基板保持机械手和基板搬运机器人制造技术

该基板保持机械手(1)具备：叶片(31)，其包括支承基板(W)的支承部(311、312)；可动按压单元(32、33)，其包括用于按压基板的能够进退移动的按压部件(32a、33a)；以及倾斜调整机构(34、35、36、37)，其能够调整按压部件的倾斜。其能够调整按压部件的倾斜。其能够调整按压部件的倾斜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板保持机械手和基板搬运机器人


[0001]该专利技术涉及基板保持机械手和基板搬运机器人，并涉及具备可动按压单元的基板保持机械手和基板搬运机器人。

技术介绍

[0002]以往，公知有具备可动按压单元的基板保持机械手。例如在日本特开2013
‑
69914号公报中公开有这样的机械手。
[0003]在上述日本特开2013
‑
69914号公报中，公开有用于搬运基板的基板搬运用机械手(基板保持机械手)。该基板搬运用机械手具备包括用于按压基板的进行进退移动的按压部在内的可动按压单元。
[0004]另外，虽然没有在上述日本特开2013
‑
69914号公报中明确记载，但是在上述日本特开2013
‑
69914号公报所记载的那样的以往的基板搬运用机械手中，考虑以按压配置于设计位置的基板的方式设置有按压部。
[0005]专利文献1：日本特开2013
‑
69914号公报
[0006]然而，在上述以往的基板搬运用机械手中，在通过按压部按压的实际的基板的位置相对于原来假定的设计位置偏离的情况下，难以根据实际的基板的位置通过按压部来按压基板。即，存在难以通过按压部(按压部件)适当地按压实际的基板的问题点。

