一种外部投料装置制造方法及图纸

技术编号:37539614 阅读:6 留言:0更新日期:2023-05-12 16:08
本申请涉及单晶炉投料领域,尤其是涉及一种外部投料装置,包括:活动部,所述活动部包括:投料机构,所述投料机构具有出料口,所述投料机构用于向单晶炉内送料;升降机构,所述升降机构位于所述投料机构的下方,所述升降机构向上作用于所述投料机构上,用于驱动所述投料机构升降;以及偏转机构,所述偏转机构包括:基板,所述基板固定连接于所述升降机构上;驱动组件,所述驱动组件固定连接于所述基板上,并作用于所述投料机构的底部,使得所述投料机构的出料口相对于单晶炉发生水平偏转。的出料口相对于单晶炉发生水平偏转。的出料口相对于单晶炉发生水平偏转。

【技术实现步骤摘要】
一种外部投料装置


[0001]本申请涉及单晶炉投料领域,尤其是涉及一种外部投料装置。

技术介绍

[0002]单晶棒是通过单晶炉内热场融化硅料,而后拉出凝结而成的,拉晶的周期一般比较长,为缩短拉晶周期,提高生产效率,行业内开始提出外部投料的方案,在晶棒拉起冷却的时间内,由于内部无法实现投料操作,故而可通过外部投料的方式,来缩短整体拉晶周期。由于单晶炉内部需要保持真空状态,且热场部位温度很高,所以要求与外部投料器对接的口子尽可能小,减少热量流失,减低能耗,这就要求外部投料器将料管伸入单晶炉内时高度角度足够准确,对接的结构足够简便,对接的时间足够短,才能起到尽可能的缩短拉晶周期,提高效率。
[0003]现有技术中,现有的外部投料器,通过叉车或者牵引车将外部投料器拉到指定位置(由于是人为控制,只能靠多次调整才能到合适位置),且一种投料器只能适合一种高度的单晶炉,无法调节投料高度以适应多种高度的单晶炉,这种外部投料器运行麻烦,对接复杂,耗时较大。
[0004]因此,现有技术的技术问题在于:投料器与单晶炉之间对接不便。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种外部投料装置,解决了投料器与单晶炉之间对接不便的技术问题,达到便于投料器与单晶炉之间对接的技术效果。
[0006]本申请提供的一种外部投料装置,采用如下的技术方案:
[0007]一种外部投料装置,包括:活动部,所述活动部包括:投料机构,所述投料机构具有出料口,所述投料机构用于向单晶炉内送料;升降机构,所述升降机构位于所述投料机构的下方,所述升降机构向上作用于所述投料机构上,用于驱动所述投料机构升降;以及偏转机构,所述偏转机构包括:基板,所述基板固定连接于所述升降机构上;驱动组件,所述驱动组件固定连接于所述基板上,并作用于所述投料机构的底部,使得所述投料机构的出料口相对于单晶炉发生水平偏转。
[0008]作为优选,所述驱动组件具有两组,两组所述驱动组件分布于所述投料机构的底部两侧,每个所述驱动组件包括:第一滑块,所述第一滑块活动连接于所述投料机构的底部;第一驱动件,所述第一驱动件连接于所述基板与所述第一滑块之间,用于驱动所述第一滑块移动。
[0009]作为优选,所述第一驱动件包括第一丝杆和第一电机,第一丝杆连接于基板上,第一电机连接于第一丝杆的端部,所述第一滑块通过螺纹连接于所述第一丝杆上。
[0010]作为优选,两个所述第一丝杆平行布置。
[0011]作为优选,所述第一滑块与所述投料机构之间连接有一个或多个万向联轴器。
[0012]作为优选,所述基板上连接有若干调节珠,所述调节珠具有转动自由度,所述调节
珠嵌设于基板上,且抵触于投料机构的底面。
[0013]作为优选,所述驱动组件包括:基板,所述基板固定连接于所述升降机构上;转盘,所述转盘转动连接于所述基板上,且固定连接于所述投料机构的底部;以及第二驱动件,所述第二驱动件固定连接于所述基板上,并作用于所述转盘上,用于驱动转盘旋转。
[0014]作为优选,所述升降机构包括:机架,所述机架位于所述投料机构和所述偏转机构的下方;第二丝杆,所述第二丝杆具有多个,每个所述第二丝杆连接于所述机架上,每个所述第二丝杆具有转动自由度,且每个所述第二丝杆纵向布置;第二滑块,所述第二滑块具有多个,所述第二滑块通过螺纹对应连接于所述第二丝杆上,所述第二滑块与所述基板固定连接;以及第二电机,所述第二电机连接于其中一个所述第二丝杆的端部,其中多个第二丝杆之间连接有传动杆,使得第二电机能够带动全部第二丝杆旋转。
[0015]作为优选,所述活动部还包括:运载车,所述运载车固定连接于所述升降机构的底部,用于驱动所述活动部移动。
[0016]作为优选,所述出料口上设置有视觉传感器;所述投料装置还包括固定部,所述固定部包括:视觉校准板,所述视觉校准板固定连接于单晶炉的投料口上,所述视觉校准板用于与所述视觉传感器配合以校准投料角度。
[0017]综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
[0018]1、本申请通过两组平行布置的第一丝杆投料机构的出料口和单晶炉的投料口之间的角度,提高投料机构和单晶炉对接的准确性,简化对接动作调节,降低耗时,减少人工,解决了投料器与单晶炉之间对接不便的技术问题,达到便于投料器与单晶炉之间对接的技术效果。
[0019]2、升降机构可调整投料机构的出料口与单晶炉的高度匹配,可使用多种开口和因场地造成的高度差,可适应多种场地、高度,有较好的通用性。
[0020]3、本申请由AGV小车自动搬运,方便投料机构自动搬运,降低对人力的依赖,实现单晶炉外部复投自动化。
附图说明
[0021]图1是本申请所述投料装置的示意图;
[0022]图2是本申请所述投料装置的升降机构和偏转机构配合示意图;
[0023]图3是本申请所述投料装置的升降机构示意图;
[0024]图4是本申请所述投料装置的偏转机构示意图。
[0025]附图标记说明:100、单晶炉;110、投料口;200、活动部;210、投料机构;211、料筒;212、出料口;220、偏转机构;221、基板;222、驱动组件;223、第一滑块;224、第一丝杆;225、第一电机;226、调节珠;230、升降机构;231、机架;232、第二丝杆;233、传动杆;234、第二滑块;235、第二电机;240、运载车;300、固定部;310、视觉校准板;320、视觉传感器。
具体实施方式
[0026]本文中为部件所编序号本身,例如“第一”、“第二”等,仅用于区分所描述的对象,不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”,如无特别说明,均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、

