排气装置制造方法及图纸

本申请公开一种排气装置。所述排气装置包括通气室，所述通气室通过设置于侧壁上的至少两个气体通孔与待排气装置连通，并通过排气通路将从所述至少两个气体通孔中的一个或以上气体通孔流入的气体排出；其中，所述至少两个气体通孔的气体流量不一致；与所述至少两个气体通孔相对应的至少两个开闭组件，所述至少两个开闭组件独立受控制地封堵或放开各自对应的气体通孔；驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述开闭组件实现所述对所述气体通孔的封堵和放开。和放开。和放开。

【技术实现步骤摘要】
排气装置


[0001]本申请涉及工业设备领域，特别是涉及一种排气装置。

技术介绍

[0002]工业制造中很多流程都涉及到密闭空间。例如，在腔体内进行的需求加热加压环境的各类反应或处理比如材料除泡。而在这些过程中经常会涉及到腔内压力的调整，同时，在同一个腔体进行不同的反应或处理需要不同的压力。为了保证这些反应或处理的高效实施以及多个制程间的快速衔接，需要进行压力的快速调整以及压力释放。
[0003]常见的排气结构设置有一个排气式泄压阀，泄压阀内部有弹簧。通过调节弹簧压力可以预定一个阀门开闭时机。当腔体内的压力足以顶开弹簧后，泄压阀可以被打开。然而，排气式泄压阀的泄压速率低，压力值不易控制，精确度低。

技术实现思路

[0004]本申请所要解决的技术问题在于，如何提供一种高排气效率且压力精准控制的排气装置。
[0005]为了解决上述问题，本申请公开一种排气装置。所述排气装置包括通气室，所述通气室通过设置于侧壁上的至少两个气体通孔与待排气装置连通，并通过排气通路将从所述至少两个气体通孔中的一个或以上气体通孔流入的气体排出；其中，所述至少两个气体通孔的气体流量不一致。与所述至少两个气体通孔相对应的至少两个开闭组件，所述至少两个开闭组件独立受控制地封堵或放开各自对应的气体通孔。驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述开闭组件实现所述对所述气体通孔的封堵和放开。
[0006]在一个可行的实现方式中，所述排气装置还包括控制部件，所述控制部件电连接所述驱动组件，被配置为基于所述待排气装置内部的压力控制所述驱动组件。
[0007]在一个可行的实现方式中，所述压力基于设置于所述待排气装置内部，并与所述控制部件电连接的压力传感器获取。
[0008]在一个可行的实现方式中，所述开闭组件包括撞针，所述气体通孔包括与所述撞针形状适配的锥孔。
[0009]在一个可行的实现方式中，所述撞针与设置于所述通气室外部的驱动机构相连接并被驱动。
[0010]在一个可行的实现方式中，所述驱动机构包括气缸、液压缸或电机。
[0011]在一个可行的实现方式中，所述排气装置还包括辅助排气部件，所述辅助排气部件被配置为在所述压力大于预设阈值时连同所述排气通路共同将气体排出。
[0012]在一个可行的实现方式中，所述辅助排气部件包括与所述控制组件电连接的超压自动泄压阀，所述超压自动泄压阀连通所述通气室与外界，所述控制组件在所述压力大于预设阈值时控制所述超压自动泄压阀开启。
[0013]在一个可行的实现方式中，所述辅助排气部件包括机械式泄压阀，所述机械式泄
压阀连通所述通气室与外界，并基于施加的外力开启或关闭。
[0014]在一个可行的实现方式中，所述腔体包括半导体除泡设备的除泡腔体或压力容器。
[0015]本申请所公开的排气装置，通过多流量排气结构，可以提升排气速率，且压力控制准确度高，减压稳定可靠。
附图说明
[0016]本申请将以示例性实施例的方式进一步说明，这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的，在这些实施例中，相同的编号表示相同的结构，其中：
[0017]图1是根据本申请的一些实施例所示的排气装置的示例性示意图。
具体实施方式
[0018]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0019]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中的元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0020]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”或“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0021]本申请公开一种排气装置，通过设置多段式排气结构，可以实现精准的泄压控制，提升泄压速率及泄压准确度。以下参考附图对本申请的一些优选实施例进行说明。应当注意的是，以下描述是为了说明的目的，并不旨在限制本申请的保护范围。
[0022]图1是根据本申请的一些实施例所示的排气装置的示例性示意图。如图1所示，排气装置100可以包括通气室110、开闭组件120(包括开闭组件120
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1/120
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2和120
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3)以及驱动组件130。通气室110的侧壁上可以设置有至少两个气体通孔(例如，如图1中所示的气体通孔112、114以及116)。通过这些气体通孔，通气室110可以与待排气装置连通。例如，一管道可以与通气室110上设置有气体通孔的侧壁相连接比如该管道焊接在通气室110的侧壁上。连接完成后该管道可以覆盖住侧壁上的气体通孔。同时，该管道可以与待排气装置连通。这样，待排气装置内的气体可以通过该管道再经由通气室110侧壁上的气体通孔进入通气室110。又例如，通气室110上设置有气体通孔的侧壁可以是一法兰，与一个与待排气装置连通的管道相连通。通过该管道与设置于法兰上的气体通孔，待排气装置内的气体可以进入通气室110。通气室110上还设置有排气通路140。排气通路140可以连通通气室110内部与外界。从待排气装置中流入通气室110的气体，可以通过排气通路140排出。
[0023]气体通孔112、114以及116的气体流量是不一致的。例如，气体通孔112、114以及
116的横截面积是不同的。或者，气体通孔112、114以及116在通气室110外侧或内侧的开口大小不同。因此，通过开闭不同的气体通孔，可以使流入通气室110内的气体的量不同。进而导致连通的待排气装置的泄压速率不同。
[0024]开闭组件120(例如，开闭组件120
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1、120
‑
2和120
‑
3)可以与气体通孔(气体通孔112、114以及116)相对应，用于独立受控制地封堵或放开气体通孔。如图1所示，开闭组件120
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1可以用于封堵或放开气体通孔112。开闭组件120
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2可以用于封堵或放开气体通孔114。开闭组件120
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3可以用于封堵或放开气体通孔116。所述“独立受控制”可以是指不同的开闭组件对于对应的气体通孔的封堵或放开或者放开程度可以是不同的，可以是分别进行调节。通过开闭组件120对气体通孔的封堵和放开，可以控制流入通气室110内的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种排气装置，其特征在于，包括：通气室，所述通气室通过设置于侧壁上的至少两个气体通孔与待排气装置连通，并通过排气通路将从所述至少两个气体通孔中的一个或以上气体通孔流入的气体排出；其中，所述至少两个气体通孔的气体流量不一致；与所述至少两个气体通孔相对应的至少两个开闭组件，所述至少两个开闭组件独立受控制地封堵或放开各自对应的气体通孔；驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述开闭组件实现所述对所述气体通孔的封堵和放开。2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气装置还包括控制部件，所述控制部件电连接所述驱动组件，被配置为基于所述待排气装置内部的压力控制所述驱动组件。3.根据权利要求2所述的排气装置，其特征在于，所述压力基于设置于所述待排气装置内部，并与所述控制部件电连接的压力传感器获取。4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述开闭组件包括撞针，所述气体通孔包括与所述撞针形状适配的锥孔。5.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张景南，巫碧勤，彭俊昇，万航，
申请(专利权)人：南京屹立芯创半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：