真空泵装置制造方法及图纸

提供一种能够将泵壳的转子室的内部维持在较高的温度且容易进行加热器的装卸的真空泵装置。真空泵装置具备：泵壳(2)；配置于转子室(1)内的泵转子(5)；在该旋转轴(7)固定有泵转子(5)；与旋转轴(7)连结的电动机(8)；形成转子室(1)的端面(31a)的侧罩(10A、10B)；在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A、10B)的外侧的壳体构造体(14、16)；以及配置于侧罩(10A、10B)内且以能够装卸的方式安装的筒式加热器(70A、70B)，筒式加热器(70A、70B)具有加热器(71)和覆盖加热器(71)的至少一部分的加热器壳(72)，加热器壳(72)具有从该加热器壳的一端延伸至另一端的狭缝(72a)。另一端的狭缝(72a)。另一端的狭缝(72a)。

【技术实现步骤摘要】
真空泵装置


[0001]本专利技术涉及一种真空泵装置，尤其是涉及一种适用于对在半导体器件、液晶、LED、太阳电池等的制造中被使用的处理气体进行排气的用途的真空泵装置。

技术介绍

[0002]在制造半导体器件、液晶屏、LED、太阳电池等的制造过程中，将处理气体导入处理腔室内来进行蚀刻处理、CVD处理等各种处理。被导入处理腔室的处理气体被真空泵装置排气。一般而言，在需要高清洁度的这些制造过程中被使用的真空泵装置是在气体的流路内不使用油的所谓的干燥真空泵装置。作为这样的干燥真空泵装置的代表例，有使配置于转子室内的一对泵转子彼此向相反方向旋转而转移气体的容积式真空泵装置。
[0003]处理气体有包含升华温度高的副生成物的情况。当真空泵装置的转子室内的温度较低时，有副生成物在转子室内固化并堆积在泵转子、泵壳的内表面的情况。固化后的副生成物阻碍泵转子的旋转，会引起泵转子的速度降低，在最坏的情况下会导致真空泵装置的运转停止。因此，为了防止副生成物的固化，在泵壳的外表面安装加热器对转子室进行加热。
[0004]另一方面，驱动泵转子的电动机、固定于泵转子的旋转轴的齿轮也需要进行冷却。因此，上述的真空泵装置通常具备用于对电动机和齿轮进行冷却的冷却系统。冷却系统例如构成为：通过使冷却液在设置于收容电动机的电机壳体内的冷却管和设置于收容齿轮的齿轮壳体内的冷却管流通而冷却电动机和齿轮。通过这样的冷却系统，能够防止电动机和齿轮的过热并达成真空泵装置的稳定的运转。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献r/>[0007]专利文献1：日本特开2003
‑
35290号公报
[0008]专利文献2：日本特开2021
‑
63503号公报
[0009]专利技术所要解决的技术问题
[0010]安装于泵壳的加热器是被侧罩夹持的构造。因此，在因加热器的寿命等而进行更换时，需要分解真空泵装置，无法容易地更换加热器。

