一种密封法兰制造技术

本申请涉及一种密封法兰，密封法兰包括安装座和水槽，安装座具有安装孔，安装孔安装有加热器，水槽设置于安装座，沿密封法兰的轴线方向延伸，并环绕安装孔的轴线设置，其中，水槽具有进水口和出水口，用于向水槽注入冷却液循环对密封法兰进行降温，从而提高密封法兰的使用寿命，降低维护成本。降低维护成本。降低维护成本。

【技术实现步骤摘要】
一种密封法兰


[0001]本申请涉及法兰
，尤其涉及一种密封法兰。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备根据工艺的不同，所使用的加热器也部相同，特别是高温化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)工艺，所使用的加热器温度要求高，常规的加热器引线密封多使用吊装式法兰密封和刀口法兰密封。其中，法兰密封需要使用密封圈，在温度较高时，密封圈会发生永久变形失效，而刀口法兰密封，存在体积大，铜环消耗多，维护成本高等问题。

技术实现思路

[0003]本申请提供了一种密封法兰，用于解决密封法兰高温容易损坏的问题。
[0004]本申请提供了一种密封法兰，所述密封法兰包括：
[0005]安装座，所述安装座具有安装孔，所述安装孔安装有加热器；
[0006]水槽，所述水槽设置于所述安装座，所述水槽沿所述密封法兰的轴线方向延伸，并环绕所述安装孔的轴线设置；
[0007]其中，所述水槽具有进水口和出水口，用于向所述水槽注入冷却液循环对所述密封法兰进行降温。
[0008]在一种可能的实施方式中，所述水槽包括隔板，所述隔板位于所述水槽内部，且位于所述进水口和所述出水口之间。
[0009]在一种可能的实施方式中，所述密封法兰包括测温器，所述测温器安装于所述安装座，所述测温器和所述安装座之间设置有密封槽，所述密封槽内部设置有压环和第一密封圈，所述压环和所述第一密封圈套接于所述加热器，所述压环和所述第一密封圈抵接。
[0010]在一种可能的实施方式中，所述密封法兰包括多个所述压环和所述第一密封圈，所述压环和所述第一密封圈交替设置。
[0011]在一种可能的实施方式中，所述密封槽设置有第一紧固件，所述第一紧固件套接于所述加热器并固定于所述安装座，所述第一紧固件与所述压环抵接。
[0012]在一种可能的实施方式中，所述压环靠近所述第一紧固件的一侧为平面，靠近所述第一密封圈的一侧为斜面，其中所述斜面与所述密封槽内壁的夹角为20
°
至60
°
。
[0013]在一种可能的实施方式中，所述压环的材质为不锈钢或者铜。
[0014]在一种可能的实施方式中，所述密封法兰包括第二紧固件，第二紧固件安装于所述安装座，所述安装座具有凸台，所述凸台与所述第二紧固件配合形成安装槽。
[0015]在一种可能的实施方式中，所述密封法兰包括第二密封圈，所述第二密封圈位于所述安装槽。
[0016]在一种可能的实施方式中，所述第一密封圈和所述第二密封圈的材质为氟橡胶或者硅橡胶。
[0017]本申请提供一种密封法兰，密封法兰包括安装座和水槽，安装座具有安装孔，安装孔安装有加热器，水槽设置于安装座，沿密封法兰的轴线方向延伸，并环绕安装孔的轴线设置，其中，水槽具有进水口和出水口，用于向水槽注入冷却液循环对密封法兰进行降温，从而提高密封法兰的使用寿命，降低维护成本。
[0018]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。
附图说明
[0019]图1为本申请提供的密封法兰的一种实施方式的剖面图；
[0020]图2为本申请提供的密封法兰的一种实施方式的另一视角的局部剖视图；
[0021]图3为图1中Ⅰ的局部放大图。
[0022]附图标记：
[0023]1‑
安装座；
[0024]11
‑
安装孔；
[0025]12
‑
加热器；
[0026]13
‑
凸台；
[0027]2‑
水槽；
[0028]21
‑
进水口；
[0029]22
‑
出水口；
[0030]23
‑
隔板；
[0031]3‑
测温器；
[0032]4‑
密封槽；
[0033]41
‑
压环；
[0034]42
‑
第一密封圈；
[0035]43
‑
第一紧固件；
[0036]5‑
第二紧固件；
[0037]51
‑
安装槽；
[0038]6‑
第二密封圈；
[0039]7‑
腔体围板。
[0040]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
具体实施方式
[0041]为了更好的理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0042]应当明确，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
[0043]在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制
本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
[0044]应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0045]需要注意的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
[0046]如图1和图2所示，本申请实施例提供一种密封法兰，密封法兰包括安装座1和水槽2，安装座1具有安装孔11，安装孔11安装有加热器12，水槽2设置于安装座1，水槽2沿密封法兰的轴线方向延伸，并环绕安装孔11的轴线设置，其中，水槽2具有进水口21和出水口22，用于向水槽2注入冷却液循环对密封法兰进行降温。
[0047]本申请实施例提供的密封法兰用于高温加热设备，例如真空热处理设备、真空镀膜设备以及真空干燥设备等，主要用于真空腔体进行密封以及加热。当前的密封法兰在实际使用过程中，由于加热器12具的温度，而高温会导致密封法兰发生形变甚至损坏，导致其寿命较低，维护成本高。本申请实施例提供了一种密封法兰，其中安装座1设置有安装孔11，安装孔11用于安装加热器12，通过加热器12实现加热功能，密封法兰可以设置多个安装孔11并安装多个加热器12，多个安装孔11可以围绕密封法兰的轴线间隔设置。安装座1还包括水槽2，水槽2包括进水口21和出水口22，分别和水槽2连通，用于注入以及排出冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封法兰，其特征在于，所述密封法兰包括：安装座(1)，所述安装座(1)具有安装孔(11)，所述安装孔(11)安装有加热器(12)；水槽(2)，所述水槽(2)设置于所述安装座(1)，所述水槽(2)沿所述密封法兰的轴线方向延伸，并环绕所述安装孔(11)的轴线设置；其中，所述水槽(2)具有进水口(21)和出水口(22)，用于向所述水槽(2)注入冷却液循环对所述密封法兰进行降温。2.根据权利要求1所述的密封法兰，其特征在于，所述水槽(2)包括隔板(23)，所述隔板(23)位于所述水槽(2)内部，且位于所述进水口(21)和所述出水口(22)之间。3.根据权利要求1所述的密封法兰，其特征在于，所述密封法兰包括测温器(3)，所述测温器(3)安装于所述安装座(1)，所述测温器(3)和所述安装座(1)之间设置有密封槽(4)，所述密封槽(4)内部设置有压环(41)和第一密封圈(42)，所述压环(41)和所述第一密封圈(42)套接于所述加热器(12)，所述压环(41)和所述第一密封圈(42)抵接。4.根据权利要求3所述密封法兰，其特征在于，所述密封法兰包括多个所述压环(41)和所述第一密封圈(42)，所述压环(41)和所述第一密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘通海，龚文博，毕飞飞，姜天豪，胡鹏，蓝树槐，
申请(专利权)人：上海治臻新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：