一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置制造方法及图纸

技术编号:37507528 阅读:27 留言:0更新日期:2023-05-07 09:45
本发明专利技术公开了一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,属于单晶硅生产加工领域,包括存储箱体和箱盖,箱盖盖合于存储箱体的顶部开口处,本发明专利技术提供了一种可用于单晶硅切片存储的装置,该装置在存储单晶硅切片时,能够对装置内部的湿气进行除湿以及监测处理,当装置内部湿气超过设定值时,还能够通过潮湿提醒模块及时向工作人员发出报警信号以起到提醒工作人员装置内部湿度已超标的作用,使得工作人员能够及时发现存储装置内部湿度较高的问题,并能够及时将装置内部所存储的单晶硅切片转移至湿度合格处存储,从而能够将单晶硅切片在存储的过程中受潮气危害的程度降到最低,有助于提高工作人员对所存储的单晶硅切片的维护效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置


[0001]本专利技术涉及单晶硅生产加工领域,更具体地说,涉及一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置。

技术介绍

[0002]单晶硅是单质硅的一种形态,熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。单晶硅切片是硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上,用于制造半导体器件、太阳能电池等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。
[0003]当前用于存储单晶硅切片的装置虽然都具备一定的密封性能,然而还无法将环境中的湿气完全隔离在存储装置的外部,导致存储装置内部的潮湿湿气容易沾附于单晶硅切片的表面,造成单晶硅切片表面被污染,使得由该单晶硅切片制成产品的合格率下降,并且,被潮湿的湿气污染其表面的单晶硅切片再次清洗烘干处理后,还会再次受到来自潮气的危害,不仅造成生产效率的下降,而且也会造成单晶硅切片会受到来自潮气的再次危害,造成由单晶硅所制成产品的合格率进一步下降,增加企业成本的同时,也势必会造成资源的浪费。

