一种感应线圈表面绝缘处理的方法技术

本发明专利技术公开了一种感应线圈表面绝缘处理的方法，具体步骤为：将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，然后在感应线圈外表面设置绝缘层。通过在感应线圈所有外表面均匀形成一层致密的釉，利用釉层的绝缘性、耐高温性及其与感应线圈外表面的良好附着性来达到本发明专利技术的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于，特别是一种适用于高温下使用的感应线圈表面绝缘处理的方法，尤其是适用于在碳化硅、氮化铝晶体高温下生长使用的感应线圈表面绝缘处理的方法。
技术介绍
目前常规的感应线圈表面绝缘处理方法，一般是在感应线圈外表面涂刷绝缘漆、用绝缘带和/或玻璃丝布缠绕包扎。经过这样处理，感应线圈外表面绝缘性很好，也可以在真空状态下正常使用，解决了感应线圈"打弧"问题。但是，其中起可靠绝缘作用的绝缘漆耐温不高( 一般低于300°C )，对于更高温度的使用环境，这种绝缘处理方法就不够可靠。
技术实现思路
本专利技术针对常规感应线圈表面绝缘处理方法存在的缺陷，提出了一种适合于高温(大于300°C )下使用的中频感应线圈(频率1000-lOOOOHz)表面绝缘处理的方法。尤其是适用于在碳化硅、氮化铝晶体高温下生长使用的中频感应线圈表面绝缘处理的方法。 本专利技术是这样实现的将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，然后在感应线圈所有外表面均匀形成一层致密的耐高温绝缘层。该绝缘层的材质为釉质，其体电阻率大于106欧姆*厘米；绝缘层的形成方法可以用浸蘸、喷涂、涂敷和/或烧结；绝缘层的厚度为0. Olmm 2mm，优选0. 1 lmm ;利用釉层绝缘性其及耐高温性来达到本专利技术的目的。另外，由于感应线圈与绝缘层的材质性质相似，使绝缘层能够良好的附着在感应线圈上。 经过这样表面绝缘处理的感应线圈可以将其适用温度上限提高到70(TC，使其适用于在碳化硅、氮化铝晶体高温下生长使用。在经过该方法绝缘处理的感应线圈上通1000-10000Hz， l-100A交变电流，在10—5_106Pa氩气、氦气和/或氮气环境内，工作10000小时以上，未见绝缘层开裂及感应线圈放电、即"打弧"现象。附图说明 图1为感应线圈表面绝缘涂层截面示意图； 图中标记1.线圈表面绝缘层；2.冷却水；3.感应线圈。具体实施方式 实施例一 将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，酸洗步骤采用稀盐酸(酸洗常用的化学用剂)，然后在感应线圈所有外表面均匀喷涂上一层0. Olmm厚的陶瓷釉，冷却之后即可在感应线圈外表面形成致密的耐高温绝缘层。经处理后得到如图l所示的结构，在感应线圈上通1000Hz， 100安培交变电流，10—5Pa氩气环境内，工作10000小时，未见绝缘层开裂及感应线圈放电现象。 实施例二 将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，然后将感应线圈浸入熔融的陶瓷釉熔体中、旋即提出，使感应线圈外表面浸蘸上一层lmm厚的陶瓷釉。冷却之后即可在感应线圈外表面形成致密的耐高温绝缘层。在感应线圈上通10000Hz， IO安培交变电流，106Pa氮气环境内，工作40000小时，未见绝缘层开裂及感应线圈放电现象。 实施例三 将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，在感应线圈所有外表面均匀涂敷一层搪瓷釉粉，然后送入高温炉内烧结成搪瓷釉。将感应线圈倒转，重复以上涂敷粉、烧结过程，2-4次之后即可在感应线圈外表面形成2mm厚的致密耐高温绝缘层。在感应线圈上通5000Hz， 20安培交变电流，103Pa氦气环境内，工作30000小时，未见绝缘层开裂及感应线圈放电现象。 实施例四 将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，然后在感应线圈所有外表面均匀喷涂上一层0. 3mm厚的陶瓷釉，冷却之后即可在感应线圈外表面形成致密的耐高温绝缘层。在感应线圈上通3000Hz， 30安培交变电流，104Pa氩气环境内，工作20000小时，未见绝缘层开裂及感应线圈放电现象。 应该指出，上述的具体实施方式只是对本专利技术进行详细说明，它不应是对本专利技术的限制。对于熟悉本领域技术的人员而言，在不偏离权利要求的宗旨和范围时，可以有多种形式和细节的变化。权利要求，具体步骤为将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，然后在感应线圈外表面设置绝缘层，绝缘层材质为釉质。2. 根据权利要求1所述感应线圈表面绝缘处理的方法，其特征在于所述釉质体电阻率大于io6欧姆*厘米。3. 根据权利要求1所述感应线圈表面绝缘处理的方法，其特征在于所述绝缘层的设置方法为浸蘸、喷涂、涂敷和/或烧结。4. 根据权利要求1所述感应线圈表面绝缘处理的方法，其特征在于所述绝缘层的厚度为0. Olmm 2mm。5. 根据权利要求1所述感应线圈表面绝缘处理的方法，其特征在于所述绝缘层的厚度为0. lmm lmm。6. 根据权利要求1所述感应线圈表面绝缘处理的方法，其特征在于所述感应线圈的材质为铜。全文摘要本专利技术公开了，具体步骤为将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，然后在感应线圈外表面设置绝缘层。通过在感应线圈所有外表面均匀形成一层致密的釉，利用釉层的绝缘性、耐高温性及其与感应线圈外表面的良好附着性来达到本专利技术的目的。文档编号H01F41/12GK101752079SQ201010034508公开日2010年6月23日 申请日期2010年1月20日 优先权日2010年1月20日专利技术者倪代秦, 吴星, 崔建利, 彭同华, 李河清, 李龙远, 陈小龙 申请人:中国科学院物理研究所;北京天科合达蓝光半导体有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感应线圈表面绝缘处理的方法，具体步骤为：将绕制成形的感应线圈外表面先进行酸洗、钝化，然后在感应线圈外表面设置绝缘层，绝缘层材质为釉质。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈小龙，倪代秦，吴星，李河清，彭同华，李龙远，崔建利，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，北京天科合达蓝光半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]