一种方便排线的光刻机支撑平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种方便排线的光刻机支撑平台，包括钢构底座，所述钢构底座由H型钢焊接而成，型钢组成的矩形空档中沿对角线焊接加强梁，外围焊接加强筋；钢构底座上焊接一块水平放置的钢板作为混凝土底部挡板，在底部挡板的四个边缘各焊接一块竖直放置的钢板作为混凝土侧面挡板；在所述五块混凝土挡板形成的盒状空间内横纵排列焊接螺纹钢成网状，在网状螺纹钢上焊接螺纹孔预埋件并浇筑混凝土，浇筑环氧树脂保护层。本实用新型专利技术提供的支撑平台，能满足NIKON光刻机对安装精度的需求，对抗震动的需求以及对支撑刚度的需求，从而使NIKON光刻机能够正常运行，同时具有安装便捷，重量轻，配管方便等优点。配管方便等优点。配管方便等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种方便排线的光刻机支撑平台


[0001]本技术涉及半导体设备支撑平台
，具体涉及一种方便排线的光刻机支撑平台。

技术介绍

[0002]光刻机是半导体芯片行业的核心机器，在芯片制成的过程中占据不可替代的地位，属于高精密仪器。其中NIKON光刻机是行业中使用量较多的光刻机，有特定的防震动和刚度需求，需要配备相应的专用支撑平台。
[0003]中国专利CN101581347B公开了一种减振支撑装置及采用该减振支撑装置的光刻机。该减振支撑装置包括支撑板、与该支撑板相对设置的气浮块、主气缸，该支撑板包括基板、设置在该基板四周的侧壁和设置在该基板中心位置的导向孔，该气浮块包括挡板、设置在该挡板四周的侧壁和设置在该挡板中心位置的导向杆，该导向杆和该导向孔相配合形成一静压空气轴承，该支撑板的侧壁和该气浮块的侧壁通过波纹管密封连接，该支撑板、该气浮块、该波纹管和该主气缸所围空间内充满压力气体，形成一空气弹簧；
[0004]现有的支撑平台普遍存在结构笨重，二次配排管线不方便，安装工序复杂，刚性差等问题，在这种情况下导致NIKON光刻机投入使用前的等待时间长，二次施工不便。因此研发一种结构相对轻便，安装便利，排管线方便的高刚性支撑平台十分有必要。

