一种上下料装置及泛半导体加工设备制造方法及图纸

本申请涉及泛半导体技术领域，具体而言，涉及一种上下料装置及泛半导体加工设备。上下料装置包括支撑结构、中转载台、料盒、抓手机构和中转机构，料盒用于存放产品；抓手机构用于将料盒中的产品放在中转载台上，抓手机构还用于将中转载台上的产品放回料盒内；中转载台位于料盒和中转机构之间，中转机构用于将产品从中转载台上移动至加工装置处，中转机构还用于将加工完成的产品从加工装置处转移回中转载台上。本申请通过抓手机构将料盒中的产品取出放置到中转载台上，并由中转机构将位于中转载台上产品移动到加工装置处进行加工，在加工装置加工完成后，中转机构再将加工完成的产品移回到中转载台上，并由抓手机构将加工完成的产品放回料盒中。品放回料盒中。品放回料盒中。

【技术实现步骤摘要】
一种上下料装置及泛半导体加工设备


[0001]本技术涉及泛半导体
，具体而言，涉及一种上下料装置及泛半导体加工设备。

技术介绍

[0002]现有的上下料装置，需要通过取料抓手将产品从料盒中取出，并且先经过定位装置调整产品的方向，在继续带动产品移动至加工装置处，其整体的运行路径为一条直线，等产品加工完成后，取料装置再将加工完成的产品沿之前的运行路径反向移动，并将产品放回料盒内，此时才能进行第二件产品的上下料，其整体的效率过低。

