芯片及其制作方法、电子设备技术

技术编号:37543398 阅读:11 留言:0更新日期:2023-05-12 16:12
本申请提供了一种芯片及其制作方法、电子设备,涉及芯片技术领域,能够降低芯片内部的半导体器件受外部应力的影响。该芯片衬底、器件层、帽盖、侧墙;其中,器件层中设置有半导体器件,且器件层在背离衬底一侧的表面、位于半导体器件的周围设置有隔离槽;帽盖与器件层相对设置,且帽盖位于器件层背离衬底的一侧;侧墙设置于帽盖与器件层之间,且侧墙围绕半导体器件设置,隔离槽位于侧墙的内侧。隔离槽位于侧墙的内侧。隔离槽位于侧墙的内侧。隔离槽位于侧墙的内侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:李伟徐慧龙姚艳龙
申请(专利权)人:华为技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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