本实用新型专利技术公开了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其涉及碳化硅外延生产领域，其包括托盘基座，顶部设置有水平承载部，所述托盘基座内设置有容纳腔，所述水平承载部上设置有第一开槽，装设在第一开槽内并与水平承载部水平面平齐的驱动块，所述驱动块的一端与水平承载部的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置，所述升降装置与驱动块活动的一端传动连接，本技术方案结构简单，在取料的过程中可以减少外延片划伤导致不良，节约原材料成本；同时减少人员在取片时浪费的时间，提高生产效率，本实用新型专利技术解决现有技术中碳化硅外延片生产过程中，人工取料效率低，不良率高，机械设备取料成本高的技术问题。问题。问题。
【技术实现步骤摘要】
一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置
[0001]本技术涉及碳化硅外延生产
，尤其涉及一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置。
技术介绍
[0002]在碳化硅外延片的生产过程中需要进行取料移料等操作，请参阅图1
‑
图2，现有的托盘一般在边缘处设置有凸起部，使得碳化硅外延片始终位于托盘内，便于固定，但这样使得取料的时候比较困难，现有一般的取料方式有两种，
[0003]一种是选取特殊材料的镊子，利用其尖端扁平优势，插入到碳化硅外延片底部来抬起碳化硅外延片从而进行取片，这种人工取料效率低下，而且要极其小心来避免镊子的尖端划伤碳化硅外延片的表面，
[0004]另外一种采用机械设备，例如LPE公司的其他机型，其中，PE1O6机型是纯手动操作，没有撬取外延片的专用工具，造成外延片划伤概率多达7％左右，并且撬取外延片操作平均15秒/片，这样既浪费成本又降低生产效率。而改进后的PE1O6A设备，为自动传取晶片操作，较比PE1O6多出一套机械手传递装置，该机械手传递装置成本较高，而且该装置只能识别石墨涂层碳化钽托盘，涂层碳化钽托盘价格是涂层碳化硅的3倍之多，这样大大增加了碳化硅外延片的取料成本。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其解决现有技术中碳化硅外延片生产过程中，人工取料效率低，不良率高，机械设备取料成本高的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，包括托盘基座，顶部设置有水平承载部，所述托盘基座内设置有容纳腔，所述水平承载部上设置有第一开槽，装设在第一开槽内并与水平承载部水平面平齐的驱动块，所述驱动块的一端与水平承载部的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置，所述升降装置与驱动块活动的一端传动连接，便于将碳化硅外延片顶起，使得碳化硅外延片与托盘基座之间具有空隙，进而使得真空吸笔可以插入空隙内并吸取碳化硅外延片的底部。
[0007]上述技术方案中，所述升降装置包括装设在容纳腔内且竖直布置的升降杆，水平布置的驱动杆，所述驱动杆的一端套设有齿轮，并位于容纳腔内，另一端从容纳腔中探出，所述齿轮与升降杆传动连接，便于手动控制升降杆顶起的高度。
[0008]上述技术方案中，所述驱动杆上设置有旋转圆柄。
[0009]上述技术方案中，所述旋转圆柄上设置有刻度，便于观察和控制升降杆顶起的高度。
[0010]上述技术方案中，所述升降杆顶起的高度范围为1.2
‑
2.2cm。
[0011]上述技术方案中，所述升降杆的顶端并靠近驱动块与水平承载部的一侧设置有弧形倒角。
[0012]上述技术方案中，所述水平承载部的边缘处设置有环形凸起部，便于固定托盘。
[0013]上述技术方案中，所述驱动块的活动端设置有倾斜尖端，所述第一开槽的结构与驱动块外形大小相适应，所述倾斜尖端搭载在第一开槽上，便于驱动块进行复位。
[0014]上述技术方案中，还包括装设在托盘基座上的托盘，所述托盘上设置有与驱动块外形大小相适应的第二开槽，装设在第二开槽内并与托盘水平面平齐的顶起块，所述顶起块的外形大小与驱动块相适应并与托盘铰接连接。
[0015]上述技术方案中，所述托盘的顶部设置有容纳槽，所述第二开槽和顶起块均设置在容纳槽内，所述容纳槽的顶部设置有水平向外延展的环形部。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0017]1、本技术方案结构简单，可以对PE1O6设备进行改造，在取料的过程中通过升降装置和驱动块来对碳化硅外延片顶起，然后采用真空吸笔来吸取碳化硅外延片的底部，从而将碳化硅外延片进行取料和移料，可以减少外延片划伤导致不良，降低不良成本；另外这种操作方式可以在生产线上稳定操作，本技术方案取放片操作时间可以在5秒钟内完成，较之传统的取放片方式的生产效率可以提升3倍，减少人员在取片时浪费的时间，提高生产效率，节约生产成本。
[0018]2、本技术方案的驱动块、第一开槽均为平行四边形结构，这样既能满足驱动块与托盘机座铰接连接，而且复位时驱动块可以搭载在第一开槽内，提高驱动块与托盘机座水平面的平行精度，本技术方案还设计了托盘结构，托盘上设置有与驱动块相适应的顶起块和第二开槽，主要是用于隔开碳化硅外延片和托盘基座，便于更换托盘，从而提高碳化硅外延片的生长环境的洁净度。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是现有技术中的一种碳化硅外延炉托盘的俯视图；
[0021]图2是现有技术中的一种碳化硅外延炉托盘的侧视图；
[0022]图3是本技术提供的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置的俯视图；
[0023]图4是托盘基座和升降装置的侧视图；
[0024]图5是本技术提供的一种托盘的侧视图；
[0025]图6是托盘基座和、托盘升降装置的侧视图。
[0026]附图的标记为：1、托盘基座；11、水平承载部；111、第一开槽；112、环形凸起部；2、驱动块；311、弧形倒角；22、倾斜尖端；3、升降装置；31、升降杆；32、驱动杆；33、齿轮；34、旋转圆柄；4、托盘；41、第二开槽；42、顶起块；43、容纳槽；44、环形部。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，包括托盘基座(1)，顶部设置有水平承载部(11)，其特征在于，所述托盘基座(1)内设置有容纳腔，所述水平承载部(11)上设置有第一开槽(111)，装设在第一开槽(111)内并与水平承载部(11)水平面平齐的驱动块(2)，所述驱动块(2)的一端与水平承载部(11)的中部铰接连接，另一端活动连接，装设在容纳腔内的升降装置(3)，所述升降装置(3)与驱动块(2)活动的一端传动连接。2.根据权利要求1所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述升降装置(3)包括装设在容纳腔内且竖直布置的升降杆(31)，水平布置的驱动杆(32)，所述驱动杆(32)的一端套设有齿轮(33)并位于容纳腔内，另一端从容纳腔中探出，所述齿轮(33)与升降杆(31)传动连接。3.根据权利要求2所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述驱动杆(32)上设置有旋转圆柄(34)。4.根据权利要求3所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述旋转圆柄(34)上设置有刻度。5.根据权利要求2所述的一种提高生产效率的碳化硅外延炉托盘取片装置，其特征在于，所述升降杆(31)顶起的高度范围为1.2
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2.2cm。6.根据权利要求2所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯禹，鲁青，司桐旭，郭军强，
申请(专利权)人：广东天域半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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