技术实现思路

[0004]1.要解决的技术问题针对现有技术中存在的问题,本专利技术的目的在于提供一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,本专利技术提供了一种可用于单晶硅切片存储的装置,该装置在存储单晶硅切片时,能够对装置内部的湿气进行除湿以及监测处理,当装置内部湿气超过设定值时,还能够通过潮湿提醒模块及时向工作人员发出报警信号以起到提醒工作人员装置内部湿度已超标的作用,使得工作人员能够及时发现存储装置内部湿度较高的问题,并能够及时将装置内部所存储的单晶硅切片转移至湿度合格处存储,从而能够将单晶硅切片在存储的过程中受潮气危害的程度降到最低,有助于提高工作人员对所存储的单晶硅切片的维护效率。
[0005] 2.技术方案为解决上述问题,本专利技术采用如下的技术方案。
[0006]一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,包括存储箱体和箱盖,所述箱盖盖合于存储箱体的顶部开口处,且所述箱盖与存储箱体铰接,所述箱盖底端的外周套接固定有上环形凸起部,所述存储箱体顶端的外周套接固定有与上环形凸起部相适配的下环形凸起部,所述存储箱体的底部固定有支架,所述存储箱体上设有潮湿提醒模块,所述下环形凸起部的顶面上连接有密封垫圈,所述下环形凸起部的顶部还开设有下U型开槽,所述下U型开槽内固定连接有与其相适配的U型磁块,所述上环形凸起部的底面上开设有上U型开槽,所述上U型开槽内连接有与U型磁块相配合作业的U型金属块,所述存储箱体内腔的底壁上均
匀连接有多个呈竖直布置的竖板,每个所述竖板上都竖向开设有供单晶硅切片插入的切片插槽;所述潮湿提醒模块包括小型抽气泵、声光报警器、屏障部件、潮湿感应机构、外监察部,所述外监察部设置于声光报警器的顶部,所述潮湿感应机构设置于存储箱体内腔的侧壁上;所述小型抽气泵的输入端连通有泵输入管,所述小型抽气泵的输出端连通有泵输出管,所述屏障部件设置于所述泵输出管远离小型抽气泵的一端上,所述声光报警器的后端面上连接有连接座,且所述连接座与存储箱体的侧壁相连接,所述声光报警器的外壳体内部设有电池盒,所述电池盒内腔的左侧固定连接有导电金属片A,所述电池盒内腔的右侧连接有导电金属片B,所述电池盒的内部还设有供电电池。
[0007]进一步的,所述小型抽气泵与存储箱体的侧壁相连接,所述泵输入端远离小型抽气泵的一端与存储箱体的侧壁相连通;所述U型磁块的顶面与下环形凸起部的顶面相齐平,所述U型金属块的底面与上环形凸起部的底面相齐平。
[0008]进一步的,所述供电电池处于导电金属片A和导电金属片B之间,且所述供电电池的正极端与导电金属片B表面抵紧,供电电池的负极端与导电金属片A的表面抵紧。
[0009]进一步的,所述屏障部件包括左部筒体和右部筒体,所述左部筒体的开口和右部筒体的开口相对,所述左部筒体远离右部筒体的一端上连通有送气管,所述右部筒体靠近左部筒体一端的内腔固定连接有与左部筒体内径尺寸相一致的内接环,且所述内接环与左部筒体的内壁之间通过螺纹连接,所述右部筒体的内部填充有活性炭吸附层,所述左部筒体的内部均匀连接有多根水平杆,多根所述水平杆上共同连接有过滤网;所述过滤网延伸至右部筒体的内部,且所述过滤网的外径尺寸与内接环的内径尺寸相一致,所述过滤网远离水平杆的一侧与活性炭吸附层相贴合;所述泵输出管远离小型抽气泵的一端与右部筒体远离左部筒体的一端相连通。
[0010]进一步的,所述潮湿感应机构包括横置筒体,所述横置筒体固定连接于存储箱体内腔的侧壁上,所述横置筒体的内部活动设置有与其相适配的密封活塞A,所述横置筒体开口的一端盖合有端部罩体,且所述端部罩体通过螺纹旋紧在横置筒体的开口端,所述密封活塞A靠近端部罩体的一侧连接有推板,所述推板远离密封活塞A的一端连接有伸缩杆,且所述伸缩杆远离推板的一端与端部罩体内腔的底壁相连接,所述横置筒体远离端部罩体的一端上连通有气体输送细管,所述横置筒体的内部填充有一定量的吸水树脂层,且所述吸水树脂层处于推板与端部罩体之间,所述密封活塞A与横置筒体内腔的底壁之间还填充有气体部,所述横置筒体的侧壁与吸水树脂层位置对应处连通有竖直布置的引出管;所述横置筒体开口端上连接有密封环,且所述密封环抵紧于所述端部罩体内腔底壁上;所述送气管远离左部筒体的一端与存储箱体的侧壁相连通并延伸至存储箱体的内腔之中,且所述送气管远离左部筒体的一端与端部罩体侧壁的下方相连通。
[0011]进一步的,所述引出管远离横置筒体的一端还连通有空心盒体,所述空心盒体的顶部开口处密封盖合有封板,所述封板上连通有出气管,所述空心盒体的内部由下到上分别连接有活性炭过滤网和PM.颗粒过滤网。
[0012]进一步的,所述外监察部包括透明的外空心玻璃棒和透明的内空心玻璃棒,所述外空心玻璃棒固定连接于声光报警器的顶部,所述内空心玻璃棒的外壁在纵向上设有刻度线,所述内空心玻璃棒固定连接于所述外空心玻璃棒内腔的底壁上,所述气体输送细管远离横置筒体的一端与外空心玻璃棒侧壁的下部相连通并延伸至外空心玻璃棒的内部,且所述气体输送细管延伸至外空心玻璃棒内部的一端再与内空心玻璃棒侧壁的下部相连通,所述外空心玻璃棒和内空心玻璃棒上部的左右侧均共同水平开设有横孔,且处于左侧的所述横孔内固定连接有左导电金属块,处于右侧的所述横孔内固定连接有右导电金属块,所述右导电金属块的顶面与左导电金属块的顶面相齐平,所述左导电金属块远离右导电金属块的一侧上连接有第一导线,所述右导电金属块远离左导电金属块的一侧上连接有第二导线;所述内空心玻璃棒的内部活动设置有与内空心玻璃棒内径尺寸相适配的密封活塞B,所述内空心玻璃棒的内部填充有气体部B,且所述气体部B处于密封活塞B与内空心玻璃棒内腔的底壁之间,所述密封活塞B远离竖直导杆的一侧上设有通电组件。
