电镀液自动管控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电镀液自动管控装置，包括：电镀液槽、循环泵组件、滤芯罐组件、自动分析组件和补液组件，电镀液槽连接循环泵组件，循环泵组件连接滤芯罐组件，接滤芯罐组件连接自动分析组件和电镀液槽，补液组件连接电镀液槽，自动分析组件和补液组件至少连接一组电镀液槽、循环泵组件和滤芯罐组件，本实用新型专利技术提供了一种自动取样、自动检测、自动添加、自动上传数据的电镀液自动管控装置。动上传数据的电镀液自动管控装置。动上传数据的电镀液自动管控装置。

【技术实现步骤摘要】
电镀液自动管控装置


[0001]本技术涉及半导体电镀领域，更具体涉及一种电镀液自动管控装置。

技术介绍

[0002]电镀是指通过电化学原理在框架表面沉积一层镀层。是半导体集成电路工艺制造过程的重要工艺，因此电镀液的成分、浓度等参数对镀层的质量至关重要。
[0003]目前电镀液的浓度管控是通过实验室检测并管控的，首先要人工取样，再手动检测各管控项目的数据，再根据各项目的管控目标值用计算机计算出调整所需的添加量，最后由人工将各种药液添加进电镀槽内，待混合均匀后才能开始生产，并需要做好数据记录保存工作。
[0004]主要存在以下缺点：
[0005]1.人工取样费时费力，电镀液具有腐蚀性，存在与皮肤接触的风险。不同的电镀液有不同的温度使用要求，人工取样到检测时，电镀液的温度已经发生变化，检测出来的浓度也会受到影响，取样前需要排出部分管道中残留的电镀液，避免影响检测数据。
[0006]2.手动检测时，需要提前准备大量标准溶液，还要对样品进行前处理工作，取样时存在人为误差，会对最终的检测结果有一定影响。
[0007]3.人工添加药液时，是用电泵将各成份抽进槽内，添加时需要将电镀机暂停生产，再进行添加，待添加完后还需要循环充分，再重新检测对应项目，确保数据在管控范围内之后才能继续生产，添加周期长，暂停生产还会影响产量。
[0008]4.数据记录时，需要人工操作，不同的项目需要做不同的记录，要先记录至本地存档，再上传至SPC系统，要经过几次重复的数据记录工作，费时费力。
技术内容
[0009]为了解决上述问题，本技术的目的在于提供了一种自动取样、自动检测、自动添加、自动上传数据的电镀液自动管控装置。
[0010]根据本技术的一个方面，提供了电镀液自动管控装置，包括：电镀液槽、循环泵组件、滤芯罐组件、自动分析组件和补液组件，电镀液槽连接循环泵组件，循环泵组件连接滤芯罐组件，接滤芯罐组件连接自动分析组件和电镀液槽，补液组件连接电镀液槽，自动分析组件和补液组件至少连接一组电镀液槽、循环泵组件和滤芯罐组件。通过利用循环泵抽取电镀液进行分析同时将补液组件中输送的电镀液补液同时回流到电镀液槽中；利用自动分析组件对抽取的电镀液进行分析、记录同时控制补液组件添加适量的补液，实现上传数据功能，对电镀液进行自动化管控；利用滤芯罐组件对电镀液进行过滤的同时对自动分析组件的进液流量进行调节。
[0011]在一些实施方式中，循环泵组件包括第一出液管、循环泵和第二出液管，第一出液管连接循环泵和电镀液槽，第二出液管连接循环泵和滤芯罐组件。通过循环泵将电镀液槽和滤芯罐三个部分用管路连接形成过滤循环，便于实现电镀液的添加和分析。
[0012]在一些实施方式中，滤芯罐组件包括：滤芯罐、流量调节阀、第三出液管和第四出液管，第三出液管连接滤芯罐和电镀液槽，第四出液管连接自动分析组件和补液组件最后回流至电镀液槽。利用滤芯罐必然对流经的电镀液进行过滤，通过流量调节阀对自动分析组件的进液流量进行调节。
[0013]在一些实施方式中，第二出液管连接循环泵和滤芯罐。通过第二出液管连通循环泵和滤芯罐，实现电镀液的循环。
[0014]在一些实施方式中，自动分析组件包括：第五出液管、加液器和电镀液分析仪，第五出液管的一端连通第四出液管，第五出液管的另一端连通加液器，加液器连接至少一个电镀液分析仪。通过第五出液管和加液器将电镀液槽中的电镀液提取到电镀液分析仪进行检测分析，然后电镀液分析仪将所得出的数据传输给控制计算机进行数据的记录和分析。
[0015]在一些实施方式中，补液组件包括：蠕动泵、补液桶和第六出液管，蠕动泵连通补液桶，蠕动泵的输出端通过第六出液管连接第四出液管，第六出液管在第四出液管上的接入点位于第五出液管在第四出液管上的接入点的后方。利用蠕动泵将补液桶中的电镀液补液输送至第四出液管，进而回流到电镀液槽，保证电镀液的成分。
