一种离子注入机的冷却系统技术方案

本实用新型专利技术属于半导体器件芯片制造设备技术领域，尤其涉及一种离子注入机的冷却系统。其包括：循环回路，连接于离子注入机的待冷却部件两端，循环回路包括次串接的水箱、水泵及热交换器，循环回路中循环介质为纯水；第一过滤器串接于循环回路中，以过滤固体颗粒。本实用新型专利技术用于解决离子注入机冷却的问题。实用新型专利技术用于解决离子注入机冷却的问题。实用新型专利技术用于解决离子注入机冷却的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机的冷却系统


[0001]本技术属于半导体器件芯片制造设备
，尤其涉及一种离子注入机的冷却系统。

技术介绍

[0002]离子注入技术广泛应用于现代半导体器件芯片制造。离子注入具有可掺杂多种元素、剂量控制精准、不受表面固溶度限制等诸多优点，成为芯片制造不可或缺的加工工步。离子注入机是颇为复杂的设备，它含有高电压、高真空、高强度可控磁场电场、高精准可控特气流量以及高精度机械转动机构和传动系统，其中对一些发热部件还得有冷却系统给予散热方能保证设备正常工作。
[0003]传统的冷却系统采用的制冷剂是氟利昂F113，随着国际社会对生态环境要求的提高，这种氟利昂已被禁止生产，离子注入机要继续使用，必须找到制冷剂的替代品。

技术实现思路

[0004]本申请实施例要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种离子注入机的冷却系统，用于解决离子注入机冷却的问题。
[0005]本申请实施例解决上述技术问题的技术方案如下：一种离子注入机的冷却系统，其包括：
[0006]循环回路，连接于所述离子注入机的待冷却部件两端，所述循环回路包括次串接的水箱、水泵及热交换器，所述循环回路中循环介质为纯水；
[0007]第一过滤器，串接于所述循环回路中，以过滤固体颗粒。
[0008]相较于现有技术，以上技术方案具有如下有益效果：
[0009]通过水泵将水箱中纯水循环至离子注入机的待冷却部件处进行冷却，热交换器对循环介质进行换热冷却，便于循环冷却使用，纯水的电导率在常温下能够达到18MΩcm，避免离子注入机在使用过程中的打火现象，第一过滤器过滤循环介质中的固体颗粒杂质。
[0010]进一步地，还包括第二过滤器，串接于所述第一过滤器与所述热交换器之间，所述第二过滤器中填充有抛光树脂颗粒，用于过滤所述循环介质中导电离子。
[0011]进一步地，还包括连接于所述循环回路中的电阻率表，以将所述循环介质的电阻率控制在不低于10MΩcm。
[0012]进一步地，所述循环回路中还连接有压力表，所述压力表设置于所述离子注入机的入口，以将所述循环介质的压力控制在不低于1.0kg/cm2。
[0013]进一步地，还包括第一温度计，所述第一温度连接于所述离子注入机入口端的所述循环回路中，用于检测进入所述离子注入机的液温。
[0014]进一步地，还包括第二温度计，所述第二温度计连接于所述离子注入机出口端的所述循环回路中，用于检测流出所述离子注入机的液温，以将所述循环介质的温差控制在不大于25℃。
[0015]进一步地，所述第一过滤器中配置有PP熔喷滤芯。
[0016]进一步地，所述水泵的流量不小于10L/min，所述水泵的出水压力不小于3kg/cm2。
[0017]进一步地，所述水箱中安装有液位计。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术具体实施例的整体结构示意图。
具体实施方式
[0020]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0021]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0022]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0024]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]如图1所示，本技术实施例所提供的一种离子注入机的冷却系统，其包括：连接于所述离子注入机的待冷却部件两端的循环回路，所述循环回路包括次串接的水箱、水泵及热交换器，所述循环回路中循环介质为纯水。
[0026]水箱为PE材质的水箱，容量约为40L，水箱中设置有液位计，液位计图中未示出，以便在纯水有所消耗时自动补充高纯水。
[0027]循环回路中还串接有第一过滤器，以过滤固体颗粒，使得纯水在进入待冷却部件时恢复无固体杂质的状态。
[0028]具体地，所述第一过滤器中配置有PP熔喷滤芯。
[0029]第一过滤器的过滤精度在1.0μm左右，用于过滤1.0μm以上的固体颗粒。
[0030]连接水箱、水泵、热交换器和第一过滤的管路采用PVC材质。
[0031]其中，水泵和热交换器采用304不锈钢。
[0032]所述水泵的流量不小于10L/min，所述水泵的出水压力不小于3kg/cm2。
[0033]通过水泵将水箱中纯水循环至离子注入机的待冷却部件处进行冷却，热交换器对循环介质进行换热冷却，便于循环冷却使用，纯水的电导率在常温下能够达到18MΩcm，避免离子注入机在使用过程中的打火现象，第一过滤器过滤循环介质中的固体颗粒杂质。
[0034]还包括第二过滤器，第二过滤器串接于所述第一过滤器与所述热交换器之间，所述第二过滤器中填充有抛光树脂颗粒，用于过滤所述循环介质中导电离子。
[0035]具体地，第二过滤器以PE树脂材质制造的罐体，内部填充有抛光树脂颗粒，具体颗粒型号为6040抛光树脂，纯水经过抛光树脂后，可以吸附其中的导电离子，提高纯水的电阻率。
[0036]还包括连接于所述循环回路中的电阻率表，以将所述循环介质的电阻率控制在不低于10MΩcm，正常典型值在16
‑
18MΩcm，当冷却水的电阻率低于10MΩcm时，需要更换抛光树脂颗粒。
[0037]所述循环回路中还连接有压力表，所述压力表设置于所述离子注入机的入口，以将所述循环介质的压力控制在不低于1.0kg/cm2，冷却纯水压力低于此值时必须更换过滤器滤芯。
[0038]循环回路中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的冷却系统，其特征在于，包括：循环回路，连接于所述离子注入机的待冷却部件两端，所述循环回路包括次串接的水箱、水泵及热交换器，所述循环回路中循环介质为纯水；第一过滤器，串接于所述循环回路中，以过滤固体颗粒。2.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，还包括第二过滤器，串接于所述第一过滤器与所述热交换器之间，所述第二过滤器中填充有抛光树脂颗粒，用于过滤所述循环介质中导电离子。3.根据权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，还包括连接于所述循环回路中的电阻率表，以将所述循环介质的电阻率控制在不低于10MΩcm。4.根据权利要求3所述的冷却系统，其特征在于，所述循环回路中还连接有压力表，所述压力表设置于所述离子注入机的入口，以将所述循环介质的压力控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕建荣，
申请(专利权)人：扬州晶新微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：