本实用新型专利技术提供一种臭氧水浓度检测装置，包括壳体、取样单元、检测光单元、检测单元和处理单元，通过设置互相垂直的第一管路和第二管路，配合光源和半透半反件，半透半反件与第一管路之间的距离等于半透半反件与第二管路之间的距离，使得经半透半反件透射和反射的两束光到达第一管路和第二管路的光强相同，从而使浓度检测更加稳定、准确；通过在壳体上设置进液口和出液口，该检测装置可以通过进液口和出液口集成到臭氧水输送管道中，以能够对臭氧水溶液就地测量，无需采集臭氧水样本，使检测过程简单易操作。程简单易操作。程简单易操作。
【技术实现步骤摘要】
一种臭氧水浓度检测装置
[0001]本技术涉及测量装置
，尤其涉及一种臭氧水浓度检测装置。
技术介绍
[0002]臭氧是一种绿色环保的强氧化剂，广泛地应用于消毒、灭菌、去除有机污染物、脱色除嗅、食物保鲜和空气净化诸多领域。臭氧水用于晶圆、太阳能电池加工中的清洗、氧化、医疗领域消毒清洗等，其臭氧水浓度需要根据不同的应用场合进行调整。
[0003]目前在检测臭氧水浓度时，多是使用光源上不同的两个点来检测臭氧水管路中两个节点的臭氧水数据，根据该两个节点的臭氧水数据计算出臭氧水浓度。但是，由于光源上不同点的光强不同，且光强随温度变化，所测得的臭氧水浓度并不准确。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的使用光源上不同的两个点来检测臭氧水浓度，测量结果不准确的缺点，而提出的一种臭氧水浓度检测装置。
[0005]为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种臭氧水浓度检测装置，包括壳体、取样单元、检测光单元、检测单元和处理单元，壳体上设有进液口和出液口；取样单元设置在壳体内，取样单元包括第一管路和第二管路，第一管路与进液口连接，第二管路与出液口连接，第一管路与第二管路连通，第一管路与第二管路互相垂直设置；检测光单元设置在壳体内，检测光单元包括光源和半透半反件，半透半反件与第一管路之间的距离等于半透半反件与第二管路之间的距离，光源设置在半透半反件远离第一管路的一侧，光源与半透半反件所在的直线与第一管路垂直，或者，光源设置在半透半反件远离第二管路的一侧，光源与半透半反件所在的直线与第二管路垂直；检测单元设置在壳体内，检测单元包括第一光电探测器和第二光电探测器，第一光电探测器设置在第一管路远离半透半反件一侧的外壁上与半透半反件对应的位置，第二光电探测器设置在第二管路远离半透半反件一侧的外壁上与半透半反件对应的位置；第一光电探测器与处理单元信号连接，第二光电探测器与处理单元信号连接。
[0006]较佳地，进液口和出液口设置在壳体的同一侧壁上。进一步地，取样单元还包括第三管路，第二管路通过第三管路与出液口连接。
[0007]较佳地，第一管路和第二管路由PTFE（聚四氟乙烯）制备而成。
[0008]较佳地，所述第一管路的内径等于所述第二管路的内径。
[0009]较佳地，光源为紫外光源。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果为：通过设置互相垂直的第一管路和第二管路，配合光源和半透半反件，半透半反件与第一管路之间的距离等于半透半反件与第二管路之间的距离，使得经半透半反件透射和反射的两束光到达第一管路和第二管路的光强相同，从而使浓度检测更加稳定、准确；通过在壳体上设置进液口和出液口，该检测装置可以通过进液口和出液口集成到臭氧水输送管道中，以能够对臭氧水溶液就地测量，无需
采集臭氧水样本，使检测过程简单易操作。
附图说明
[0011]图1为本技术一实施例的一种臭氧水浓度检测装置的结构示意图。
[0012]图2为本技术一实施例的一种臭氧水浓度检测装置的信号连接结构示意图。
[0013]图3为本技术另一实施例的一种臭氧水浓度检测装置的结构示意图。
具体实施方式
[0014]为使对本技术的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
[0015]请结合参见图1和图2，本技术的一种臭氧水浓度检测装置包括壳体1、取样单元2、检测光单元3、检测单元4和处理单元5。
[0016]壳体1上设有进液口11和出液口12，进液口11用以使待测臭氧水溶液流入该检测装置，出液口12用以使已测臭氧水溶液流出该检测装置。该检测装置可以通过进液口11和出液口12集成到臭氧水输送管道中，以能够对臭氧水溶液就地测量，无需采集臭氧水样本，使检测过程简单易操作。