[0016]在一些实施方式中，加液器和电镀液分析仪连接控制计算机，控制计算机连接且控制蠕动泵运转或者停止，控制计算机控制加液器运转或者停止。控制计算机实现电镀液分析数据的记录分析，通过计算控制蠕动泵抽取相应的电镀液补液注入四出液管，进而回流至电镀液槽内，进而调整电镀液的陈芬或者浓度。
[0017]在一些实施方式中，蠕动泵、补液桶和第六出液管均设有多组。便于利用控制计算机、补液组件和自动分析组件与一个或多个电镀液槽的管路连接，提高效率。
[0018]本技术与现有技术相比具有结构自动取样、自动检测、自动添加、自动上传数据的有益效果；本技术具有：1、在线分析仪直接从分析循环中取样，无需人工取样，省时省力，且避免了与电镀液直接接触的风险，循环管路中的液体是实时流动的，保证了检测取样与电镀槽内电镀液的一致性；
[0019]2、在线分析仪通过自动加液器取样，比手动取样更加精确，取样之后会自动对样品进线前处理，并自动分析各成份的浓度，节省人力且分析误差小；
[0020]3、在线分析仪检测完电镀液的各成份浓度后，会根据设定的公式自动计算各成份的添加量，然后通过蠕动泵精确且缓慢地添加到进液管路中，随分析循环加进电镀槽里，边添加边循环，对电镀液影响小，且无需人工添加，避免加错液；
[0021]4、在线分析仪具有数据上传功能，检测完后会自动将数据上传至SPC系统，无需人员手动上传。
附图说明
[0022]图1是本技术电镀液自动管控装置的结构示意图。
具体实施方式
[0023]下面结合附图所示的各实施方式对本技术进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本技术的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法或者结构上的等效变换或替代，均属于本技术的保护范围之内。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解所述术语的具体含义。
[0025]如图1所示，本技术所述的电镀液自动管控装置，包括：电镀液槽1、循环泵组件2、滤芯罐组件3、自动分析组件4和补液组件5，电镀液槽1连接循环泵组件2，循环泵组件2连接滤芯罐组件3，接滤芯罐组件3连接自动分析组件4和电镀液槽1，补液组件5连接电镀液槽1，自动分析组件4和补液组件5至少连接一组电镀液槽1、循环泵组件2和滤芯罐组件3。通过利用循环泵22抽取电镀液进行分析同时将补液组件5中输送的电镀液补液同时回流到电镀液槽1中；利用自动分析组件4对抽取的电镀液进行分析、记录同时控制补液组件5添加适量的补液，实现上传数据功能，对电镀液进行自动化管控；利用滤芯罐组件3对电镀液进行过滤的同时对自动分析组件4的进液流量进行调节。
[0026]在具体进行实施时：
[0027]电镀液槽1中的电镀液经第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.电镀液自动管控装置，其特征在于，包括：电镀液槽、循环泵组件、滤芯罐组件、自动分析组件和补液组件，所述电镀液槽连接循环泵组件，所述循环泵组件连接滤芯罐组件，所述接滤芯罐组件连接自动分析组件和电镀液槽，所述补液组件连接电镀液槽，所述自动分析组件和补液组件至少连接一组电镀液槽、循环泵组件和滤芯罐组件。2.根据权利要求1所述的电镀液自动管控装置，其特征在于，所述循环泵组件包括第一出液管、循环泵和第二出液管，所述第一出液管连接循环泵和电镀液槽，所述第二出液管连接循环泵和滤芯罐组件。3.根据权利要求2所述的电镀液自动管控装置，其特征在于，所述滤芯罐组件包括：滤芯罐、流量调节阀、第三出液管和第四出液管，所述第三出液管连接滤芯罐和电镀液槽，所述第四出液管连接自动分析组件和补液组件最后回流至电镀液槽。4.根据权利要求3所述的电镀液自动管控装置，其特征在于，所述第二出液管连接循...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦芹，许艳林，
申请(专利权)人：江苏芯德半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：