一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质。方法包括：获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点；提取扫描图像中标记点的观测位置信息；基于扫描图像中的中心区域确定标记点的分布间距，并基于标记点的分布间距确定标记点的实际位置信息；基于各标记点的实际位置信息和观测位置信息确定校正矩阵，校正矩阵用于对目标对象的扫描图像进行校正处理。本方案通过对扫描电镜下集成电路图像确定失真校正点的位置和尺寸和失真校正点的理想不失真位置和尺寸，以及理想不失真图像和失真图像之间的映射关系，解决了扫描电镜成像的过程存在的透镜畸变等问题，提高了图像校正的高效性。提高了图像校正的高效性。提高了图像校正的高效性。

【技术实现步骤摘要】
一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质


[0001]本专利技术涉及图像处理
，尤其涉及一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质。

技术介绍

[0002]智能化已成为当今集成电路反向工程的主流趋势，即采用计算机视觉的方法来做图像分割、点线识别、元件识别等。
[0003]集成电路反向工程是通过对芯片内部电路的提取与分析、整理，实现对芯片技术原理、设计思路、工艺制造、结构机制等方面的深入洞悉。目前，扫描电镜在获得集成电路图像时，需要逐个区域进行扫描，最后通过拼接获得完整图像。
[0004]在扫描电镜成像的过程中电磁透镜存在透镜畸变，对精确成像带来困难，进而影响后续的拼接任务，降低图像校正的效率。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供了一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质，以解决了扫描电镜下扫描图像的畸变问题。
[0006]根据本专利技术的一方面，提供了一种图像校正方法，包括：
[0007]获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点；
[0008]提取扫描图像中标记点的观测位置信息；
[0009]基于扫描图像中的中心区域确定标记点的分布间距，并基于标记点的分布间距确定标记点的实际位置信息；
[0010]基于各标记点的实际位置信息和观测位置信息确定校正矩阵，校正矩阵用于对目标对象的扫描图像进行校正处理。
[0011]可选的，提取扫描图像中标记点的观测位置信息，包括：
[0012]对扫描图像进行二值化处理，得到二值化图像；
[0013]确定二值化图像中的连通域，提取各个连通域的中心点位置信息作为标记点的观测位置信息。
[0014]可选的，在确定二值化图像中的连通域之前，还包括：
[0015]对二值化图像进行膨胀处理和腐蚀处理。
[0016]可选的，在对扫描图像进行二值化处理之前，方法还包括：
[0017]对扫描图像进行图像增强处理，图像增强处理包括图像锐化处理。
[0018]可选的，基于扫描图像中的中心区域确定标记点的分布间距，包括：
[0019]基于扫描图像中的中心区域内，同一行/列的两个标记点的观测位置信息，以及两个标记点之间的间隔数量，确定相邻标记点之间的分布间距。
[0020]可选的，基于标记点的分布间距确定标记点的实际位置信息，包括：
[0021]基于扫描图像的中心点坐标、分布间距和标记点与中心点之间的间隔数量，确定
标记点的实际位置信息。
[0022]可选的，方法还包括：
[0023]获取集成电路板的扫描图像；
[0024]基于校正矩阵对集成电路板的扫描图像进行校正处理。
[0025]根据本专利技术的另一方面，提供了一种图像校正装置，包括：
[0026]扫描图像获取模块，用于获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点；
[0027]观测位置信息获取模块，用于提取扫描图像中标记点的观测位置信息；
[0028]实际位置信息确定模块，用于基于扫描图像中的中心区域确定标记点的分布间距，并基于标记点的分布间距确定标记点的实际位置信息；
[0029]校正矩阵确定模块，用于基于各标记点的实际位置信息和观测位置信息确定校正矩阵，校正矩阵用于对目标对象的扫描图像进行校正处理。
[0030]根据本专利技术的另一方面，提供了一种电子设备，电子设备包括：
[0031]至少一个处理器；以及
[0032]与至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
[0033]存储器存储有可被至少一个处理器执行的计算机程序，计算机程序被至少一个处理器执行，以使至少一个处理器能够执行本专利技术任一实施例的图像校正方法。
[0034]根据本专利技术的另一方面，提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储有计算机指令，计算机指令用于使处理器执行时实现本专利技术任一实施例的图像校正方法。
[0035]本专利技术实施例的技术方案，提供一种新的扫描电镜下模板对象的校正方法，通过扫描电镜下模板对象的扫描图像的特点获取模板对象的标记位的观测位置信息和实际位置信息；将模板对象的标记位的观测位置信息和实际位置信息之间的映射关系表示为矩阵，并利用多项式拟合失真，确定校正矩阵，得到畸变函数模型，进而完后畸变图像的校正，该方法计算简单，同时不需要标定板便可以进行图像校正，提高了图像校正的高效性。
[0036]应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本专利技术的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本专利技术的范围。本专利技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
[0037]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0038]图1是本专利技术实施例一提供的一种图像校正方法的流程图；
[0039]图2是本专利技术实施例提供的一种图像畸变的示意图；
[0040]图3是本专利技术实施例二提供的一种图像校正方法的流程图；
[0041]图4是本专利技术实施例三提供的一种图像校正装置的结构示意图；
[0042]图5是实现本专利技术实施例的图像校正方法的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[0043]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。
[0044]需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本专利技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0045]实施例一
[0046]图1是本专利技术实施例一提供的一种图像校正方法的流程图，本实施例可适用于扫描电镜下图像存在畸变的情况，该方法可以由图像校正装置来执行，该图像校正装置可以采用硬件和/或软件的形式实现，该图像校正装置可配置于计算机等电子设备中。如图1所示，该方法包括：
[0047]S110、获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点。
[0048]其中，模板对象指的是通过扫描电镜进行图像扫描的对象本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图像校正方法，其特征在于，包括：获取模板对象的扫描图像，所述模板对象中包括多个均匀分布的标记点；提取所述扫描图像中所述标记点的观测位置信息；基于所述扫描图像中的中心区域确定所述标记点的分布间距，并基于所述标记点的分布间距确定所述标记点的实际位置信息；基于各所述标记点的实际位置信息和观测位置信息确定校正矩阵，所述校正矩阵用于对目标对象的扫描图像进行校正处理。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述提取所述扫描图像中所述标记点的观测位置信息，包括：对所述扫描图像进行二值化处理，得到二值化图像；确定所述二值化图像中的连通域，提取各个连通域的中心点位置信息作为标记点的观测位置信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在确定所述二值化图像中的连通域之前，还包括：对所述二值化图像进行膨胀处理和腐蚀处理。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在对所述扫描图像进行二值化处理之前，所述方法还包括：对所述扫描图像进行图像增强处理，所述图像增强处理包括图像锐化处理。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述扫描图像中的中心区域确定所述标记点的分布间距，包括：基于所述扫描图像中的中心区域内，同一行/列的两个标记点的观测位置信息，以及所述两个标记点之间的间隔数量，确定相邻标记点之间的分布间距。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于所述标记点的分布间距确定所述标记点的实际位置信息，包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚跃，王治文，
申请(专利权)人：上海聚跃检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：