[0017]取样单元2设置在壳体1内，取样单元2包括第一管路21和第二管路22，第一管路21与进液口11连接，第二管路22与出液口12连接，第一管路21和第二管路22连通，第一管路21和第二管路22互相垂直设置。
[0018]检测光单元3设置在壳体1内，检测光单元3包括光源31和半透半反件32，半透半反件32用以将光源31发出的一束光通过透射和反射分为两束光强相同的分束光，半透半反件32与第一管路21之间的距离L1等于半透半反件32与第二管路22之间的距离L2，以使经半透半反件32透射和反射的两束分束光到达第一管路21和第二管路22的光强相同，从而保证测量结果准确，光源31设置在半透半反件32远离第二管路22的一侧，光源31与半透半反件32所在的直线与第二管路21垂直，半透半反件32透射的光到达第二管路22，半透半反件32反射的光到达第一管路21。
[0019]检测单元4设置在壳体1内，检测单元4包括第一光电探测器41和第二光电探测器42，第一光电探测器41设置在第一管路21远离半透半反件32一侧的外壁上与半透半反件32对应的位置，第二光电探测器42设置在第二管路22远离半透半反件32一侧的外壁上与半透半反件32对应的位置，第一光电探测器41与处理单元5信号连接，第二光电探测器42与处理单元5信号连接，处理单元5根据获取到的光强信息计算出臭氧水浓度。
[0020]优选地，第一管路21的内径等于第二管路22的内径，以使透射光在第二管路22内、反射光在第一管路21内经过的距离相等，从而保证测量结果准确。
[0021]优选地，第一管路21和第二管路22由PTFE制备而成。
[0022]优选地，光源31为紫外光源，臭氧水对紫外光源发出的紫外线检测光线有吸收作用，利用紫外线吸收法测量臭氧水浓度。
[0023]在本实施例中，进液口11和出液口12位于壳体1的不同侧壁上，第一管路21与进液口11直接连接，第二管路22与出液口12直接连接，第一管路21和第二管路22直接连通，在实际使用时，第一管路21也可以与进液口11间接连接，第二管路22也可以与出液口12间接连
接，第一管路21和第二管路22也可以间接连通。
[0024]本实施例的臭氧水浓度检测装置，通过设置互相垂直的第一管路21和第二管路22，配合光源31和半透半反件32，半透半反件32与第一管路21之间的距离等于半透半反件32与第二管路22之间的距离，使得经半透半反件32透射和反射的两束光到达第一管路21和第二管路22的光强相同，从而使浓度检测更加稳定、准确；通过在壳体1上设置进液口11和出液口12，该检测装置可以通过进液口11和出液口12集成到臭氧水输送管道中，以能够对臭氧水溶液就地测量，无需采集臭氧水样本，使检测过程简单易操作。
[0025]请参见图3，图3为本技术另一实施例的一种臭氧水浓度检测装置的结构示意图。与图1中实施例相比，在本实施例中，进液口11和出液口12设置在壳体1的同一侧壁上，以便于进液口11和出液口12与臭氧水输送管道连接，从而便于将该检测装置集成到臭氧水输送管道中。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种臭氧水浓度检测装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体上设有进液口和出液口；取样单元，所述取样单元设置在所述壳体内，所述取样单元包括第一管路和第二管路，所述第一管路与所述进液口连接，所述第二管路与所述出液口连接，所述第一管路与所述第二管路连通，所述第一管路与所述第二管路互相垂直设置；检测光单元，所述检测光单元设置在所述壳体内，所述检测光单元包括光源和半透半反件，所述半透半反件与所述第一管路之间的距离等于所述半透半反件与所述第二管路之间的距离，所述光源设置在所述半透半反件远离所述第一管路的一侧，所述光源与所述半透半反件所在的直线与所述第一管路垂直，或者，所述光源设置在所述半透半反件远离所述第二管路的一侧，所述光源与所述半透半反件所在的直线与所述第二管路垂直；检测单元，所述检测单元设置在所述壳体内，所述检测单元包括第一光电探测器和第二光电探测器，所述第一光电探测器设置在所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：艾凡凡，刘书会，
申请(专利权)人：苏州晶拓半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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