一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构制造技术

一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构，包括：滑台本体，所述滑台本体具有滑槽；压电陶瓷，所述压电陶瓷与滑台本体连接；位移滑台，所述位移滑台位于滑槽内；电磁铁，所述电磁铁与压电陶瓷驱动连接，所述位移滑台跟随所述电磁铁运动，以用于通过电磁铁的磁力带动位移滑台沿滑槽运动。通过使用电磁铁的方式提供加载力，使得压电陶瓷在回退过程中电磁铁磁性消失，移动滑台本身不受到压电陶瓷回退的影响，使得移动定量更精准。使得移动定量更精准。使得移动定量更精准。

【技术实现步骤摘要】
一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构


[0001]本技术涉及压电粘滑台
，尤其涉及一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构。

技术介绍

[0002]目前市面上的压电粘滑台都是用机械预载力的方法固定摩擦振子和滑台。这种方法往往只能一次性预设加载力或通过永磁体一次性加载，通过机械转子再拆装过程中调节预载力。而且一般摩擦振子在和滑块粘滑运动中同时存在回退过程使得定量测试困难。
[0003]由于压电陶瓷的性能决定，每次加电压过程中，滑台移动，而加电压结束时，压电陶瓷会有一定程度的回退，这种回退数值较小，但是依然会影响到滑台的行进精度。

技术实现思路

[0004]鉴于
技术介绍
存在的不足，本技术涉及一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构，通过使用电磁铁的方式提供加载力，使得压电陶瓷在回退过程中电磁铁磁性消失，移动滑台本身不受到压电陶瓷回退的影响，使得移动定量更精准。
[0005]本技术涉及一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构，包括：
[0006]滑台本体，所述滑台本体具有滑槽；
[0007]压电陶瓷，所述压电陶瓷与滑台本体连接；
[0008]位移滑台，所述位移滑台位于滑槽内；
[0009]电磁铁，所述电磁铁与压电陶瓷驱动连接，所述位移滑台跟随所述电磁铁运动，以用于通过电磁铁的磁力带动位移滑台沿滑槽运动。
[0010]通过采用上述方案，电磁铁带动位移滑台移动后，停止工作，位移滑台不会受到压电陶瓷回退的影响，提高位移滑台的移动精度。
[0011]进一步的，所述压电陶瓷设于位移滑台的一侧。
[0012]通过采用上述方案，方便位移滑台在一侧控制压电陶瓷的位移与安装。
[0013]进一步的，所述滑槽一侧设有供压电陶瓷运动的安装槽，所述安装槽朝向滑槽一侧设有开口，所述开口用于电磁铁与位移滑台连接。
[0014]通过采用上述方案，方便压电粘滑台的安装。
[0015]进一步的，所述开口的宽度小于位移滑台朝向开口一侧的长度。
[0016]通过采用上述方案，保证位移滑台的运动轨迹，不会因为偏移开口卡住位移滑台的情况。
[0017]进一步的，所述电磁铁与位移滑台贴合。
[0018]通过采用上述方案，保证电磁铁工作时不会有拉动位移滑台侧面位移，从而增大与滑槽摩擦，影响使用寿命。
[0019]进一步的，所述位移滑台与滑槽的设置方向均与压电陶瓷的位移方向平行。
[0020]通过采用上述方案，保证位移滑台的移动方向，不会造成不必要的摩擦。
[0021]进一步的，所述滑台本体设有装配孔，所述装配孔用于安装压电陶瓷。
[0022]通过采用上述方案，满足压电陶瓷的安装需求。
附图说明
[0023]图1是本技术实施例1结构示意图。
[0024]附图标记：1、滑台本体；11、滑槽；12、安装槽；2、压电陶瓷；3、位移滑台；4、电磁铁。
具体实施方式
[0025]以下将结合本技术的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述和讨论，显然，这里所描述的仅仅是本技术的一部分实例，并不是全部的实例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术的保护范围。
[0026]为了便于对本技术实施例的理解，下面将结合附图以具体实施例为例作进一步的解释说明，且各个实施例不构成对本技术实施例的限定。
[0027]本技术的实施例1参照图1所示，涉及一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构，包括滑台本体1、压电陶瓷2、位移滑台3和电磁铁4。
[0028]所述滑台本体1具有滑槽11，所述位移滑台3设于滑槽11内，所述位移滑台3的外壁与滑槽11的内壁贴合，保证位移滑台3的位移方向，保证位移精度，所述滑槽11一侧设有供压电陶瓷2运动的安装槽12，所述安装槽12朝向滑槽11一侧设有开口，所述开口用于电磁铁4与位移滑台3连接，所述开口的宽度小于位移滑台3朝向开口一侧的长度，由于公差的影响，所以需要保证位移滑台3的运动轨迹，不会因为偏移开口卡住位移滑台3的情况，所述安装槽12的设置方便压电陶瓷2的运动，同时方便压电陶瓷2和电磁铁4的安装。
[0029]所述压电陶瓷2与滑台本体1连接，所述滑台本体1设有装配孔，所述装配孔用于安装压电陶瓷2。
[0030]所述电磁铁4与压电陶瓷2驱动连接，所述位移滑台3跟随所述电磁铁4运动，以用于通过电磁铁4的磁力带动位移滑台3沿滑槽11运动。
[0031]所述压电陶瓷2设于位移滑台3的一侧，其中压电陶瓷2设于安装槽12内为最佳，方便安装同时可以带动位移滑台3的运动。
[0032]所述电磁铁4与位移滑台3贴合，保证电磁铁4工作时不会有拉动位移滑台3侧面位移，从而增大与滑槽11摩擦，影响使用寿命。
[0033]所述位移滑台3与滑槽11的设置方向均与压电陶瓷2的位移方向平行，保证位移滑台3的移动方向，不会造成额外的对滑槽11的摩擦。
[0034]本技术的工作原理：
[0035]压电陶瓷2加电压伸长移动时，电磁铁4加电带磁，位移滑台3与电磁铁4连接，位移滑台3移动距离与压电陶瓷2伸长距离一致，可以通过压电陶瓷2的特性精确计算到纳米级。压电陶瓷2电压消失，电磁铁4电压同时消失，压电陶瓷2由于本身特性会有少量回退，不影响滑台。负斜率运作时为同样效果。
[0036]本技术的主要有益效果：
[0037]本技术应用，使的由压电陶瓷2驱动的纳米粘滑移动台精度更高，移动数据更
准确。消除了原本由于压电陶瓷2特性导致的移动误差，使得移动距离可以做到纳米级定量。
[0038]最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本技术的具体实施方式，用以说明本技术技术方案，而非对其限制，本技术的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构，其特征在于，包括：滑台本体(1)，所述滑台本体(1)具有滑槽(11)；压电陶瓷(2)，所述压电陶瓷(2)与滑台本体(1)连接；位移滑台(3)，所述位移滑台(3)位于滑槽(11)内；电磁铁(4)，所述电磁铁(4)与压电陶瓷(2)驱动连接，所述位移滑台(3)跟随所述电磁铁(4)运动，以用于通过电磁铁(4)的磁力带动位移滑台(3)沿滑槽(11)运动。2.根据权利要求1所述的一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构，其特征在于：所述压电陶瓷(2)设于位移滑台(3)的一侧。3.根据权利要求2所述的一个电磁铁结合的压电驱动纳米粘滑台结构，其特征在于：所述滑槽(11)一侧设有供压电陶瓷(2)运动的安装槽(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：言峰，
申请(专利权)人：杭州葛兰帕科技有限公司，
类型：新型
国别省市：