技术实现思路

[0003]本技术解决的问题是现有上下料装置的整体效率过低。
[0004]一方面，为解决上述问题，本技术提供一种上下料装置，所述上下料装置包括支撑结构、中转载台、料盒、抓手机构和中转机构，所述中转载台安装于所述支撑结构上；所述料盒安装于所述支撑结构上，所述料盒用于存放产品；所述抓手机构安装于所述支撑结构上，所述抓手机构用于将所述料盒中的所述产品放在所述中转载台上，所述抓手机构还用于将所述中转载台上的所述产品放回所述料盒内；所述中转载台位于所述料盒和所述中转机构之间，所述中转机构用于将所述产品从所述中转载台上移动至加工装置处，所述中转机构还用于将加工完成的所述产品从所述加工装置处转移回所述中转载台上。
[0005]可选地，所述中转载台包括第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部分别活动安装于所述支撑结构上，所述第一夹持部和所述第二夹持部适于沿第一方向移动，所述第一夹持部与所述第二夹持部之间的间距可以调节。
[0006]可选地，所述上下料装置还包括驱动组件，所述驱动组件安装于所述支撑结构上，所述驱动组件分别与所述第一夹持部和所述第二夹持部驱动连接，所述驱动组件适于驱动所述第一夹持部和所述第二夹持部沿相反的方向移动。
[0007]可选地，所述驱动组件包括第一驱动机构、第一带轮、第二带轮和皮带，所述皮带部分环绕于所述第一带轮和所述第二带轮上，所述第一驱动机构与所述第一带轮驱动连接，所述第一驱动机构适于驱动所述第一带轮绕第二方向转动，所述第二带轮适于通过所述皮带与所述第一带轮传动连接，所述第一夹持部和所述第二夹持部安装于所述皮带上，所述第一夹持部和所述第二夹持部适于跟随所述皮带移动。
[0008]可选地，所述上下料装置还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构安装于所述支撑结构上，所述第二驱动机构与所述料盒驱动连接，所述第二驱动机构适于驱动所述料盒沿第二方向移动。
[0009]可选地，所述抓手机构包括第一连接件、第一夹板和第二夹板，所述第二驱动机构与所述第一连接件驱动连接，所述第一夹板安装于所述第一连接件上，所述第二夹板活动安装于所述第一连接件上，所述第二夹板适于向靠近或远离所述第一夹板的方向移动。
[0010]可选地，所述上下料装置还包括弹性件，所述第一夹板与所述第一连接件滑动连接，所述第一夹板适于沿第三方向移动，所述弹性件分别与所述第一连接件和所述第一夹板连接，所述弹性件适于沿第三方向移动。
[0011]可选地，所述中转机构包括第二连接件、第一抓手组件和第二抓手组件，所述第二连接件适于绕第一方向转动；所述第一抓手组件安装于所述第二连接件上；所述第二抓手组件安装于所述第二连接件上，所述第一抓手组件和所述第二抓手组件用于抓取产品，所述第二连接件的转动中心位于所述第一抓手组件和所述第二抓手组件之间，所述第一抓手组件和所述第二抓手组件中心对称设置。
[0012]可选地，所述上下料装置还包括第三驱动机构，所述第三驱动机构安装于所述支撑结构上，所述第三驱动机构与所述抓手机构驱动连接，所述第三驱动机构适于驱动所述抓手机构沿第三方向移动。
[0013]另一方面，本技术实施例还提供一种泛半导体加工设备，包括如上所述的上下料装置。
[0014]相对于现有技术，本技术实施例提供的上下料装置所具有的有益效果是：
[0015]通过抓手机构将料盒中的产品取出放置到中转载台上，并由中转机构将位于中转载台上产品移动到加工装置处进行加工，在加工装置加工完成后，中转机构再将加工完成的产品移回到中转载台上，并由抓手机构将加工完成的产品放回料盒中。并且在加工装置加工产品时，抓手机构可以同步将新的待加工产品由料盒中移出，并将产品放置在中转载台上，在加工装置将产品加工完成后，中转机构可以同时将加工完成的产品和待加工的产品调换位置，以此增加整体加工效率。
附图说明
[0016]图1为本技术的上下料装置的一实施例结构示意图；
[0017]图2为本技术的上下料装置的另一实施例结构示意图；
[0018]图3为本技术的中转载台的一实施例结构示意图；
[0019]图4为本技术的中转载台的另一实施例结构示意图；
[0020]图5为本技术的抓手机构的一实施例结构示意图；
[0021]图6为图5中A处的局部放大图；
[0022]图7为本技术的中转机构的一实施例结构示意图。
[0023]附图标记说明：
[0024]1‑
支撑结构；2
‑
中转载台；21
‑
第一夹持部；22
‑
第二夹持部；3
‑
料盒；31
‑
立板；4
‑
抓手机构；41
‑
第一连接件；42
‑
第一夹板；43
‑
第二夹板；5
‑
中转机构；51
‑
第二连接件；52
‑
第一抓手组件；53
‑
第二抓手组件；6
‑
驱动组件；61
‑
第一驱动机构；62
‑
第一带轮；63
‑
第二带轮；64
‑
皮带；7
‑
第二驱动机构；8
‑
弹性件；9
‑
第三驱动机构。
具体实施方式
[0025]术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或转动连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0026]本技术的实施例的附图中设置有坐标系XYZ，其中X轴的正向代表右方，X轴的反向代表左方，Z轴的正向代表上方，Z轴的反向代表下方，Y轴的正向代表前方，Y轴的反方向代表后方，且术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”和“右”等指示的方向或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种上下料装置，其特征在于，包括：支撑结构；中转载台，所述中转载台安装于所述支撑结构上；料盒，所述料盒安装于所述支撑结构上，所述料盒用于存放产品；抓手机构，所述抓手机构安装于所述支撑结构上，所述抓手机构用于将所述料盒中的所述产品放在所述中转载台上，所述抓手机构还用于将所述中转载台上的所述产品放回所述料盒内；中转机构，所述中转载台位于所述料盒和所述中转机构之间，所述中转机构用于将所述产品从所述中转载台上移动至加工装置处，所述中转机构还用于将加工完成的所述产品从所述加工装置处转移回所述中转载台上。2.根据权利要求1所述的上下料装置，其特征在于，所述中转载台包括第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部分别活动安装于所述支撑结构上，所述第一夹持部和所述第二夹持部适于沿第一方向移动，所述第一夹持部与所述第二夹持部之间的间距可以调节。3.根据权利要求2所述的上下料装置，其特征在于，还包括驱动组件，所述驱动组件安装于所述支撑结构上，所述驱动组件分别与所述第一夹持部和所述第二夹持部驱动连接，所述驱动组件适于驱动所述第一夹持部和所述第二夹持部沿相反的方向移动。4.根据权利要求3所述的上下料装置，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动机构、第一带轮、第二带轮和皮带，所述皮带部分环绕于所述第一带轮和所述第二带轮上，所述第一驱动机构与所述第一带轮驱动连接，所述第一驱动机构适于驱动所述第一带轮绕第二方向转动，所述第二带轮适于通过所述皮带与所述第一带轮传动连接，所述第一夹持部和所述第二夹持部安装于所述皮带上，所述第一夹持部和所述第二夹持部适于跟随所述皮带移动。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟耿，李东宇，曾威，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：深圳市大族半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：