[0013]进一步的,所述通电组件包括水平绝缘管体,所述水平绝缘管体固定连接本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,其特征在于:包括存储箱体(1)和箱盖(2),所述箱盖(2)盖合于存储箱体(1)的顶部开口处,且所述箱盖(2)与存储箱体(1)铰接,所述箱盖(2)底端的外周套接固定有上环形凸起部(4),所述存储箱体(1)顶端的外周套接固定有与上环形凸起部(4)相适配的下环形凸起部(3),所述存储箱体(1)的底部固定有支架,所述存储箱体(1)上设有潮湿提醒模块,所述下环形凸起部(3)的顶面上连接有密封垫圈,所述下环形凸起部(3)的顶部还开设有下U型开槽,所述下U型开槽内固定连接有与其相适配的U型磁块,所述上环形凸起部(4)的底面上开设有上U型开槽,所述上U型开槽内连接有与U型磁块相配合作业的U型金属块,所述存储箱体(1)内腔的底壁上均匀连接有多个呈竖直布置的竖板(10),每个所述竖板(10)上都竖向开设有供单晶硅切片插入的切片插槽;所述潮湿提醒模块包括小型抽气泵(8)、声光报警器(6)、屏障部件、潮湿感应机构、外监察部,所述外监察部设置于声光报警器(6)的顶部,所述潮湿感应机构设置于存储箱体(1)内腔的侧壁上;所述小型抽气泵(8)的输入端连通有泵输入管,所述小型抽气泵(8)的输出端连通有泵输出管,所述屏障部件设置于所述泵输出管远离小型抽气泵(8)的一端上,所述声光报警器(6)的后端面上连接有连接座(5),且所述连接座(5)与存储箱体(1)的侧壁相连接,所述声光报警器(6)的外壳体内部设有电池盒(12),所述电池盒(12)内腔的左侧固定连接有导电金属片A(14),所述电池盒(12)内腔的右侧连接有导电金属片B(15),所述电池盒(12)的内部还设有供电电池(13)。2.根据权利要求1所述的一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,其特征在于:所述小型抽气泵(8)与存储箱体(1)的侧壁相连接,所述泵输入端远离小型抽气泵(8)的一端与存储箱体(1)的侧壁相连通;所述U型磁块的顶面与下环形凸起部(3)的顶面相齐平,所述U型金属块的底面与上环形凸起部(4)的底面相齐平。3.根据权利要求1所述的一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,其特征在于:所述供电电池(13)处于导电金属片A(14)和导电金属片B(15)之间,且所述供电电池(13)的正极端与导电金属片B(15)表面抵紧,供电电池(13)的负极端与导电金属片A(14)的表面抵紧。4.根据权利要求1所述的一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,其特征在于:所述屏障部件包括左部筒体(900)和右部筒体(901),所述左部筒体(900)的开口和右部筒体(901)的开口相对,所述左部筒体(900)远离右部筒体(901)的一端上连通有送气管,所述右部筒体(901)靠近左部筒体(900)一端的内腔固定连接有与左部筒体(900)内径尺寸相一致的内接环(904),且所述内接环(904)与左部筒体(900)的内壁之间通过螺纹连接,所述右部筒体(901)的内部填充有活性炭吸附层(902),所述左部筒体(900)的内部均匀连接有多根水平杆,多根所述水平杆上共同连接有过滤网(903);所述过滤网(903)延伸至右部筒体(901)的内部,且所述过滤网(903)的外径尺寸与内接环(904)的内径尺寸相一致,所述过滤网(903)远离水平杆的一侧与活性炭吸附层(902)相贴合;所述泵输出管远离小型抽气泵(8)的一端与右部筒体(901)远离左部筒体(900)的一端相连通。5.根据权利要求4所述的一种具有潮湿提醒功能的单晶硅存储装置,其特征在于:所述
潮湿感应机构包括横置筒体(1100),所述横置筒体(1100)固定连接于存储箱体(1)内腔的侧壁上,所述横置筒体(1100)的内部活动设置有与其相适配的密封活塞A(1105),所述横置筒体(1100)开口的一端盖合有端部罩体(1101),且所述端部罩体(1101)通过螺纹旋紧在横置筒体(1100)的开口端,所述密封活塞A(1105)靠近端部罩体(1101)的一侧连接有推板(1104),所述推板(1104)远离密封活塞A(1105)的一端连接有伸缩杆(1103),且所述伸缩杆(1103)远离推板(1104)的一端与端部罩体(1101)内腔的底壁相连接,所述横置筒体(1100)远离端部罩体(1101)的一端上连通有气体输送细管,所述横置筒体(1100)的内部填充有一定量的吸水树脂层(1102),且所述吸水树脂层(1102)处于推板(1104)与端部罩体(1101)之间,所述密封活塞A(1105)与横置筒体(1100)内腔的底壁之间还填充有气体部(1106),所述横置筒体(1100)的侧壁与吸水树脂层(1102)位置对应处连通有竖直布置的引...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐建均周同义
申请(专利权)人:南通友拓新能源科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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