶平台相对于主架体转动，以使得换靶平台具备装卸阴极组件的第一位置，以及更换阴极组件的靶材的第二位置。该镀膜设备通过采用换靶装置进行换靶操作，能够简化换靶的步骤，从而能够提高换靶的效率。从而能够提高换靶的效率。从而能够提高换靶的效率。

【技术实现步骤摘要】
换靶装置和镀膜设备


[0001]本技术涉及镀膜
，具体而言，涉及一种换靶装置和镀膜设备。

技术介绍

[0002]镀膜生产中，镀膜设备根据生产需要须经常更换靶材，而现有的更换靶材的方式需要多个工作人员操作多台设备进行，从而存在换靶步骤复杂，且换靶效率低的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种换靶装置和镀膜设备，其能够简化换靶的步骤，从而能够提高换靶的效率。
[0004]本技术的实施例是这样实现的：
[0005]第一方面，本技术提供一种换靶装置，换靶装置包括主架体、换靶平台以及驱动组件；
[0006]换靶平台与主架体可转动地连接，换靶平台用于容置阴极组件；
[0007]驱动组件与主架体连接，且与换靶平台传动连接，驱动组件用于驱动换靶平台相对于主架体转动，以使得换靶平台具备装卸阴极组件的第一位置，以及更换阴极组件的靶材的第二位置。
[0008]在可选的实施方式中，换靶平台具备容置阴极组件的安装腔。
[0009]在可选的实施方式中，安装腔内设置有多个连接件，多个连接件均用于与阴极组件连接。
[0010]在可选的实施方式中，驱动组件包括驱动电机以及传动件；
[0011]沿换靶平台的转动轴线方向，驱动电机及传动件连接于主架体的同一端，且传动件传动连接驱动电机及换靶平台。
[0012]在可选的实施方式中，第一位置与第二位置的角度差为180
°
。
[0013]在可选的实施方式中，换靶装置还包括与主架体连接的吹气回水管路，沿换靶平台的转动轴线方向，吹气回水管路连接于主架体的一端。
[0014]在可选的实施方式中，换靶装置还包括与主架体连接的限位件，限位件用于限制换靶平台的转动。
[0015]在可选的实施方式中，限位件包括与主架体连接的限位台以及限位销；
[0016]换靶平台开设有限位孔；限位销与限位台可活动地连接，且限位销用于在换靶平台处于第一位置或第二位置时，与限位孔配合。
[0017]在可选的实施方式中，换靶平台开设有第一限位孔及第二限位孔；第一限位孔及第二限位孔相对于换靶平台的转动轴线对称设置。
[0018]第二方面，本技术提供一种镀膜设备，镀膜设备包括上述的换靶装置。
[0019]本技术实施例的有益效果包括:
[0020]该换靶装置包括主架体、换靶平台以及驱动组件；换靶平台与主架体可转动地连
接，换靶平台用于容置阴极组件；驱动组件与主架体连接，且与换靶平台传动连接，驱动组件用于驱动换靶平台相对于主架体转动，以使得换靶平台具备装卸阴极组件的第一位置，以及更换阴极组件的靶材的第二位置。
[0021]由此，镀膜设备通过采用该换靶装置进行换靶操作，能够在换靶的过程中，通过换靶平台起到承载并调整阴极组件的位置的作用，进而能够减少换靶过程中的设备，并且能够减少换靶操作所需的工作人员的数量，简化换靶的操作步骤，从而能够提高换靶的效率，进而能够提高镀膜设备的工作效率。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0023]图1为本技术实施例中换靶装置第一视角的结构示意图；
[0024]图2为本技术实施例中换靶装置第二视角的结构示意图；
[0025]图3为本技术实施例中阴极组件及换靶装置的结构示意图；
[0026]图4为图1中A处的局部示意图；
[0027]图5为本技术实施例中限位台及限位销的结构示意图。
[0028]图标:100
‑
换靶装置；110
‑
主架体；120
‑
换靶平台；130
‑
驱动组件；10
‑
阴极组件；121
‑
安装腔；122
‑
连接件；123
‑
开口；131
‑
驱动电机；132
‑
传动件；140
‑
吹气回水管路；160
‑
限位件；161
‑
限位台；162
‑
限位销；124
‑
限位孔；111
‑
滚轮；112
‑
物料箱。
具体实施方式
[0029]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0030]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0032]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0033]此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0034]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0035]请参照图1
‑
图4，本实施例提供一种换靶装置100，换靶装置100包括主架体110、换靶平台120以及驱动组件130；
[0036]换靶平台12本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种换靶装置，其特征在于：所述换靶装置包括主架体、换靶平台以及驱动组件；所述换靶平台与所述主架体可转动地连接，所述换靶平台用于容置阴极组件；所述驱动组件与所述主架体连接，且与所述换靶平台传动连接，所述驱动组件用于驱动所述换靶平台相对于所述主架体转动，以使得所述换靶平台具备装卸所述阴极组件的第一位置，以及更换所述阴极组件的靶材的第二位置。2.根据权利要求1所述的换靶装置，其特征在于：所述换靶平台具备容置所述阴极组件的安装腔。3.根据权利要求2所述的换靶装置，其特征在于：所述安装腔内设置有多个连接件，多个所述连接件均用于与所述阴极组件连接。4.根据权利要求1所述的换靶装置，其特征在于：所述驱动组件包括驱动电机以及传动件；沿所述换靶平台的转动轴线方向，所述驱动电机及所述传动件连接于所述主架体的同一端，且所述传动件传动连接所述驱动电机及所述换靶平台。5.根据权利要求1所述的换靶装置，其特征在于：所述第一位置与所述第二位置的角度差为180
°
。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：