技术实现思路

[0007]该专利技术的课题(目的)在于提供一种即使在通过按压部件按压的实际的基板的位置相对于原来假定的设计位置而偏离的情况下，也能够通过按压部件适当地按压基板的基板保持机械手和基板搬运机器人。
[0008]基于该专利技术的第1方面的基板保持机械手具备：叶片，其包括支承基板的支承部；可动按压单元，其包括按压部件，该按压部件能够进退移动，用于按压基板；以及倾斜调整机构，其能够调整按压部件的倾斜。
[0009]基于该专利技术的第2方面的基板搬运机器人具备基板保持机械手、和使基板保持机械手移动的臂，基板保持机械手包括：叶片，其包括支承基板的支承部；可动按压单元，其包括按压部件，该按压部件能够进退移动，用于按压基板；以及倾斜调整机构，其能够调整按压部件的倾斜。
[0010]根据本专利技术，如上述那样，通过设置能够调整按压部件的倾斜的倾斜调整机构，从而能够根据通过按压部件按压的实际的基板的位置来将按压部件的倾斜调整为适当的倾斜，因此即使在通过按压部件按压的实际的基板的位置相对于原来假定的设计位置偏离的情况下，也能够通过按压部件适当地按压基板。
附图说明
[0011]图1是表示基于本专利技术的一个实施方式的基板搬运机器人的结构的图。
[0012]图2是表示基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的结构的立体图。
[0013]图3是表示基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的结构的俯视图。
[0014]图4是表示基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的第1可动按压单元的结构的俯视图。
[0015]图5是表示基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的第1可动按压单元的结构的侧视图。
[0016]图6的(A)和(B)是用于对基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的第1可动按压单元的按压部件的XY平面内的倾斜的调整进行说明的图。
[0017]图7的(A)和(B)是用于对基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的第1可动按压单元的按压部件的YZ平面内的倾斜的调整进行说明的图。
[0018]图8是表示基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的第2可动按压单元的结构的俯视图。
[0019]图9是表示基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的第2可动按压单元的结构的侧视图。
[0020]图10是表示基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的可动支承单元的结构的立体图。
[0021]图11是表示基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的可动支承单元的结构的侧视图。
[0022]图12是用于对基于本专利技术的一个实施方式的基板保持机械手的可动支承单元的支承部件的更换进行说明的图。
具体实施方式
[0023]以下，基于附图对将本专利技术具体化的本专利技术的一个实施方式进行说明。
[0024]参照图1～图12，对基于本实施方式的基板搬运机器人100的结构进行说明。
[0025]如图1所示，基板搬运机器人100具备基板保持机械手1、和使基板保持机械手1移动的臂2。如图2～图12所示，基板保持机械手1包括：叶片31，其包括支承基板W的支承部311和312；可动按压单元32(33)，其包括用于按压基板(半导体晶圆)W的进行进退移动的按压部件32a(33a)；以及倾斜调整机构34和35(36、37)，其能够调整按压部件32a的倾斜。
[0026]根据本实施方式，如上述那样，通过设置能够调整按压部件32a(33a)的倾斜的倾斜调整机构34和35(36、37)，从而能够根据通过按压部件32a(33a)按压的实际的基板W的位置来将按压部件32a(33a)的倾斜调整为适当的倾斜，因此即使在通过按压部件32a(33a)按压的实际的基板W的位置相对于原来假定的设计位置而偏离的情况下，也能够通过按压部件32a(33a)适当地按压基板W。
[0027]如图2～图9所示，基板保持机械手1具备叶片31、可动按压单元32及33、以及倾斜调整机构34、35、36以及37。
[0028]如图3～图9所示，倾斜调整机构34(35)通过使按压部件32a绕着规定的旋转轴线C1(C2)旋转，从而能够调整按压部件32a的倾斜。倾斜调整机构36(37)通过使按压部件33a绕着规定的旋转轴线C3(C4)旋转，从而能够调整按压部件33a的倾斜。此外，在图6和图7中，为了容易理解，夸张地图示了针对按压部件32a的倾斜的调整。
[0029]倾斜调整机构34(35)包括将按压部件32a支承为能够绕着规定的旋转轴线C1(C2)旋转的倾斜调整销34a(35a)，通过以倾斜调整销34a(35a)为旋转中心使按压部件32a绕着规定的旋转轴线C1(C2)旋转，从而能够调整按压部件32a的倾斜。倾斜调整机构36(37)包括将按压部件33a支承为能够绕着规定的旋转轴线C3(C4)旋转的倾斜调整销36a(37a)，通过以倾斜调整销36a(37a)为旋转中心使按压部件33a绕着规定的旋转轴线C3(C4)旋转，从而能够调整按压部件33a的倾斜。此外，倾斜调整销34a和36a是权利要求书中的“第1倾斜调整销”的一个例子。另外，倾斜调整销35a和37a是权利要求书中的“第2倾斜调整销”的一个例子。
[0030]倾斜调整销34a(36a)设置为在与叶片31的主面31c垂直的方向(Z方向)上延伸。倾斜调整机构34(36)通过以倾斜调整销34a(36a)为旋转中心使按压部件32a(33a)绕着在与叶片31的主面31c垂直的方向(Z方向)上延伸的旋转轴线C1(C3)旋转，从而能够调整按压部件32a(33a)在与叶片31的主面31c平行的面内(XY面内)的倾斜。
[0031]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板保持机械手，其特征在于，具备：叶片，其包括支承基板的支承部；可动按压单元，其包括按压部件，该按压部件能够进退移动，用于按压所述基板；以及倾斜调整机构，其能够调整所述按压部件的倾斜。2.根据权利要求1所述的基板保持机械手，其特征在于，所述倾斜调整机构通过使所述按压部件绕着规定的旋转轴线旋转，从而能够调整所述按压部件的倾斜。3.根据权利要求2所述的基板保持机械手，其特征在于，所述倾斜调整机构包括将所述按压部件支承为能够绕着所述规定的旋转轴线旋转的倾斜调整销，通过以所述倾斜调整销为旋转中心使所述按压部件绕着所述规定的旋转轴线旋转，从而能够调整所述按压部件的倾斜。4.根据权利要求3所述的基板保持机械手，其特征在于，所述倾斜调整销包括以在与所述叶片的主面垂直的方向上延伸的方式设置的第1倾斜调整销，所述倾斜调整机构通过以所述第1倾斜调整销为旋转中心使所述按压部件绕着在与所述叶片的主面垂直的方向上延伸的旋转轴线旋转，从而能够调整所述按压部件在与所述叶片的主面平行的面内的倾斜。5.根据权利要求4所述的基板保持机械手，其特征在于，所述按压部件包括一对按压部件，所述第1倾斜调整销包括与所述一对按压部件对应的一对第1倾斜调整销，所述倾斜调整机构通过以所述一对第1倾斜调整销各自为旋转中心使所述一对按压部件分别绕着在与所述叶片的主面垂直的方向上延伸的旋转轴线旋转，从而能够以使所述一对按压部件在与所述叶片的主面平行的面内相互接近或者相互远离的方式来调整所述一对按压部件在与所述叶片的主面平行的面内的倾斜。6.根据权利要求3所述的基板保持机械手，其特征在于，所述倾斜调整销包括第2倾斜调整销，该第2倾斜调整销设置为在与所述叶片的主面平行、并且与所述可动按压单元的进退方向正交的方向上延伸，所述倾斜调整机构通过以所述第2倾斜调整销为旋转中心使所述按压部件绕着在与所述叶片的主面平行、并且与所述可动按压单元的进退方向正交的方向上延伸的旋转轴线旋转，从而能够调整所述按压部件在与所述叶片的主面垂直的面内的倾斜。7.根据权利要求6所述的基板保持机械手，其特征在于，所述叶片包括在与所述叶片的主面垂直的方向上排列的多个所述叶片，所述按压部件对分别配置于多个所述叶片的所述基板共同进行按压，所述倾斜调整机构通过以所述第2倾斜调整销为旋转中心使所述按压部件绕着在与所述叶片的主面平行、并且与所述可...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水一平，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：