右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
[0027]在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0028]本申请实施例提供了一种外部投料装置,解决了投料器与单晶炉100之间对接不便的技术问题,达到便于投料器与单晶炉100之间对接的技术效果。
[0029]为了更好的理解上述技术方案,下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外部投料装置,其特征在于,包括:活动部,所述活动部包括:投料机构,所述投料机构具有出料口,所述投料机构用于向单晶炉内送料;升降机构,所述升降机构位于所述投料机构的下方,所述升降机构向上作用于所述投料机构,用于驱动所述投料机构升降;以及偏转机构,所述偏转机构包括:基板,所述基板固定连接于所述升降机构上;驱动组件,所述驱动组件固定连接于所述基板上,所述驱动组件连接并作用于所述投料机构的底部,使得所述投料机构的出料口相对于单晶炉发生水平偏转。2.根据权利要求1所述的一种外部投料装置,其特征在于,所述驱动组件具有两组,两组所述驱动组件分布于所述投料机构的底部两侧,每个所述驱动组件包括:第一滑块,所述第一滑块活动连接于所述投料机构的底部;第一驱动件,所述第一驱动件连接于所述基板与所述第一滑块之间,用于驱动所述第一滑块移动。3.根据权利要求2所述的一种外部投料装置,其特征在于,所述第一驱动件包括第一丝杆和第一电机,第一丝杆连接于基板上,第一电机连接于第一丝杆的端部,所述第一滑块通过螺纹连接于所述第一丝杆上。4.根据权利要求3所述的一种外部投料装置,其特征在于,两个所述第一丝杆平行布置。5.根据权利要求4所述的一种外部投料装置,其特征在于,所述第一滑块与所述投料机构之间连接有一个或多个万向联轴器。6.根据权利要求5所述的一种外部投料装置,其特征在于,所述基板上连接有若干调节珠,所述调节珠具有转动自由度,...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟朱亮傅林坚张俊沈兴潮郑烨南钱勇明郑峰君
申请(专利权)人:浙江晶鸿精密机械制造有限公司
类型:新型
国别省市:

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