技术实现思路

[0005]本技术的目的就在于解决支撑平台普遍存在结构笨重，二次配排管线不方便，安装工序复杂，刚性差等问题，而提出一种方便排线的光刻机支撑平台。
[0006]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0007]一种方便排线的光刻机支撑平台，包括:
[0008]钢构底座，钢构底座上表面设置有底部挡板，底部挡板的侧壁上设置有侧面挡板；
[0009]底部挡板上预留有开口，开口内竖直设置有开孔挡板，底部挡板内焊接有横纵排列形成网状的螺纹钢；
[0010]以及，底部挡板内浇筑混凝土形成平整的水泥面板。
[0011]作为本技术进一步的方案：钢构底座由H型钢焊接而成，钢构底座为顶部开口的方形结构。
[0012]作为本技术进一步的方案：钢构底座的底部上矩形阵列设置有多个矩形空挡，在矩形空挡内沿对角线焊接加强梁。
[0013]作为本技术进一步的方案：钢构底座的侧壁上等间距设置有多个加强筋。
[0014]作为本技术进一步的方案：钢构底座的型钢侧面预留开孔。
[0015]作为本技术进一步的方案：钢构底座的型钢底部预留安装孔。
[0016]作为本技术进一步的方案：螺纹钢上焊接圆形螺纹孔预埋件和方形螺纹孔预埋件。
[0017]作为本技术进一步的方案：水泥面板上浇筑有环氧树脂保护层。
[0018]本技术的有益效果：
[0019]本技术采用上半部分钢筋混凝土下半部分钢构的结构比一般的同尺寸的纯钢筋混凝土结构的支撑平台重量要轻；在型钢底部打安装孔可直接打膨胀螺丝，省去用压块压住支撑平台底部来固定的工序流程，提高了安装效率；在支撑平台表面开孔通到钢构框架内部，并在钢构框架侧面切割出通孔方便NIKON光刻机的管线直接从支撑平台内部排布并引出，使管线排布更方便而且节省空间。
附图说明
[0020]下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0021]图1为本技术的等轴测立体图；
[0022]图2为本技术未浇灌混凝土时的等轴测立体图；
[0023]图3为本技术的仰视图；
[0024]图4为本技术的剖视图；
[0025]图中：1、侧面挡板；2、加强筋；3、钢构底座；4、开孔挡板；5、圆形螺纹孔预埋件；6、方形螺纹孔预埋件；7、环氧树脂保护层；8、螺纹钢；9、加强梁；10、底部挡板；301、开孔；302、安装孔。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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4所示，本技术为一种方便排线的光刻机支撑平台，包括侧面挡板1，加强筋2，钢构底座3，内部开孔挡板4，圆形螺纹孔预埋件5，方形螺纹孔预埋件6，环氧树脂保护层7，螺纹钢8，加强梁9，底面挡板10；
[0028]钢构底座3上表面焊接一块水平放置的钢板作为混凝土底部挡板10，在底部挡板10的四个边缘各焊接一块竖直放置的钢板作为混凝土侧面挡板11，底部挡板10上预留有开口，沿着开口轮廓焊接竖直放置的钢板作为内部开孔挡板4，在由侧面挡板1和底部挡板10围成的盒状内焊接横纵排列形成网状的螺纹钢8，在网状螺纹钢8上焊接圆形螺纹孔预埋件5和方形螺纹孔预埋件6，并在盒状空间内浇筑混凝土形成平整的水泥面板，并在水泥面板上浇筑环氧树脂保护层7；
[0029]其中，钢构底座3由H型钢焊接而成，钢构底座3为顶部开口的方形结构，钢构底座3的底部上矩形阵列设置有多个矩形空挡，在矩形空挡内沿对角线焊接加强梁9，钢构底座3的侧壁上等间距设置有多个加强筋2；
[0030]钢构底座3的型钢侧面预留开孔301与内部空间贯通，方便内部开孔挡板4围成的开孔中的设备管线从内部引出，不需要额外提供空间排布设备管线；
[0031]钢构底座3的型钢底部预留安装孔302，支撑平台安装时直接在安装孔302内打膨胀螺丝固定，省去压块固定，提高安装效率；
[0032]钢构底座3的型钢围成的矩形空档中沿对角线焊接加强梁9，形成两个三角形，利用了三角形的稳定性保证型钢框架不会扭曲变形，提高了型钢框架的强度；
[0033]钢构底座3周边焊接的加强筋2所在位置与H型钢中间板腹板一一对应且在同一条直线上，整体框架构造出一条条贯穿长、宽方向的骨架，提高框架了强度；
[0034]本技术的NIKON光刻机的支撑平台，上半部分为钢筋混凝土结构，具有良好的刚性以及高阻尼满足NIKON光刻机的支撑和防震需求，下半部分为型钢结构，在同等长宽高尺寸下重量远小于钢筋混凝土结构，达到减重的目的。
[0035]NIKON光刻机的支撑平台的组装通过以下步骤：
[0036]首先按指定长度截取H型钢，并在两头进行适当切割方便互相垂直的H型钢可充分对接，用H型钢焊接形成钢构底座3，型钢组成的矩形空档中沿对角线焊接加强梁9，外围焊接加强筋2，并在四周型钢底部打安装孔302，在四周型钢的侧面切割出开口；
[0037]然后在钢构底座3上表面铺上混凝土底部挡板10，底部挡板10边缘超出钢构底座3边缘10mm左右作为焊缝空间，将混凝土底部挡板10定位好后与钢构框架焊接在一块，在底部挡板的四个边缘各焊接一块竖直放置的钢板作为混凝土侧面挡板1，焊接时用直角尺靠住保证垂直度；底部挡板在适宜的位置留有开口，沿着开口轮廓焊接竖直放置的钢板作为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方便排线的光刻机支撑平台，其特征在于，包括:钢构底座(3)，钢构底座(3)上表面设置有底部挡板(10)，底部挡板(10)的侧壁上设置有侧面挡板(1)；底部挡板(10)上预留有开口，开口内竖直设置有开孔挡板(4)，底部挡板(10)内焊接有横纵排列形成网状的螺纹钢(8)；以及，底部挡板(10)内设置有水泥面板。2.根据权利要求1所述的一种方便排线的光刻机支撑平台,其特征在于，钢构底座(3)由H型钢焊接而成，钢构底座(3)为顶部开口的方形结构。3.根据权利要求2所述的一种方便排线的光刻机支撑平台,其特征在于，钢构底座(3)的底部上矩形阵列设置有多个矩形空挡，在矩形空挡内沿对角线焊接加强梁...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵江民，
申请(专利权)人：合肥玖福半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：