技术实现思路

[0011]因此，本专利技术提供一种能够将泵壳的转子室的内部维持在较高的温度且容易进行加热器的装卸的真空泵装置。
[0012]用于解决技术问题的技术手段
[0013]在一方式中，提供一种真空泵装置，具备：泵壳，该泵壳在内部具有转子室；泵转子，该泵转子配置于所述转子室内；旋转轴，在该旋转轴固定有所述泵转子；电动机，该电动机与所述旋转轴连结；侧罩，该侧罩形成所述转子室的端面；壳体构造体，该壳体构造体在所述旋转轴的轴向上位于所述侧罩的外侧；以及筒式加热器，该筒式加热器配置于所述侧
罩内或者所述泵壳内且以能够装卸的方式安装，所述筒式加热器具有加热器和覆盖所述加热器的至少一部分的加热器壳，所述加热器壳具有从该加热器壳的一端延伸至另一端的狭缝。
[0014]在一方式中，所述加热器壳由线膨胀系数比构成所述加热器的外壳的材料高的材料构成。
[0015]在一方式中，所述加热器壳由铝合金、铝、铜以及镁中的任一种构成。
[0016]在一方式中，所述侧罩或者所述泵壳具有孔，该孔在该侧罩或者该泵壳的外表面开口且直线地延伸，所述筒式加热器具有棒状的外形且配置于所述孔内。
[0017]在一方式中，所述真空泵装置还具备固定机构，该固定机构将所述筒式加热器以能够装卸的方式固定于所述侧罩或者所述泵壳。
[0018]专利技术的效果
[0019]根据本专利技术，通过在侧罩内或者泵壳内安装筒式加热器，能够将转子室的内部维持在较高的温度。
[0020]形成于加热器壳的狭缝能够吸收加热器和加热器壳的热膨胀。由此，能够防止因加热器随时间的变形而引起的筒式加热器的变形，并且能够从侧罩或者泵壳容易地取出筒式加热器。
[0021]加热器壳由线膨胀系数比构成加热器的外壳的材料高的材料构成，能够通过加热器壳的热膨胀来填充侧罩或者泵壳与加热器之间的间隙。因此，能够高效地从筒式加热器向侧罩或者泵壳传递热量。
附图说明
[0022]图1是表示真空泵装置的一实施方式的剖视图。
[0023]图2是图1所示的实施方式所涉及的侧罩的侧视图。
[0024]图3是图2的A
‑
A线剖视图。
[0025]图4是筒式加热器的立体图。
[0026]图5是图4的B
‑
B线剖视图。
[0027]图6是被插入孔内的筒式加热器的放大剖视图。
[0028]图7是加热时的筒式加热器的放大剖视图。
[0029]图8是表示真空泵装置的其他实施方式的剖视图。
[0030]图9是图8的C
‑
C线剖视图。
[0031]图10是表示真空泵装置的另一实施方式的剖视图。
[0032]图11是图10所示的实施方式所涉及的侧罩的侧视图。
[0033]图12是从图11的箭头D所示的方向观察的图。
[0034]图13是图11所示的侧罩的立体图。
[0035]符号说明
[0036]1转子室
[0037]2泵壳
[0038]2a进气口
[0039]2b排期口
[0040]2c孔
[0041]5泵转子
[0042]7旋转轴
[0043]8电动机
[0044]8A电机转子
[0045]8B电机定子
[0046]10A、10B侧罩
[0047]14电机壳体(壳体构造体)
[0048]16齿轮壳体(壳体构造体)
[0049]17、18轴承
[0050]20齿轮
[0051]21、22冷却流路
[0052]27通孔
[0053]31内侧壁部
[0054]31a端面
[0055]31b孔
[0056]32外侧壁部
[0057]32a凹陷部
[0058]33缩径部
[0059]34分隔件
[0060]35加热器壳体
[0061]35a孔
[0062]45螺钉
[0063]46螺钉孔
[0064]70、70A、70B筒式加热器
[0065]71加热器
[0066]71a发热体
[0067]71b外壳
[0068]72加热器壳
[0069]72a狭缝
具体实施方式
[0070]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0071]图1是表示真空泵装置的一实施方式的剖视图。以下说明的实施方式的真空泵装置为容积式真空泵装置。尤其是，图1所示的真空泵装置是在气体的流路内不使用油的所谓的干燥真空泵装置。由于干燥真空泵装置中气化的油不向上游侧流动，因此能够适用于需要高清洁度的半导体器件的制造装置。
[0072]如图1所示，真空泵装置具备：在内部具有转子室1的泵壳2；配置于转子室1内的泵转子5；固定有泵转子的旋转轴7；及连结于旋转轴7的电动机8。泵转子5和旋转轴7也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空泵装置，其特征在于，具备：泵壳，该泵壳在内部具有转子室；泵转子，该泵转子配置于所述转子室内；旋转轴，在该旋转轴固定有所述泵转子；电动机，该电动机与所述旋转轴连结；侧罩，该侧罩形成所述转子室的端面；壳体构造体，该壳体构造体在所述旋转轴的轴向上位于所述侧罩的外侧；以及筒式加热器，该筒式加热器配置于所述侧罩内或者所述泵壳内且以能够装卸的方式安装，所述筒式加热器具有加热器和覆盖所述加热器的至少一部分的加热器壳，所述加热器壳具有从该加热器壳的一端延伸至另一端的狭缝。2.根据权利要求1所述的真空泵装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：木本一记，伊东一磨，新村惠弘，荒井秀夫，田中贵大，张韦，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：